本實(shí)用新型涉及磁控濺射裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種磁控濺射裝置用消磁片夾取工具以及使用該夾取工具加減消磁片的磁控濺射裝置。

背景技術(shù)：

磁控濺射裝置通過加減陰極磁鐵上消磁片的數(shù)量來改變磁場，從而調(diào)整所鍍膜的厚薄問題。

如圖1所示，現(xiàn)有加減消磁片的方法是將陰極磁鐵10上方的陰極框20和陰極板30分別吊起，將陰極磁鐵10敞開來，從陰極板30和陰極磁鐵10之間的間隙40處加減消磁片。

這種工作方式過程復(fù)雜繁重，消耗人力和工時(shí)較多；使用天車吊起陰極框20和陰極板30，具有一定危險(xiǎn)性；頻繁拆裝陰極框20和陰極板30，有可能會(huì)造成漏氣，導(dǎo)致濺射裝置發(fā)生故障。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的一個(gè)目的在于提出一種使用方便、工作安全性高的磁控濺射裝置用消磁片夾取工具。

本實(shí)用新型的另一個(gè)目的在于提出一種工作效率高的磁控濺射裝置。

為達(dá)此目的，一方面，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：

一種磁控濺射裝置用消磁片夾取工具，包括把手，所述把手的前端連接在伸入桿上，在所述伸入桿的前端設(shè)置有用于夾持消磁片的夾持部；所述伸入桿為長度可調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)。

特別是，所述把手上鉸接有Z形的壓桿；所述伸入桿為中空結(jié)構(gòu)，其中設(shè)置有驅(qū)動(dòng)桿；所述驅(qū)動(dòng)桿一端凸出于所述伸入桿且位于所述壓桿的按壓范圍內(nèi)，另一端連接至所述夾持部并能驅(qū)動(dòng)所述夾持部開合。

進(jìn)一步，在所述伸入桿內(nèi)設(shè)置有擺桿，所述擺桿的中部鉸接在支架上；所述夾持部包括固定的第一夾持片和活動(dòng)的第二夾持片；所述驅(qū)動(dòng)桿下壓時(shí)能抵靠在所述擺桿的一端，所述擺桿的另一端能推動(dòng)所述第二夾持片移動(dòng)；當(dāng)施加在所述驅(qū)動(dòng)桿上的下壓力被撤除后，所述擺桿的另一端能在彈性件的帶動(dòng)下復(fù)位。

特別是，所述驅(qū)動(dòng)桿的端頭鉸接在所述壓桿上或所述驅(qū)動(dòng)桿的端頭與所述壓桿相分離。

特別是，所述夾持部包括第一夾持片和第二夾持片，在所述第一夾持片上靠近所述第二夾持片的面為斜面，在所述第二夾持片上靠近所述第一夾持片的面為斜面，所述第一夾持片的斜面與所述第二夾持片的斜面傾斜方向相同。

特別是，在所述伸入桿的前端和所述夾持部之間設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)盤，所述轉(zhuǎn)動(dòng)盤能帶動(dòng)所述夾持部轉(zhuǎn)動(dòng)。

特別是，所述伸入桿包括至少兩段，其中至少一段所述伸入桿可以繞其軸線轉(zhuǎn)動(dòng)。

特別是，在所述伸入桿的前端設(shè)置有凹槽，所述夾持部的端頭設(shè)置在所述凹槽內(nèi)，且所述夾持部能在所述凹槽所在平面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。

另一方面，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：

一種磁控濺射裝置，包括依次設(shè)置的陰極磁鐵、陰極板和陰極框，在所述陰極磁鐵的背面設(shè)置有視窗，在所述陰極磁鐵上開設(shè)有至少一個(gè)用于加減消磁片的窗口或在所述陰極磁鐵和所述陰極板之間開設(shè)有用于加減消磁片的窗口；如上述磁控濺射裝置用消磁片夾取工具通過所述窗口加減消磁片；或，如上述磁控濺射裝置用消磁片夾取工具通過所述視窗加減消磁片。

特別是，所述窗口位于所述陰極磁鐵的邊角處。

本實(shí)用新型磁控濺射裝置用消磁片夾取工具包括長度可調(diào)節(jié)的伸入桿、在伸入桿的前端設(shè)置有用于夾持消磁片的夾持部，使用該夾取工具能伸入到待加減消磁片的磁控濺射裝置中，解決現(xiàn)有技術(shù)中必須將陰極框和陰極板吊起導(dǎo)致人力成本高、工作效率低、具有一定危險(xiǎn)性等問題，縮短了工時(shí)，增加了產(chǎn)能。

