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基板液處理裝置和基板液處理方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9766869

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以往,在制造半導(dǎo)體零件、平板顯示器等時(shí),為了對(duì)半導(dǎo)體晶圓、液晶基板等基板實(shí)施清洗、蝕刻等各種液處理而使用基板液處理裝置。在基板液處理裝置中,在對(duì)基板供給清洗液、蝕刻液等處理液而對(duì)基板進(jìn)行液處理之后,對(duì)基板供給沖洗液(例如純水)而對(duì)基板進(jìn)行沖洗處理。之后,通過(guò)將沖洗液自基板去除而對(duì)基板進(jìn)行干燥處理。在該干燥處理中,在殘留于基板(尤其是電路圖案、抗蝕劑圖案等圖案之間)的沖洗液的表面張力的作用下,形成于基板的圖案有可能發(fā)生倒塌(日文倒壊)。因此,以往,使用表面張...
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