引空氣的流路，因此，能夠利用吸附裝置I對(duì)基板9進(jìn)行吸引保持。
[0025]更進(jìn)一步而言，無(wú)論吸引孔8內(nèi)的空氣對(duì)基板9的吸引方向?yàn)楹畏N朝向，都能對(duì)基板9進(jìn)行吸引保持。即，如圖2所示，可以使開(kāi)口部8a朝向下方，也可以橫向、朝向上方、或是任意角度的朝向。這是由于將閥芯13形成為銷形狀并將該閥芯13的根部13a固定在負(fù)壓室10內(nèi)，因此，閥芯13不會(huì)因重力而在吸引孔8內(nèi)自由移動(dòng)。由于閥芯13不會(huì)受到重力的作用，因此即使使開(kāi)口部8a朝向上方進(jìn)行吸引，閥芯也不會(huì)因重力而下降以形成封閉部16。因而，無(wú)論空氣對(duì)作為吸附對(duì)象物的板材(基板9)的吸引方向?yàn)楹畏N朝向，都能防止閥芯13在重力的作用下發(fā)生移動(dòng)而使吸引孔8被封閉部16封閉。因而，能夠可靠地對(duì)基板9進(jìn)行吸引保持。另外，在進(jìn)行吸引時(shí)，雖然撓性體17稍微撓曲而使閥芯13向負(fù)壓室10側(cè)移動(dòng)，但閥芯13不會(huì)向負(fù)壓室10側(cè)移動(dòng)，而達(dá)到將封閉部16形成為使負(fù)壓室10內(nèi)處于真空狀態(tài)這種程度。
[0026]另一方面，對(duì)基板9實(shí)施各種各樣的加工。例如形成將基板9貫穿的穿孔20 (參照?qǐng)D1)。在具有這種穿孔20的情況下，若如上所述地固定閥芯13，則空氣從基板9的外部流入到吸引孔8內(nèi)，因此無(wú)法維持負(fù)壓室10內(nèi)的負(fù)壓，使得基板9的吸引保持變得不穩(wěn)定。但是，由于撓性體17具有撓性，因此，在吸引泵的吸引作用下會(huì)使撓性體17進(jìn)一步撓曲，而使閥芯13向負(fù)壓室10側(cè)移動(dòng)。藉此，擴(kuò)徑部14與擴(kuò)徑部15緊密接觸而形成封閉部16。因而，負(fù)壓室10內(nèi)維持負(fù)壓狀態(tài)而處于真空狀態(tài)，能夠利用其它的吸引孔8對(duì)基板9進(jìn)行吸引保持。
[0027]上述穿孔20是作為對(duì)基板9實(shí)施形狀加工而在連通部8與基板9的外部之間確?？諝獾牧魍窂降牟糠?連通部)的一例。作為這種連通部，除此之外還可在基板制造工藝中具有V形切口，該V形切口是在將基板分割開(kāi)的部分切入刻痕直至基板的中途深度而形成的。在上述V形切口部分配置開(kāi)口部8a，也能使撓性體17撓曲而形成封閉部16，從而能維持負(fù)壓室10內(nèi)的負(fù)壓狀態(tài)。為了僅使插通到如上所述配置于連通部的吸引孔8內(nèi)的閥芯13滑動(dòng)，理想的是在根部13a所固定的周圍設(shè)置通孔19。藉此，能僅使該閥芯13可靠地滑動(dòng)移動(dòng)。另外，由于在吸引時(shí)自動(dòng)進(jìn)行這種閥芯13的移動(dòng)，因此，不用考慮形成于基板9的連通部的位置就能進(jìn)行吸引保持作業(yè)，是高效的。另外，通過(guò)改變撓性體17的材質(zhì)等，能夠改變撓曲量。
[0028]如圖3所示，在吸附部2所具有的片材7中，吸引孔8的開(kāi)口部8a在作為吸附對(duì)象物的基板9側(cè)露出。理想的是，將該開(kāi)口部8a的孔徑設(shè)置為2mm以下。通過(guò)將開(kāi)口部8a的孔徑設(shè)置為2_以下，能夠減小各吸引孔8的吸附力。因此，即使將作為吸附對(duì)象物的基板9層疊，而使吸引孔8與位于更外側(cè)的其它吸附對(duì)象物經(jīng)由上述連通部20連通，也不會(huì)對(duì)其它吸附對(duì)象物9進(jìn)行吸引。因而，能提高處理性。另外，確認(rèn)到通過(guò)形成為這種小徑的吸引孔8，即使吸附對(duì)象物9是較薄的玻璃基板，也不會(huì)產(chǎn)生經(jīng)過(guò)吸引孔8而帶來(lái)的吸引痕跡。
