1.一種磁控濺射裝置用消磁片夾取工具，其特征在于，包括把手(1)，所述把手(1)的前端連接在伸入桿(2)上，在所述伸入桿(2)的前端設(shè)置有用于夾持消磁片的夾持部(3)；所述伸入桿(2)為長度可調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁控濺射裝置用消磁片夾取工具，其特征在于，所述把手(1)上鉸接有Z形的壓桿(4)；所述伸入桿(2)為中空結(jié)構(gòu)，其中設(shè)置有驅(qū)動(dòng)桿(5)；所述驅(qū)動(dòng)桿(5)一端凸出于所述伸入桿(2)且位于所述壓桿(4)的按壓范圍內(nèi)，另一端連接至所述夾持部(3)并能驅(qū)動(dòng)所述夾持部(3)開合。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磁控濺射裝置用消磁片夾取工具，其特征在于，在所述伸入桿(2)內(nèi)設(shè)置有擺桿(51)，所述擺桿(51)的中部鉸接在支架(52)上；所述夾持部(3)包括固定的第一夾持片(31)和活動(dòng)的第二夾持片(32)；所述驅(qū)動(dòng)桿(5)下壓時(shí)能抵靠在所述擺桿(51)的一端，所述擺桿(51)的另一端能推動(dòng)所述第二夾持片(32)移動(dòng)；當(dāng)施加在所述驅(qū)動(dòng)桿(5)上的下壓力被撤除后，所述擺桿(51)的另一端能在彈性件(53)的帶動(dòng)下復(fù)位。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磁控濺射裝置用消磁片夾取工具，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)桿(5)的端頭鉸接在所述壓桿(4)上或所述驅(qū)動(dòng)桿(5)的端頭與所述壓桿(4)相分離。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的磁控濺射裝置用消磁片夾取工具，其特征在于，所述夾持部(3)包括第一夾持片(31)和第二夾持片(32)，在所述第一夾持片(31)上靠近所述第二夾持片(32)的面為斜面，在所述第二夾持片(32)上靠近所述第一夾持片(31)的面為斜面，所述第一夾持片(31)的斜面與所述第二夾持片(32)的斜面傾斜方向相同。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的磁控濺射裝置用消磁片夾取工具，其特征在于，在所述伸入桿(2)的前端和所述夾持部(3)之間設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)盤(6)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)盤(6)能帶動(dòng)所述夾持部(3)轉(zhuǎn)動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的磁控濺射裝置用消磁片夾取工具，其特征在于，所述伸入桿(2)包括至少兩段，其中至少一段所述伸入桿(2)可以繞其軸線轉(zhuǎn)動(dòng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的磁控濺射裝置用消磁片夾取工具，其特征在于，在所述伸入桿(2)的前端設(shè)置有凹槽，所述夾持部(3)的端頭設(shè)置在所述凹槽內(nèi)，且所述夾持部(3)能在所述凹槽所在平面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。
9.一種磁控濺射裝置，包括依次設(shè)置的陰極磁鐵(10)、陰極板(30)和陰極框(20)，在所述陰極磁鐵(10)的背面設(shè)置有視窗(11)，其特征在于，在所述陰極磁鐵(10)上開設(shè)有至少一個(gè)用于加減消磁片的窗口(50)或在所述陰極磁鐵(10)和所述陰極板(30)之間開設(shè)有用于加減消磁片的窗口(50)；如權(quán)利要求1至8任一項(xiàng)所述磁控濺射裝置用消磁片夾取工具通過所述窗口(50)加減消磁片；
或，如權(quán)利要求1至8任一項(xiàng)所述磁控濺射裝置用消磁片夾取工具通過所述視窗(11)加減消磁片。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的磁控濺射裝置，其特征在于，所述窗口(50)位于所述陰極磁鐵(10)的邊角處。