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輸液膜厚度測(cè)控系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9809753

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輸液膜厚度是輸液膜研究和工業(yè)應(yīng)用中的一個(gè)重要參數(shù)。輸液膜的電阻率、電阻溫度系數(shù)、磁阻、霍爾系數(shù)、熱電系數(shù)、光學(xué)反射率、趨膚效應(yīng)等參數(shù)均與輸液膜厚度有密切的關(guān)系,測(cè)量這些參數(shù)必須知道輸液膜的厚度。而且,人們?cè)谠O(shè)計(jì)具有一定功髓的輸液膜時(shí),對(duì)其厚度往往有比較嚴(yán)格的要求,這就需要在輸液膜沉積過(guò)程中對(duì)膜厚進(jìn)行實(shí)時(shí)的監(jiān)控。在真空系統(tǒng)中輸液膜沉積時(shí)對(duì)膜厚進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)的方法常用的主要有石英晶體振蕩法、光學(xué)法、反射高能電子衍射法等。其中,石英晶體振蕩法可用于監(jiān)測(cè)光學(xué)膜、電學(xué)...
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