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電荷耦合元件及其制造方法、以及固體攝像裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9893732

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現(xiàn)有技術(shù)中,已知有多種將所入射的能量線轉(zhuǎn)換為電荷的固體攝像元件(參照專利文獻(xiàn)I?3)。尤其是,在醫(yī)療領(lǐng)域等中的電荷耦合元件中,要求像素尺寸較大者。這是因?yàn)?,若使用較大尺寸的像素,則能夠減少電荷的傳送次數(shù)。專利文獻(xiàn)I日本專利文獻(xiàn)特開2004-303982號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2日本專利文獻(xiàn)特開2012-151364號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3日本專利文獻(xiàn)特開平6-283704號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容然而,在電荷親合元件中,利用稱為邊緣電場(chǎng)(fringing electric field)...
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