本發(fā)明屬于顯示裝置生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，是涉及一種真空吸附結(jié)構(gòu)及采用該真空吸附結(jié)構(gòu)的機械手裝置。

背景技術(shù)：

顯示裝置中的基板在光阻涂布后需要進入軟烤機進行烘烤。機械手臂的墊板在搬送基板進入爐內(nèi)的過程中，會因為爐內(nèi)的熱量傳遞而升溫，此時機械手臂的墊板是有溫度的。當(dāng)機械手臂返回去搬送另外一片剛涂布后的基板時，墊板的溫度會傳遞給玻璃基板，接觸的位置會因為溫差的作用而膜厚不均并在使用過程中產(chǎn)生亮度不均勻和出現(xiàn)斑點的現(xiàn)象。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種真空吸附結(jié)構(gòu)，旨在解決機械手臂在搬運涂布好的玻璃基板進行烘烤時機械手臂上的墊板將溫度傳遞給玻璃基板，造成玻璃基板膜厚不均且在使用過程中產(chǎn)生亮度不均勻和出現(xiàn)斑點的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：提供一種真空吸附結(jié)構(gòu)，其包括：

機械手墊板；

真空吸嘴，設(shè)置在所述機械手墊板上，用于吸附基板；

冷卻部件，設(shè)置在所述真空吸嘴內(nèi)，用于為所述真空吸嘴降溫；

容納槽，設(shè)置在所述真空吸嘴內(nèi)部，用于安裝所述冷卻部件；

冷卻介質(zhì)，設(shè)置所述冷卻部件內(nèi)部，用于為冷卻部件降溫。

進一步地，所述冷卻部件為冷卻管線，所述冷卻介質(zhì)為冷卻氣體。

進一步地，所述冷卻管線上設(shè)有用于向所述真空吸嘴的吸附面吹氣的冷卻氣孔，所述真空吸嘴上設(shè)有用于內(nèi)部氣體排出的排氣口。

進一步地，所述冷卻管線纏繞在所述真空吸嘴的內(nèi)部且靠近所述真空吸嘴的吸附面布置。

進一步地，所述容納槽位于所述吸附面的一側(cè)壁上間隔設(shè)有散熱片，所述冷卻氣孔與所述散熱片之間構(gòu)成的間隙相對應(yīng)。

進一步地，所述散熱片與所述：所述容納槽的側(cè)壁垂直設(shè)置。

進一步地，所述機械手墊板上設(shè)有鏤空溝槽。

進一步地，所述真空吸嘴均勻布置在所述機械手墊板上。

本發(fā)明還提供一種真空吸附結(jié)構(gòu)，所述真空吸附結(jié)構(gòu)包括：

機械手墊板；

真空吸嘴，設(shè)置在所述機械手墊板上，用于吸附基板；

冷卻部件，設(shè)置在所述真空吸嘴內(nèi)，用于為所述真空吸嘴降溫；

容納槽，設(shè)置在所述真空吸嘴內(nèi)部，用于安裝所述冷卻部件；

冷卻介質(zhì)，設(shè)置所述冷卻部件內(nèi)部，用于為冷卻部件降溫，所述冷卻介質(zhì)包括冷卻氣體，所述冷卻部件為具有若干通氣孔的冷卻管線，所述真空吸嘴上設(shè)有用于內(nèi)部氣體排出的排氣孔，所述冷卻管線纏繞在所述真空吸嘴的內(nèi)部且靠近所述真空吸嘴的吸附面布置。

本發(fā)明真空吸附結(jié)構(gòu)，通過在真空吸嘴內(nèi)設(shè)置的冷卻部件中通入冷卻介質(zhì)，機械手墊板在烤爐內(nèi)準備去搬送另外一片基板的過程中，不斷進行冷卻，保證機械手墊板上的真空吸嘴在接觸下一片基板時不會在基板上產(chǎn)生溫差，保證搬運過程不會造成膜厚不均，提高了產(chǎn)品的質(zhì)量。

