技術(shù)編號：9932350
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 常規(guī)電子裝置制造系統(tǒng)可包含一個(gè)或多個(gè)處理腔室，所述處理腔室經(jīng)配置W執(zhí)行 任何數(shù)量的基板處理，所述基板處理包含例如脫氣、預(yù)清潔或清潔、沉積(例如化學(xué)氣相沉 積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)，和/或原子層沉積）、涂層、氧化、硝化、蝕刻(例如，等離子體 蝕刻)及類似處理?；蹇蔀榘雽?dǎo)體晶片、玻璃板或面板，和/或其它用來制作電子裝置或電 路部件的工件?；蹇赏ㄟ^狹縫閥轉(zhuǎn)移進(jìn)和轉(zhuǎn)移出處理腔室。一旦基板正確地定位于處理 腔室內(nèi)，所述狹縫閥可被關(guān)閉，且所述基板的所...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。