技術(shù)編號：9671371
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造，尤其涉及一種。背景技術(shù)近年來，隨著半導(dǎo)體技術(shù)的迅猛發(fā)展，電子產(chǎn)品愈來愈趨向于往微型化及薄型化的方向進行設(shè)計。在電聲領(lǐng)域的產(chǎn)品當(dāng)中，麥克風(fēng)用于將聲波轉(zhuǎn)換為電信號，而目前市面上可見的許多電子產(chǎn)品中皆已設(shè)置有微機電(MEMS)麥克風(fēng)。與常見的駐極體麥克風(fēng)(ECM)相比，微機電麥克風(fēng)具備有更強的耐熱、抗振、防射頻干擾的能力。而且，微機電麥克風(fēng)制造工藝簡單、且易于與其它半導(dǎo)體器件集成，能夠簡化生產(chǎn)流程、降低生產(chǎn)成本、提高器件集成度。圖1是一種微...
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