[0029]另外，如圖3所示，理想的是，吸引孔8的軸線間的間隔為3_以下。通過(guò)將吸引孔8的軸線間的間隔P設(shè)置為3mm以下，使吸引孔8變得密集。確認(rèn)到通過(guò)形成為這種間隔，即使吸附對(duì)象物9存在許多個(gè)上述連通部20，也能將本發(fā)明應(yīng)用于該吸附對(duì)象物9而對(duì)該吸附對(duì)象物9進(jìn)行吸引保持。
[0030](符號(hào)說(shuō)明)
[0031]I吸附裝置
[0032]2吸附部
[0033]3 側(cè)壁
[0034]4 頂壁
[0035]5 片材
[0036]6 片材
[0037]7 片材
[0038]8吸引孔
[0039]8a 開(kāi)口部
[0040]9基板(吸附對(duì)象物)
[0041]10負(fù)壓室
[0042]11 螺栓
[0043]12連接管
[0044]13 閥芯
[0045]13a 根部
[0046]13b前端部
[0047]14擴(kuò)徑部
[0048]15擴(kuò)徑部
[0049]16封閉部
[0050]17撓性體
[0051]18 螺釘
[0052]19 通孔
[0053]20穿孔(連通部)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種吸附裝置，其特征在于，包括: 吸附部，所述吸附部與吸附對(duì)象物抵接，并形成有多個(gè)吸引孔； 側(cè)壁及頂壁，所述側(cè)壁及頂壁與所述吸附部協(xié)同作用而形成大致密閉的負(fù)壓室；銷形狀的閥芯，所述閥芯從所述負(fù)壓室延伸到所述吸引孔內(nèi)；以及封閉部，所述封閉部因所述閥芯在所述吸引孔內(nèi)滑動(dòng)而使所述閥芯的一部分與所述吸引孔的內(nèi)壁的一部分緊密接觸，來(lái)將所述吸引孔封閉， 所述閥芯具有位于所述負(fù)壓室內(nèi)的一方的端部、即根部， 所述根部固定在具有撓性的板形狀的撓性體上，所述撓性體在所述負(fù)壓室內(nèi)跨設(shè)并固定在所述側(cè)壁間， 所述撓性體具有多個(gè)通孔。2.如權(quán)利要求1所述的吸附裝置，其特征在于， 在所述吸附對(duì)象物側(cè)露出的所述吸引孔的開(kāi)口部的孔徑為2mm以下。3.如權(quán)利要求2所述的吸附裝置，其特征在于， 所述吸引孔的軸線間的間隔為3mm以下。
【專利摘要】吸附裝置(1)包括：吸附部(2)，所述吸附部(2)與吸附對(duì)象物(9)抵接，并形成有多個(gè)吸引孔(8)；側(cè)壁(3)及頂壁(4)，所述側(cè)壁(3)及頂壁(4)與吸附部(2)協(xié)同作用而形成負(fù)壓室(10)；銷形狀的閥芯(13)，所述閥芯(13)從負(fù)壓室(10)延伸到吸引孔(8)內(nèi)；以及封閉部(16)，所述封閉部(16)因該閥芯(13)在吸引孔(8)內(nèi)滑動(dòng)而使閥芯(13)的一部分與吸引孔(8)的內(nèi)壁的一部分緊密接觸，來(lái)將吸引孔(8)封閉，閥芯(13)具有位于負(fù)壓室(10)內(nèi)的一方的端部、即根部(13a)，該根部(13a)固定在具有撓性的板形狀的撓性體(17)上，所述撓性體(17)在負(fù)壓室(10)內(nèi)跨設(shè)并固定在側(cè)壁(3)間，撓性體(17)具有多個(gè)通孔(19)。
【IPC分類】H05K13/04, B25J15/06
【公開(kāi)號(hào)】CN104918757
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201380070016
【發(fā)明人】河田茂, 新開(kāi)昇
【申請(qǐng)人】名幸電子有限公司
【公開(kāi)日】2015年9月16日
【申請(qǐng)日】2013年1月15日
【公告號(hào)】EP2946890A1, WO2014112037A1