技術(shù)編號：9673153
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。對于過去的幾十年，集成電路中的特征的縮放已成為在不斷增長的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)背后的一個推動力。對越來越小的特征的縮放允許在半導(dǎo)體芯片的有限的有效面積(realestate)上增加的功能單元密度。例如，縮小的晶體管尺寸允許將更多數(shù)量的存儲器或邏輯器件納入到芯片上，由此賦予產(chǎn)品的制造增加的容量。然而，對不斷增加的容量的推動也不是一點問題也沒有的。優(yōu)化每個器件性能的必要性變得越來越顯著。在集成電路的制造中，多柵極晶體管(諸如三柵極晶體管)隨著器件尺寸持續(xù)按比例縮小已變得...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。