技術(shù)編號：9914282
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。集成電路芯片制造是一個十分復(fù)雜的過程，完成一種芯片的制造可能需要花費幾周時間和經(jīng)歷數(shù)百道工序。由于半導(dǎo)體相關(guān)科技發(fā)展已經(jīng)趨于物理現(xiàn)象極限，客戶的要求亦日趨多樣化，使得半導(dǎo)體工藝的彈性和復(fù)雜程度變得越來越高，稍有差錯就會使公司發(fā)生很大損失，因此信息自動化技術(shù)被大量的引入到半導(dǎo)體制造工廠中。信息自動化可以大大提高設(shè)備的管理水平、進(jìn)行工藝數(shù)據(jù)的收集和統(tǒng)計工藝控制、保證物流控制更加順利，同時還可以提高工藝方案(recipe)的管理水平，減少誤操作和返工的現(xiàn)象，這些...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。