吸附裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種用于吸附并保持基板的吸附裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]當(dāng)在基板制造工藝中處理基板時，使用對基板那樣的板材進(jìn)行吸附保持的吸附裝置(例如參照專利文獻(xiàn)I)。在專利文獻(xiàn)I那樣的吸附裝置中，通過吸引空氣而利用負(fù)壓對板材進(jìn)行吸附保持。詳細(xì)而言，專利文獻(xiàn)I的吸附裝置包括能在進(jìn)行吸引的孔內(nèi)自由移動的閥芯，該閥芯利用在重力作用下進(jìn)行的動作，來實現(xiàn)用負(fù)壓對板材的保持。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專利文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本專利特開2005 - 28489號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]發(fā)明所要解決的技術(shù)問題
[0007]但是，上述那樣利用重力作用的方式，僅能在吸引孔朝向下方的情況下使用。當(dāng)將板材設(shè)于上側(cè)而朝向上方時，閥芯因重力而下降，會將負(fù)壓室與板材之間封閉，從而無法對板材進(jìn)行吸引保持。
[0008]本發(fā)明是在考慮上述現(xiàn)有技術(shù)后進(jìn)行而做成的，其目的在于提供一種無論空氣對作為吸附對象物的板材(基板)的吸引方向為何種朝向，都能可靠地對吸附對象物進(jìn)行吸引保持的吸附裝置。
[0009]解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案
[0010]為了實現(xiàn)上述目的，在本發(fā)明中，提供一種吸附裝置，其特征是，包括:吸附部，上述吸附部與吸附對象物抵接，并形成有多個吸引孔；側(cè)壁及頂壁，上述側(cè)壁及頂壁與該吸附部協(xié)同作用而形成大致密閉的負(fù)壓室；銷形狀的閥芯，上述閥芯從上述負(fù)壓室延伸到上述吸引孔內(nèi)；以及封閉部，上述封閉部因該閥芯在上述吸引孔內(nèi)滑動而使上述閥芯的一部分與上述吸引孔的內(nèi)壁的一部分緊密接觸，來將上述吸引孔封閉，上述閥芯具有位于上述負(fù)壓室內(nèi)的一方的端部、即根部，該根部固定在具有撓性的板形狀的撓性體上，上述撓性體在上述負(fù)壓室內(nèi)跨設(shè)并固定在上述側(cè)壁間，上述撓性體具有多個通孔。
[0011]理想的是，在上述吸附對象物側(cè)露出的上述吸引孔的開口部的孔徑為2mm以下。
[0012]理想的是，上述吸引孔的軸線間的間隔為3mm以下。
[0013]發(fā)明效果
[0014]根據(jù)本發(fā)明，由于將閥芯形成為銷形狀，并將該閥芯的根部固定在負(fù)壓室內(nèi)，因此，閥芯不會因重力而在吸引孔內(nèi)自由移動。因而，無論空氣對作為吸附對象物的板材(基板)的吸引方向為何種朝向，都能防止閥芯因重力而發(fā)生移動來使吸引孔被封閉部封閉。因而，能夠可靠地對吸附對象物進(jìn)行吸引保持。另外，即使吸附對象物存在與吸引孔連通而與吸附對象物的外部連通的部分(連通部)，由于閥芯的根部被固定在具有撓性的撓性體上，因此，在進(jìn)行吸引時，撓性體發(fā)生撓曲而使閥芯移動，利用封閉部將該吸引孔封閉，因而，能夠維持負(fù)壓室內(nèi)的負(fù)壓而可靠地對吸附對象物進(jìn)行吸引保持。另外，由于在撓性體中設(shè)置有多個通孔，因此負(fù)壓室不會被撓性體封閉，能夠可靠地確保從吸引泵到吸引孔的吸引路徑，仍然能夠可靠地對吸附對象物進(jìn)行吸引保持。
