技術(shù)編號:9805163
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在多晶硅鑄錠爐中,通常使用石英坩禍來盛放熔融的硅液,在石英坩禍四周圍以石墨護板來支撐高溫狀態(tài)下的石英坩禍,上部再配以石墨蓋板來防止粉塵顆粒調(diào)入錠中,同時還可以維持熱場穩(wěn)定,保證硅錠的質(zhì)量。但在高溫狀態(tài)下,石墨器材表面會有一些石墨粉塵揮發(fā)出來,可與鑄錠過程中的一些中間氣態(tài)物質(zhì),如一氧化娃等反應(yīng),生成含碳的娃化物,使娃錠中的碳含量較高,影響硅錠質(zhì)量,進而會影響太陽能電池器件的可靠性和使用壽命。同時在鑄錠過程中有時會出現(xiàn)硅液溢流,此時硅會牢牢地粘結(jié)在石墨護板上,...
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