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一種強化引晶溫度信號的籽晶及用該籽晶的引晶方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:9882819

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在通過將晶體原料熔化成熔體,并使熔體在籽晶的誘導(dǎo)下逐漸定向凝固生長出與 籽晶晶格一致的晶體是熔體生長法晶體生長的基本特點。而從下向上進行定向凝固是熔體 生長法中最普遍使用的方法,常見的有坩堝下降法(VB)、垂直梯度凝固法(VGF)、定向凝固 法(DS)、熱交換法(HEM)等。這類晶體生長方法的關(guān)鍵工藝之一在于引晶工藝,引晶的質(zhì)量 和成敗直接關(guān)系到晶體生長的最終成品率。 從下向上熔休晶體生長法中,由于籽晶放置在坩堝底部的籽晶孔內(nèi),使得晶體無 法直接觀察。引...
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