[0015]另外，通過將開口部的孔徑設(shè)置為2mm以下，能夠減小各吸引孔的吸附力。因此，即使將吸附對象物層疊，而使吸引孔與位于更外側(cè)的其它吸附對象物經(jīng)由上述連通部相通，也不會對其它吸附對象物進(jìn)行吸引。因而，能提高處理性。另外，確認(rèn)到通過形成為這種小徑的吸引孔，即使是較薄的玻璃基板，也不會產(chǎn)生經(jīng)過吸引孔而帶來的吸引痕跡。
[0016]另外，通過將吸引孔的軸線間的間隔設(shè)置為3mm以下，使吸引孔變得密集。確認(rèn)到通過形成為這種間隔，即使吸附對象物存在許多個上述連通部，也能將本發(fā)明應(yīng)用于該吸附對象物而對該吸附對象物進(jìn)行吸引保持。
【附圖說明】
[0017]圖1是表示本發(fā)明的吸附裝置的一例的示意圖。
[0018]圖2是表示本發(fā)明的吸附裝置的一例的放大示意圖。
[0019]圖3是吸附部的示意圖。
【具體實施方式】
[0020]如圖1及圖2所示，本發(fā)明的吸附裝置I具有吸附部2、側(cè)壁3及頂壁4。在本例中，吸附部2是將片材5、6、7層疊而形成的三層結(jié)構(gòu)。在各片材5、6、7上形成有多個貫穿該片材5、6、7的通孔，這些通孔彼此連通而形成吸引孔8。因而，在吸附部2中形成有多個吸引孔8。片材5、6例如由丙烯酸制的板材形成。片材7由于與所要吸引保持的作為吸附對象物的基板9抵接，因此，理想的是橡膠制的橡膠片。
[0021]側(cè)壁3及頂壁4與吸附部2進(jìn)行協(xié)同作用而形成大致密閉的負(fù)壓室10。詳細(xì)而言，使側(cè)壁3分別相對而形成四條邊，將頂壁4配置于一方的端部，將吸附部2配置于另一方的端部而形成箱體。頂壁4、側(cè)壁3和片材5、6例如通過螺栓11相互旋緊而固定。片材7例如通過粘接而固定在片材6上。這樣形成的箱體的內(nèi)部成為負(fù)壓室10。連接管12貫穿頂壁4，負(fù)壓室10經(jīng)由該連接管12而與吸引泵(未圖示)連通。通過使吸引泵工作，能夠吸引負(fù)壓室內(nèi)10的空氣而使負(fù)壓室10內(nèi)處于負(fù)壓狀態(tài)。
[0022]在吸引孔8內(nèi)配置有銷形狀的閥芯13。該閥芯13能在吸引孔8內(nèi)沿吸引孔8的軸向滑動。閥芯13的一方的端部、即根部13a配置在負(fù)壓室10內(nèi)。閥芯13的另一方的端部、即前端部13b配置在吸引孔8內(nèi)。即，閥芯13從負(fù)壓室10延伸到吸引孔8內(nèi)。前端部13b具有朝向前端逐漸擴(kuò)徑的擴(kuò)徑部14。另一方面，吸引孔8(在圖中是形成在片材5中的通孔)具有朝向閥芯13的前端部13側(cè)逐漸擴(kuò)徑的擴(kuò)徑部15。當(dāng)閥芯13向根部13a側(cè)滑動時，作為閥芯13的一部分的擴(kuò)徑部14與作為吸引孔8的一部分的擴(kuò)徑部15緊密接觸。這樣，因擴(kuò)徑部14、15緊密接觸，而形成封閉部16，從而形成有封閉部16的吸引孔8被封閉，來切斷空氣的流通。
[0023]在相對的側(cè)壁4間跨設(shè)并固定有撓性體17。撓性體17具有撓性，例如能夠使用橡膠片、板簧或樹脂類的板材。例如使用螺釘18將撓性體17的兩端螺紋固定在側(cè)壁4上。在撓性體17中以適當(dāng)?shù)拈g隔形成有多個通孔19。
[0024]在使用這種吸附裝置I對作為吸附對象物的基板9進(jìn)行吸引保持的情況下，首先使吸附部2的片材9與基板9抵接。在該狀態(tài)下使上述吸引泵工作，對負(fù)壓室10內(nèi)的空氣進(jìn)行吸引。如圖2所不，利用基板9將吸引孔8的在基板9 一側(cè)露出的開口部8a封閉，因此，被吸引泵吸引的空氣的流動如箭頭A所示。即，使空氣從吸引孔8流過吸引孔8與閥芯13之間，并經(jīng)由撓性體17的通孔19而從負(fù)壓室10流出。藉此，負(fù)壓室10內(nèi)成為負(fù)壓。此時，由于能確保從吸引泵到基板9的吸