技術編號：9706770
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。以前，對形成于基材上的各種圖案進行檢查。例如，在對形成于基材上的透明電極圖案進行檢查時，利用經(jīng)由透明配線而連接于透明電極的金屬電極進行導通檢查。然而，在圖案中產(chǎn)生了缺陷的情形時，僅利用導通檢查無法確認其位置或種類，從而難以改善因該缺陷引起的良率的降低。因此，專利文獻1中提出有獲取形成于基材上的透明電極圖案的檢查圖像的裝置。專利文獻1的裝置中，求出從光照射部到拍攝區(qū)域的光軸與基材的法線形成的照射角的設定角度，將照射角設定為設定角度，且將從拍攝區(qū)域到線傳感器的...
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