本發(fā)明還提供一種機械手裝置，包括任意一項上述的真空吸附結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明機械手裝置，采用了該真空吸附結(jié)構(gòu)，保證了機械手墊板上的真空吸嘴在接觸下一片基板時不會在基板上產(chǎn)生溫差，在搬運過程不會造成膜厚不均，利于提高產(chǎn)品的質(zhì)量。

附圖說明

圖1為本發(fā)明實施例提供的真空吸附結(jié)構(gòu)的使用狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明實施例提供的真空吸附結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明實施例提供的真空吸嘴的俯視剖視示意圖；

圖4為本發(fā)明實施例提供的真空吸嘴的左視剖視示意圖一；

圖5為本發(fā)明實施例提供的真空吸嘴的左視剖視示意圖二。

具體實施方式

為了使本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題、技術(shù)方案及有益效果更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實施例，對本發(fā)明進行進一步詳細說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。

需要說明的是，當(dāng)元件被稱為“固定于”或“設(shè)置于”另一個元件，它可以直接在另一個元件上或者間接在該另一個元件上。當(dāng)一個元件被稱為是“連接于”另一個元件，它可以是直接連接到另一個元件或間接連接至該另一個元件上。

需要理解的是，術(shù)語“長度”、“寬度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。

請一并參閱圖1至圖4，現(xiàn)對本發(fā)明提供的真空吸附結(jié)構(gòu)進行說明。真空吸附結(jié)構(gòu)，包括機械手墊板1、設(shè)置在機械手墊板1上用于吸附基板3的真空吸嘴2和設(shè)置在真空吸嘴2上并用于為真空吸嘴2降溫的冷卻部件，真空吸嘴2內(nèi)部設(shè)有安裝所述冷卻部件的容納槽，冷卻部件內(nèi)部通入冷卻介質(zhì)。

本發(fā)明提供的真空吸附結(jié)構(gòu)，通過在真空吸嘴2內(nèi)設(shè)置冷卻部件中通入冷卻介質(zhì)，機械手墊板1在烤爐內(nèi)準備去搬送另外一片基板3的過程中，不斷進行冷卻，保證機械手墊板1上的真空吸嘴2在接觸下一片基板3時不會在基板3上產(chǎn)生溫差，保證搬運過程不會造成膜厚不均，提高了產(chǎn)品的質(zhì)量。

進一步地，請參閱圖3及圖4，作為本發(fā)明提供的真空吸附結(jié)構(gòu)的一種具體實施方式，冷卻部件為冷卻管線23，冷卻介質(zhì)為冷卻氣體。真空吸嘴2的中部設(shè)有吸孔21，用于吸附基板3，真空吸嘴2內(nèi)部設(shè)有用于放置冷卻管線23的內(nèi)容槽，冷卻管線23與氣源接通，氣源向冷卻管線23通入冷卻氣體，采用冷卻氣體進行降溫，使用方便，降溫效果好。

進一步地，請參閱圖1及圖2及圖4，作為本發(fā)明提供的真空吸附結(jié)構(gòu)的一種具體實施方式，冷卻管線23上設(shè)有用于向真空吸嘴2的吸附面吹氣的冷卻氣孔24，真空吸嘴2上設(shè)有用于內(nèi)部氣體排出的排氣口22。冷卻管線23上的冷卻氣孔24源源不斷的向真空吸嘴2的吸附面上進行吹氣，進行熱交換，帶走真空吸嘴2上的熱量并通過排口排出到外界，降溫效果佳。

具體地，請參閱圖1及圖2及圖4，作為本發(fā)明提供的真空吸附結(jié)構(gòu)的一種具體實施方式，排氣口22設(shè)置在真空吸嘴2的角部，便于排氣散熱，可選的排氣口22設(shè)置在真空吸嘴2的周圈，并且在真空吸嘴2的周圈均勻排布，散熱更加均勻，使用效果佳。

