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用于確定壓印模具的圖案的方法、壓印方法和裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9925424

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通過(guò)使用模具(模具、原版、掩模)的圖案并在基板(諸如晶圓或玻璃基板)上形成樹(shù)脂圖案從而在基板上模塑樹(shù)脂(壓印材料)的壓印技術(shù)正在受到關(guān)注。該技術(shù)使得能夠在基板上創(chuàng)建幾納米量級(jí)的精細(xì)結(jié)構(gòu)。壓印技術(shù)的示例包括光固化法、熱固化法以及溶膠凝膠壓印法。例如,采用光固化法的壓印裝置將紫外線可固化的樹(shù)脂(壓印樹(shù)脂、光可固化樹(shù)月旨)涂覆于基板上的投射區(qū)域(壓印區(qū)域)。然后,通過(guò)使用模具來(lái)模塑未固化的樹(shù)脂。在發(fā)射紫外射線使得樹(shù)脂被固化之后,釋放模具,由此在基板上形成樹(shù)脂圖案...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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