技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種真空吸附結(jié)構(gòu)及機(jī)械手裝置，真空吸附結(jié)構(gòu)包括機(jī)械手墊板和設(shè)置在機(jī)械手墊板上用于吸附基板的真空吸嘴，還包括設(shè)置在真空吸嘴內(nèi)并用于為真空吸嘴降溫的冷卻部件，真空吸嘴內(nèi)部設(shè)有安裝冷卻部件的容納槽，冷卻部件內(nèi)部通入冷卻介質(zhì)；冷卻部件為冷卻管線，冷卻介質(zhì)為冷卻氣體；冷卻管線上設(shè)有用于向真空吸嘴的吸附面吹氣的冷卻氣孔，真空吸嘴上設(shè)有用于內(nèi)部氣體排出的排氣口。機(jī)械手裝置采用了該真空吸附結(jié)構(gòu)，本發(fā)明提供的真空吸附結(jié)構(gòu)及機(jī)械手裝置，提高了產(chǎn)品的質(zhì)量。

技術(shù)研發(fā)人員：簡(jiǎn)重光
受保護(hù)的技術(shù)使用者：惠科股份有限公司;重慶惠科金渝光電科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.06.06
技術(shù)公布日：2017.09.22