技術(shù)編號：9732218
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在過去幾十年里，集成電路中特征的縮放已經(jīng)成為不斷增長的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)幕后的驅(qū)動力?？s放到越來越小的特征能夠?qū)崿F(xiàn)半導(dǎo)體芯片有限的面積上功能單元的增大的密度。例如，縮小晶體管尺寸容許在芯片上并入增加數(shù)量的存儲器或邏輯器件，導(dǎo)致制造具有更大能力的產(chǎn)品。然而，對越來越大能力的驅(qū)動并非沒有問題。優(yōu)化每一個器件的性能的必要性變得越來越重要。在集成電路器件的制造中，由于尺寸繼續(xù)按比例縮小，諸如鰭式場效應(yīng)晶體管(鰭式-FET)多柵極晶體管已經(jīng)變得越來越普遍。在常規(guī)工藝中，通常...
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