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技術(shù)編號：9802333

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本發(fā)明涉及，屬于氟化工、電子工業(yè)氣體領(lǐng)域。背景技術(shù) 四氟化硅(SiF4)在電子和半導(dǎo)體行業(yè)中主要用于氮化硅、硅化鉭等的蝕刻劑、P型 摻雜劑、外延沉積擴散硅源等，還可用于制備電子級硅烷或硅。四氟化硅還可用作光導(dǎo)纖維 用高純石英玻璃的原料，它在高溫火焰中水解可產(chǎn)生具有高比表面積的熱沉二氧化硅 (Si0 2)。此外，四氟化硅還廣泛用在制備太陽能電池、氟硅酸、氟化鋁、化學(xué)分析、氟化劑、油 井鉆探、鎂合金澆鑄、催化劑、蒸熏劑、水泥及人造大理石的硬化劑等領(lǐng)域。在預(yù)制...
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