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一種低腐蝕性感光膜清洗液的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9630953

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感光材料是是一種新興的材料,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)中。在通常的半導(dǎo)體制造工藝中,通過(guò)在一些材料的表面上形成感光膜的掩膜,曝光后進(jìn)行圖形轉(zhuǎn)移,在得到需要的圖形之后,進(jìn)行下一道工序之前,需要?jiǎng)內(nèi)埩舻母泄饽?。在這個(gè)過(guò)程中要求完全除去不需要的感光膜,同時(shí)不能腐蝕任何基材。目前,感光膜清洗液主要由極性有機(jī)溶劑、強(qiáng)堿和/或水等組成,通過(guò)將半導(dǎo)體晶片浸入清洗液中或者利用清洗液沖洗半導(dǎo)體晶片,去除半導(dǎo)體晶片上的感光膜。如JP1998239865公開(kāi)了一種清洗液,其組成...
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