本實(shí)用新型磁控濺射裝置的陰極磁鐵上開設(shè)有窗口或在陰極磁鐵和陰極板之間開設(shè)有窗口、通過該窗口加減消磁片，或通過現(xiàn)有的視窗加減消磁片，操作方便，工作效率高，安全性高。

附圖說明

圖1是現(xiàn)有磁控濺射裝置部分結(jié)構(gòu)的爆炸圖；

圖2是本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例一提供的夾取工具的第一種結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例一提供的夾持部的驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例一提供的夾取工具的第二種結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5是本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例一提供的夾取工具的第三種結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6是本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例二提供的陰極磁鐵的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖7是本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例二提供的陰極磁鐵的后視圖。

圖中：

1、把手；2、伸入桿；3、夾持部；4、壓桿；5、驅(qū)動(dòng)桿；6、轉(zhuǎn)動(dòng)盤；10、陰極磁鐵；11、視窗；20、陰極框；30、陰極板；31、第一夾持片；32、第二夾持片；40、間隙；50、窗口；51、擺桿；52、支架；53、彈性件。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖并通過具體實(shí)施方式來進(jìn)一步說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案。

優(yōu)選實(shí)施例一：

本優(yōu)選實(shí)施例公開一種磁控濺射裝置用消磁片夾取工具。如圖2至圖5所示，該消磁片夾取工具包括把手1，把手1的前端連接在伸入桿2上，在伸入桿2的前端設(shè)置有用于夾持消磁片的夾持部3；伸入桿2為長度可調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)。

該消磁片夾取工具具有伸入桿2、且伸入桿2的長度可調(diào)節(jié)，能伸入到待加減消磁片的磁控濺射裝置中，解決了現(xiàn)有技術(shù)中必須將陰極框20和陰極板30吊起、從陰極板30和陰極磁鐵10之間的間隙40處加減消磁片導(dǎo)致人力成本高、工作效率低、具有一定危險(xiǎn)性等問題，縮短了工時(shí)，增加了產(chǎn)能。

為了避免在夾取工具夾持消磁片靠近目標(biāo)磁鐵時(shí)夾取工具被目標(biāo)磁鐵吸住，夾取工具優(yōu)選使用非磁性材料制成。

夾取工具夾持消磁片的具體方式不限，優(yōu)選地，在把手1上鉸接有Z形的壓桿4；伸入桿2為中空結(jié)構(gòu)，其中設(shè)置有驅(qū)動(dòng)桿5；驅(qū)動(dòng)桿5一端凸出于伸入桿2且位于壓桿4的按壓范圍內(nèi)，另一端連接至夾持部3并能驅(qū)動(dòng)夾持部3開合。

如圖3所示，在伸入桿2內(nèi)設(shè)置有擺桿51，擺桿51的中部鉸接在支架52上；夾持部3包括固定的第一夾持片31和活動(dòng)的第二夾持片32；驅(qū)動(dòng)桿5下壓時(shí)能抵靠在擺桿51的一端，擺桿51的另一端能推動(dòng)第二夾持片32移動(dòng)；當(dāng)施加在驅(qū)動(dòng)桿5上的下壓力被撤除后，擺桿51的另一端能在彈性件53的帶動(dòng)下復(fù)位。其中，驅(qū)動(dòng)桿5的端頭可以鉸接在壓桿4上，驅(qū)動(dòng)桿5的端頭也可以與壓桿4相分離，這兩種結(jié)構(gòu)均不會(huì)影響夾取工具的使用。

使用時(shí)，手握把手1和壓桿4的尾部，壓桿4的頭部下壓，驅(qū)動(dòng)桿5受壓向下移動(dòng)，擺桿51左端下壓、右端抬起，第二夾持片32向第一夾持片31靠攏，夾緊消磁片；待消磁片運(yùn)送到位后松開壓桿4的尾部，驅(qū)動(dòng)桿5和擺桿51的左端相繼失去壓力，擺桿51的右端在彈性件53的帶動(dòng)下復(fù)位，第二夾持片32遠(yuǎn)離第一夾持片31，松開消磁片。