進一步地，請參閱圖1至圖4，作為本發(fā)明提供的真空吸附結(jié)構(gòu)的一種具體實施方式，冷卻管線23纏繞在真空吸嘴2的內(nèi)部且靠近真空吸嘴2的吸附面布置。冷卻管線23纏繞布置，增大了氣體進入量和氣體排出量，熱交換的效率高，使用效果好。

進一步地，請參閱圖5，作為本發(fā)明提供的真空吸附結(jié)構(gòu)的一種具體實施方式，容納槽位于吸附面的一側(cè)壁上間隔設(shè)有散熱片25，冷卻氣孔24與散熱片25之間構(gòu)成的間隙相對應(yīng)，設(shè)置散熱片25增加了散熱面積，提高了散熱效率。散熱片與容納槽的側(cè)壁垂直設(shè)置，便于加工制作，利于冷卻氣體的流動，散熱效果好。

進一步地，作為本發(fā)明提供的真空吸附結(jié)構(gòu)的一種具體實施方式，冷卻氣體為干燥空氣或氮氣。干燥的空氣或氮氣均為常見的氣體，原料易得且無污染，尤其是氮氣，壓縮的氮氣用作降溫時溫度較低，冷卻效果更好。

進一步地，作為本發(fā)明提供的真空吸附結(jié)構(gòu)的一種具體實施方式，冷卻部件為冷卻水管，冷卻介質(zhì)為冷卻水，通過冷卻水管對真空吸嘴2進行降溫，降溫效果好，噪聲小。

進一步地，請參閱圖1及圖2，作為本發(fā)明提供的真空吸附結(jié)構(gòu)的一種具體實施方式，機械手墊板1上設(shè)有鏤空溝槽11。設(shè)置鏤空溝槽11能夠便于真空吸附和破真空，且機械手墊板1與基板3的接觸面積小，接觸更加平穩(wěn)，吸附更加緊密，真空吸附更加穩(wěn)定。

進一步地，請參閱圖1及圖2，作為本發(fā)明提供的真空吸附結(jié)構(gòu)的一種具體實施方式，鏤空溝槽11為矩形槽。矩形槽便于加工制作，并且方便機械后墊板上的真空吸嘴2布置。

進一步地，請參閱圖1及圖2，作為本發(fā)明提供的真空吸附結(jié)構(gòu)的一種具體實施方式，機械手墊板1的端部設(shè)有倒向角。設(shè)置導(dǎo)向角12方便機械手墊板1取放基板3不會對基板3造成劃傷。

進一步地，請參閱圖1及圖2，作為本發(fā)明提供的真空吸附結(jié)構(gòu)的一種具體實施方式，真空吸嘴2均勻布置在機械手墊板1上。真空吸嘴2均勻布置，吸附效果好，搬運過程穩(wěn)定可靠。

進一步地，作為本發(fā)明提供的真空吸附結(jié)構(gòu)的一種具體實施方式，真空吸嘴2與機械手墊板1為可拆卸連接，便于真空吸嘴2的安裝和更換，具體地真空吸嘴2通過螺釘固定在機械手墊板1上。螺釘為標準件便于采購，成本較低并且連接效果好。

該真空吸附結(jié)構(gòu)，在具體實施中，通過在真空吸嘴2內(nèi)設(shè)置冷卻管線23，冷卻介質(zhì)為冷卻氣體。冷卻管線23纏繞在真空吸嘴2的內(nèi)部，增加大了與真空吸嘴2的接觸面積，同時增大了冷卻氣體的進氣量，冷卻管線23與氣源接通，氣源向冷卻管線23通入冷卻氣體，冷卻管線23上設(shè)有用于向真空吸嘴2的吸附面吹氣的冷卻氣孔24，真空吸嘴2上設(shè)有用于內(nèi)部氣體排出的排氣口22，由于冷卻管線23纏繞設(shè)置，進而可以設(shè)置較多的排氣口22，增大了冷卻氣體的流通量。大量的氣體在在流動的過程中通過與真空吸嘴2的熱交換，會帶走真空吸嘴處的熱量，達到對真空吸嘴2降溫的目的，同樣可以對機械手墊板1進行降溫，保證機械手墊板1上的真空吸嘴2在接觸下一片基板3時不會在基板3上產(chǎn)生溫差，進而提高基板的生產(chǎn)質(zhì)量和合格率。

