技術(shù)編號：9827181
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。在集成電路制造工藝過程中，特別是等離子體刻蝕、物理氣相沉積、化學(xué)氣相沉積等工藝工程中，需要固定、支撐以及傳送被加工處理的器件。為了防止被加工處理的器件在加工過程中出現(xiàn)移動或錯位現(xiàn)象，通常采用靜電夾盤(Electro Static Chuck, ESC)來固定、支撐被加工處理的器件。靜電夾盤利用靜電引力來固定晶圓等被加工處理器件。由于靜電夾盤采用靜電引力的方式而非傳統(tǒng)的機械方式來固定被加工處理器件，因此，可以減少傳統(tǒng)機械方式中因壓力、碰撞等機械原因而對被加工...
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