為了保證對消磁片的夾緊效果更好、為了保證被夾緊時(shí)消磁片的空間狀態(tài)更利于其貼附在目標(biāo)磁鐵上，夾持部3包括第一夾持片31和第二夾持片32，在第一夾持片31上靠近第二夾持片32的面為斜面，在第二夾持片32上靠近第一夾持片31的面為斜面，第一夾持片31的斜面與第二夾持片32的斜面傾斜方向相同。為了進(jìn)一步保證夾持的穩(wěn)定性，斜面上可以形成多條凸棱。

如圖4所示，在伸入桿2的前端和夾持部3之間設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)盤6，轉(zhuǎn)動(dòng)盤6能帶動(dòng)夾持部3轉(zhuǎn)動(dòng)。當(dāng)目標(biāo)磁鐵的位置或形狀較為特殊時(shí)，可以通過轉(zhuǎn)動(dòng)盤6的轉(zhuǎn)動(dòng)來調(diào)整夾持部3上消磁片的空間狀態(tài)，以令消磁片能更好地貼附在目標(biāo)磁鐵上。

在上述結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，伸入桿2包括至少兩段，其中至少一段伸入桿2可以繞其軸線轉(zhuǎn)動(dòng)，通過這段伸入桿2的轉(zhuǎn)動(dòng)來調(diào)整夾持部3上消磁片的位置，以令消磁片能更好地對準(zhǔn)目標(biāo)磁鐵。

如圖5所示，可以在伸入桿2的前端設(shè)置凹槽，夾持部3的端頭設(shè)置在凹槽內(nèi)，且夾持部3能在凹槽所在平面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。當(dāng)目標(biāo)磁鐵所在位置的周圍空間較為擁擠或周圍障礙物較多時(shí)，夾持部3的轉(zhuǎn)動(dòng)能調(diào)整消磁片的位置，以令其能更靠近目標(biāo)磁鐵。

優(yōu)選實(shí)施例二：

本優(yōu)選實(shí)施例公開一種磁控濺射裝置。如圖6和圖7所示，該磁控濺射裝置包括依次設(shè)置的陰極磁鐵10、陰極板30和陰極框20，在陰極磁鐵10的背面設(shè)置有視窗11。在陰極磁鐵10上開設(shè)有至少一個(gè)用于加減消磁片的窗口50或在陰極磁鐵10和陰極板30之間開設(shè)有用于加減消磁片的窗口50；如優(yōu)選實(shí)施例一所述的磁控濺射裝置用消磁片夾取工具通過窗口50加減消磁片。

具體的，用夾取工具夾住消磁片，從窗口50伸入到陰極磁鐵10和陰極板30之間；夾取工具按照一定路線運(yùn)動(dòng)至目標(biāo)磁鐵處，松開夾持部3，消磁片被目標(biāo)磁鐵吸??；夾取工具從窗口50退出。使用此方法加減消磁片快捷方便，大大地減少人力，縮短了工時(shí)，增加了產(chǎn)能；不用吊起陰極框20和陰極板30，減少現(xiàn)有技術(shù)的工安風(fēng)險(xiǎn)。

另一種技術(shù)方案是：消磁片夾取工具通過現(xiàn)有的視窗11加減消磁片。該方式不需要在陰極磁鐵10上開設(shè)專用的窗口，使用更方便；加減消磁片時(shí)不用吊起陰極框20和陰極板30，只需將陰極磁鐵10后方的蓋板拆除即可，操作工人的安全更有保障。

當(dāng)需要在陰極磁鐵10上開設(shè)窗口50時(shí)，窗口50優(yōu)選開設(shè)在陰極磁鐵10的邊角處；不會(huì)影響陰極磁鐵10上各結(jié)構(gòu)的正常布置，且夾取工具能攜帶消磁片從陰極磁鐵10周邊區(qū)域按照一定的軌跡送入、取出，快捷方便，大大減少了所需人力。

注意，上述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例及所運(yùn)用的技術(shù)原理。本領(lǐng)域技術(shù)人員會(huì)理解，本實(shí)用新型不限于這里所述的特定實(shí)施例，對本領(lǐng)域技術(shù)人員來說能夠進(jìn)行各種明顯的變化、重新調(diào)整和替代而不會(huì)脫離本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。因此，雖然通過以上實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行了較為詳細(xì)的說明，但是本實(shí)用新型不僅僅限于以上實(shí)施例，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的情況下，還可以包括更多其他等效實(shí)施例，而本實(shí)用新型的范圍由所附的權(quán)利要求范圍決定。