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基板中的硅注入及提供其硅前體組合物的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:9872542

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專利說明基板中的括注入及提供其括前體組合物 相關(guān)申請的互相參引 根據(jù)35USC 119,本申請要求WYing TangJoseph D.Sweeney、Tianniu 畑en、 James J.Maye;r、I?ichard S.Ray、01eg Byl、Sharad N.化dave和Robe;rt Kaim的名義于2013 年8月16日提交的"基板中的娃注入及提供其娃前體組合物"的美國臨時專利申請61/866, 918的優(yōu)先權(quán)。美國臨時專利申請61/86...
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