機械手墊板1在烤爐內(nèi)準備去搬送另外一片基板3的過程中，氣源向冷卻管線23通入冷卻氣體，可選的是冷卻空氣或冷卻氮氣，而且冷卻空氣或冷卻氮氣均為干燥的氣體，由于冷卻氣體在不斷地進行降溫、冷卻，保證機械手墊板1上的真空吸嘴2在接觸下一片基板3時不會在基板3上產(chǎn)生溫差，使用方便，降溫效果好，保證搬運過程中機械手墊板1在與基板接觸時時刻保持一個正常的溫度，不會溫度過高而造成膜厚不均，提高了生產(chǎn)的基板的質(zhì)量，從而有利于提高顯示裝置的質(zhì)量及合格率。

本發(fā)明還提供一種真空吸附結(jié)構(gòu)，請參閱圖1至圖4，所述真空吸附結(jié)構(gòu)，包括機械手墊板1、設(shè)置在機械手墊板1上用于吸附基板3的真空吸嘴2和設(shè)置在真空吸嘴2上并用于為真空吸嘴2降溫的冷卻部件，真空吸嘴2內(nèi)部設(shè)有安裝所述冷卻部件的容納槽，冷卻部件內(nèi)部通入冷卻介質(zhì)，冷卻部件為具有若干通氣孔的冷卻管線，真空吸嘴上設(shè)有用于內(nèi)部氣體排出的排氣孔，冷卻管線纏繞在真空吸嘴的內(nèi)部且靠近真空吸嘴的吸附面布置，冷卻介質(zhì)包括冷卻氣體，可選的，冷卻氣體為冷卻空氣或冷卻的氮氣。

本發(fā)明提供的真空吸附結(jié)構(gòu)，通過在真空吸嘴2內(nèi)設(shè)置冷卻部件中通入冷卻介質(zhì)，冷卻介質(zhì)可選的為干燥的冷卻氣體，原料易得，使用環(huán)保無污染，而且冷卻效果佳，機械手墊板1在烤爐內(nèi)離開后，準備去搬送另外一片基板3的過程中，冷卻氣體不斷進行對真空吸嘴進行冷卻，保證機械手墊板1上的真空吸嘴2在接觸下一片基板3時不會在基板3上產(chǎn)生溫差，保證搬運過程不會造成膜厚不均，提高了產(chǎn)品的質(zhì)量。

本發(fā)明還提供一種機械手裝置，所述機械手裝置包括任意一項上述的真空吸附結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明機械手裝置，采用了該真空吸附結(jié)構(gòu)，保證了機械手墊板1上的真空吸嘴2在接觸下一片基板3時不會在基板3上產(chǎn)生溫差，在搬運過程真空吸嘴始終保持一個較低的溫度，不會造成膜厚不均，利于提高產(chǎn)品的質(zhì)量。

本發(fā)明機械手裝置，可以適用于顯示裝置中的基板3在在光阻涂布后進入軟烤機進行烘烤的過程的搬送，機械手裝置上的機械手墊板1在搬送基板3進入爐內(nèi)的過程中，會因為爐內(nèi)的熱量傳遞而升溫，此時機械手裝置的墊板是有溫度的。當(dāng)機械手裝置返回去搬送另外一片剛涂布后的基板時，機械手墊板1進行冷卻，保證接觸下一片基板時溫度不會過高，避免了溫差的作用而膜厚不均并在使用過程中產(chǎn)生亮度不均勻和出現(xiàn)斑點的現(xiàn)象。

其中，基板3可以是玻璃基板或是柔性基板，然不限于此。

在某些實施方式中，顯示裝置可例如為lcd顯示裝置、oled顯示裝置、qled顯示裝置、曲面顯示裝置或其他顯示裝置。

以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。