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一種類金剛石涂層褪鍍工藝的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:9905324

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類金剛石涂層(Diamond Like Carbon-化C)近些年來被真空鍛膜界愈發(fā)重視,它 具有超低的干摩擦系數(shù)、高硬度、耐腐蝕、高電阻率等諸多特性,制備的方法很多,包括磁控 瓣射、多弧離子鍛、PIID等多種工藝。類金剛石涂層包括含氨的和不含氨的兩種,含氨的一 般使用化學氣相沉積技術(shù)制備,不含氨的一般采用物理氣相沉積技術(shù)制備。 在工業(yè)化制備類金剛石涂層時,由于各種意外因素的存在,如前處理不當、人員操 作不當、設(shè)備故障等因素可能會造成類金剛石涂層掉膜W及...
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