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技術(shù)編號(hào)：9647707

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基于娃通孔(Through-Silicon Via，TSV)的三維集成電路極大地推動(dòng)了集成電路行業(yè)的發(fā)展。與傳統(tǒng)的二維集成電路不同，三維集成電路通過(guò)TSV把多個(gè)晶片垂直堆疊，使得它擁有功耗低、帶寬高、面積小、性能好、支持異構(gòu)集成等優(yōu)點(diǎn)。據(jù)估計(jì)，基于TSV垂直互連的三維集成電路功耗降低50%，帶寬提高8倍，堆疊存儲(chǔ)器縮小35%。當(dāng)前TSV的制造工藝還不成熟，TSV可能存在微孔和針孔缺陷，這些缺陷導(dǎo)致TSV產(chǎn)生電阻開(kāi)路故障和泄漏故障，嚴(yán)重降低了三維集成電路的良...
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