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用于防止焊盤區(qū)中的裂縫的半導(dǎo)體裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:9669180

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通常,半導(dǎo)體裝置具有將集成電路與封裝體連接的焊盤區(qū),在引線接合或探查(probing)的工藝中焊盤區(qū)常常受到外力的壓迫。例如,在引線接合的過程中焊盤連接到引導(dǎo)部(lead)的同時,特定的壓力被施加到焊盤區(qū),并且在探查的過程中探針的針部對焊盤區(qū)施加特定的壓力。因此,焊盤區(qū)上出現(xiàn)機械應(yīng)力,如果該應(yīng)力超過特定水平,則焊盤區(qū)上出現(xiàn)裂縫。雖然焊盤由具有延展性的金屬構(gòu)成,但是焊盤之間的絕緣層由脆性的介電材料構(gòu)成。因此,在焊盤之間的絕緣層上更加經(jīng)常地出現(xiàn)裂縫。一旦出現(xiàn)細(xì)...
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