技術(shù)編號：9749067
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 二乙二醇甲醚在電子工業(yè)中主要作為清洗劑，是半導(dǎo)體制造過程中的關(guān)鍵化工材 料，其純度和潔凈度對微電子(1C)產(chǎn)品的成品率、電性能及可靠性都有重要的影響。鉛是重 金屬雜質(zhì)，若附著在硅晶片的表面上，會使P-N結(jié)耐電壓降低，影響電子產(chǎn)品1C電性能。因此 電子級溶劑對鉛等重金屬雜質(zhì)含量的要求越來越高，質(zhì)量指標(biāo)從原來的ΠΓ 6級，發(fā)展到超大 規(guī)模集成電路控制的ΠΓ9級。因此，快速準(zhǔn)確地測定電子級溶劑中鉛的含量成為電子級溶劑 生產(chǎn)發(fā)展的關(guān)鍵問題之一。發(fā)明內(nèi)容 本發(fā)明要...
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