技術(shù)編號(hào):9812310
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。集成電路持續(xù)以日益變小的尺寸來制造。然而,諸如場效應(yīng)晶體管(FET)的某些半導(dǎo)體器件尺寸小卻會(huì)導(dǎo)致某些問題。例如,短溝道長度可導(dǎo)致短溝道效應(yīng),其中,源區(qū)和/或漏區(qū)在溝道或溝道的載波上施加不適當(dāng)?shù)挠绊憽_@些短溝道效應(yīng)能夠降低柵極對(duì)溝道的控制能力。有利的是,當(dāng)使用三維器件替代平面器件時(shí),這些影響減少。例如,當(dāng)使用鰭片型場效應(yīng)晶體管(FinFET)的情況下,柵極增加對(duì)溝道的控制,這是因?yàn)闁艠O包圍了溝道的四個(gè)側(cè)面的3個(gè)(S卩,柵極接觸溝道的兩個(gè)側(cè)面和溝道的頂面)。...
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