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基板處理裝置及基板處理方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9868190

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作為構(gòu)成顯示器裝置等顯示設(shè)備的顯示組件,例如有液晶顯示組件、有機(jī)電致發(fā)光(有機(jī)EL)組件、用于電子紙的電泳組件等。目前,此等顯示組件是以在基板表面形成被稱(chēng)為薄膜晶體管(Thin Film TransistorTFT)的開(kāi)關(guān)組件或增幅組件或電流驅(qū)動(dòng)組件等之后,于其上形成各自的顯示組件的主動(dòng)顯示組件(Active display device)漸為主流。近年來(lái),提出了一種在片狀的基板(例如薄膜構(gòu)件等)上形成顯示組件的技術(shù)。作為此種技術(shù),例如有一種被稱(chēng)為滾動(dòng)條對(duì)...
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