技術(shù)編號：9732217
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。過去幾十年中，集成電路中部件的規(guī)模縮小是日益增長的半導(dǎo)體工業(yè)背后的驅(qū)動力。到越來越小的部件的規(guī)?？s小實現(xiàn)了功能單元在半導(dǎo)體芯片的有限基板面上增大的密度。例如，縮小晶體管尺寸允許在芯片上包含增大數(shù)量的存儲器或邏輯器件，導(dǎo)致制造出具有增大容量的產(chǎn)品。然而，對于更大容量的推動并非沒有問題。優(yōu)化每一個器件的性能的必要性變得日益顯著。在集成電路器件的制造中，隨著器件尺寸持續(xù)縮小，諸如鰭式場效應(yīng)晶體管(fin-FET)之類的多柵極晶體管已經(jīng)變得更為普遍。在傳統(tǒng)工藝中，...
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