技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種具有防撞功能的傳片機(jī)械手及其防撞方法，通過(guò)在傳片機(jī)械手上設(shè)置振動(dòng)傳感器芯片采集傳片機(jī)械手的抓手與硅片碰撞時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)頻率，能夠有效地采集到碰撞產(chǎn)生的微小沖擊力，并能及時(shí)傳遞碰撞信號(hào)，通過(guò)機(jī)械手控制器對(duì)振動(dòng)頻率數(shù)據(jù)進(jìn)行記錄與分析，當(dāng)振動(dòng)頻率超過(guò)設(shè)定的碰撞報(bào)警閾值時(shí)，可通過(guò)急?？刂苹芈樊a(chǎn)生急?？刂?，并觸發(fā)傳片機(jī)械手各軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)器的緊急制動(dòng)，使傳片機(jī)械手停止運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)碰撞報(bào)警與緊急制動(dòng)之間的硬互鎖，從而實(shí)現(xiàn)傳片機(jī)械手的急停控制。

技術(shù)研發(fā)人員：王凱;穆曉航;鐘結(jié)實(shí);張?jiān)迄i
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
文檔號(hào)碼：201610921265
技術(shù)研發(fā)日：2016.10.21
技術(shù)公布日：2017.01.11