技術(shù)編號：9789199
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。閃存是一種重要的非易失性存儲器。傳統(tǒng)的閃存一般包括襯底、以及依次設(shè)置在襯底上的電荷隧穿層、浮置柵極、電荷阻擋層和控制柵極，浮置柵極用作電荷存儲層。隨著用戶對高存儲密度的不斷要求，閃存的特征尺寸不斷減小;在此情形下，對于采用浮置柵極作為電荷存儲層的傳統(tǒng)閃存而言，浮置柵極之間的電容耦合、電荷隧穿層中的點缺陷導(dǎo)致浮置柵極保存的電荷泄露等問題越來越嚴重，嚴重限制了傳統(tǒng)閃存的發(fā)展。目前，電荷捕獲型存儲器作為一種新型閃存而被廣泛研究。在電荷捕獲型存儲器中，采用絕緣材料...
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