欧美在线观看视频网站,亚洲熟妇色自偷自拍另类,啪啪伊人网,中文字幕第13亚洲另类,中文成人久久久久影院免费观看 ,精品人妻人人做人人爽,亚洲a视频

照明光學(xué)裝置和設(shè)備制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:9864405

提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。

在半導(dǎo)體設(shè)備等的制造中使用的曝光裝置將在原版(original plate)(投影掩模(reticle)、掩模(mask)等)上形成的圖案經(jīng)由圖像形成光學(xué)系統(tǒng)、投影光學(xué)系統(tǒng)等轉(zhuǎn)印到基板(晶片等,在其表面上形成有抗蝕劑層)。曝光裝置包括用于利用來自光源的光束照明原版的照明光學(xué)裝置。當(dāng)照明光學(xué)裝置的用于原版的照明光不均勻或者遠(yuǎn)心度(telecentricity)(光軸與主光束之間的平行程度)崩潰(collapse)時,到基板的圖案轉(zhuǎn)印不足并且曝光裝置難以提供高...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。

詳細(xì)技術(shù)文檔下載地址↓↓

提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。
該分類下的技術(shù)專家--如需求助專家,請聯(lián)系客服
  • 孫老師:1.機(jī)機(jī)器人技術(shù) 2.機(jī)器視覺 3.網(wǎng)絡(luò)控制系統(tǒng)
  • 楊老師:物理電子學(xué)
新密市| 肇庆市| 汤阴县| 南召县| 来安县| 温泉县| 临颍县| 靖远县| 民丰县| 石门县| 林周县| 论坛| 禄劝| 沧州市| 宁明县| 句容市| 涞水县| 德令哈市| 同仁县| 轮台县| 日土县| 铁岭县| 长子县| 太仆寺旗| 红原县| 临夏市| 乐至县| 芦溪县| 汉川市| 宁远县| 秦皇岛市| 墨脱县| 垣曲县| 青川县| 瑞金市| 苍山县| 凌云县| 钟山县| 高安市| 延吉市| 邵阳县|