1.一種具有防撞功能的傳片機械手，其特征在于，所述傳片機械手設(shè)有：
振動傳感器芯片，用于采集傳片機械手的抓手與硅片碰撞時產(chǎn)生的振動頻率，并將采集到的振動頻率信號傳遞給機械手控制器；
機械手控制器，用于對振動頻率數(shù)據(jù)進行記錄與分析，并在振動頻率超過設(shè)定的碰撞報警閾值時，將報警信號傳遞給急?？刂苹芈?；
急停控制回路，用于在接收到報警信號時產(chǎn)生急停控制，并觸發(fā)傳片機械手各軸電機驅(qū)動器的緊急制動，實現(xiàn)傳片機械手的急?？刂?。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有防撞功能的傳片機械手，其特征在于，所述機械手控制器設(shè)有CPU、模擬量輸入接口、數(shù)字量輸出接口，所述振動傳感器芯片將采集到的振動頻率信號轉(zhuǎn)化為模擬量信號傳遞給模擬量輸入接口，所述CPU將模擬量輸入接口采集的模擬量進行數(shù)模轉(zhuǎn)換，并對振動頻率數(shù)據(jù)進行記錄與分析，當(dāng)檢測到的振動頻率超過設(shè)定的碰撞報警閾值時，通過數(shù)字量輸出接口將報警信號輸出到傳片機械手的急?？刂苹芈?。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有防撞功能的傳片機械手，其特征在于，所述機械手控制器連接傳片機械手各軸電機驅(qū)動器，用于控制傳片機械手在各軸向的運行。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的具有防撞功能的傳片機械手，其特征在于，所述振動傳感器芯片設(shè)于抓手與傳片機械手手臂的連接部位。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有防撞功能的傳片機械手，其特征在于，通過所述機械手控制器對傳片機械手運行過程中各階段的正常運行頻率進行檢測和細分，并根據(jù)各階段的正常運行頻率的范圍設(shè)定各階段的碰撞報警閾值。
6.一種基于權(quán)利要求1-5任意一項所述的具有防撞功能的傳片機械手的防撞方法，其特征在于，包括以下步驟：
步驟S01：在傳片機械手工作時，通過振動傳感器芯片將采集到的傳片機械手抓手的振動頻率信號傳遞給機械手控制器的模擬量輸入接口；
步驟S02：通過機械手控制器的CPU將模擬量輸入接口采集的模擬量進行數(shù)模轉(zhuǎn)換，并對振動頻率數(shù)據(jù)進行記錄與分析；
步驟S03：當(dāng)檢測到的振動頻率超過設(shè)定的碰撞報警閾值時，通過機械手控制器的數(shù)字量輸出接口，將報警信號輸出到傳片機械手的急停控制回路；
步驟S04：通過急?？刂苹芈吩诮邮盏綀缶盘枙r產(chǎn)生急?？刂?，并觸發(fā)傳片機械手各軸電機驅(qū)動器的緊急制動，實現(xiàn)傳片機械手的急停控制。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的防撞方法，其特征在于，利用機械手控制器對傳片機械手運行過程中的正常運行頻率進行檢測和細分，并根據(jù)正常運行頻率的范圍設(shè)定碰撞報警閾值。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的防撞方法，其特征在于，利用機械手控制器對傳片機械手運行過程中各階段的正常運行頻率進行檢測和細分，并根據(jù)各階段正常運行頻率的范圍設(shè)定各階段的碰撞報警閾值。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的防撞方法，其特征在于，在傳片機械手工作時，通過所述機械手控制器控制傳片機械手在各軸向的運行，并在急停控制回路接收到報警信號產(chǎn)生急?？刂茣r，直接觸發(fā)傳片機械手各軸電機驅(qū)動器的緊急制動，實現(xiàn)碰撞報警與緊急制動之間的互鎖。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的防撞方法，其特征在于，通過所述機械手控制器的CPU對振動傳感器芯片傳遞的振動頻率模擬信號進行采集并形成日志格式的記錄。