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有機硅樹脂、樹脂組合物、樹脂膜、半導(dǎo)體器件和制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:9803811

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微電子或半導(dǎo)體器件的制造中,向較大直徑和減小厚度的晶片快速發(fā)展。存在著 對于能夠以晶片級將器件封裝的技術(shù)的需求。盡管將固體環(huán)氧樹脂組合物傳遞成型的技術(shù) 是常規(guī)的,但在W0 2009/142065中提出了用于將液體環(huán)氧樹脂組合物壓縮成型的技術(shù)。 由于使樹脂流入窄間隙中,因此傳遞成型技術(shù)能夠引起配線變形。隨著封裝面積 變得較大,更可能發(fā)生填充不足。壓縮成型技術(shù)難以在晶片的端部精確地控制成型范圍。而 且,將液體封裝樹脂進料到成型機中時不容易使該液體的流動和物理...
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