技術編號:9856314
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。隨著生活水準及工業(yè)化程度提高,在消費性電子產(chǎn)業(yè)、高科技產(chǎn)業(yè)、半導體產(chǎn)業(yè)及電子產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展之下,相對地提升了中國臺灣的經(jīng)濟發(fā)展,但是也帶來了環(huán)境的污染。在上述產(chǎn)業(yè)中,氟系廢水是半導體產(chǎn)業(yè)主要的廢水排放之一。而廢水的主要來源例如為,晶圓清洗及濕蝕刻時使用氫氟酸后所產(chǎn)生的廢水,或者,回收水系統(tǒng)中再生樹脂后所產(chǎn)生的廢水,再或者,機臺端局部廢氣處理設施(Local Scrubber)與中央廢氣洗滌塔(Center Scrubber)所排放的廢水。在巴塞爾公約中,將...
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