技術編號：9789246
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。如在液晶顯示器中典型見到的，在例如玻璃襯底等平板之上形成的薄膜晶體管使用非晶硅或多晶硅制造。使用非晶硅制造的薄膜晶體管具有低場效應迀移率，但可以在更大的玻璃襯底之上形成。相比之下，使用晶體硅制造的薄膜晶體管具有高場效應迀移率，但由于例如激光退火等結晶步驟，這樣的晶體管不是一直適合在更大的玻璃襯底之上形成。其中使用氧化物半導體的薄膜晶體管被制造并且應用于電子器件或光學器件的技術吸引注意力。例如，專利文件I和專利文件2公開一項技術，通過該技術薄膜晶體管使用氧化...
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