工業(yè)用機(jī)器人的原點(diǎn)位置返回方法及工業(yè)用機(jī)器人的制作方法
【專利說明】工業(yè)用機(jī)器人的原點(diǎn)位置返回方法及工業(yè)用機(jī)器人
[0001]本發(fā)明專利申請是國際申請?zhí)枮镻CT/JP2013/070160，國際申請日為2013年7月25日，進(jìn)入中國國家階段的申請?zhí)枮?01380011432.6，名稱為“工業(yè)用機(jī)器人”的發(fā)明專利申請的分案申請。
技術(shù)領(lǐng)域
[0002]第一發(fā)明涉及一種在真空中使用的工業(yè)用機(jī)器人。
[0003]第二發(fā)明涉及一種使工業(yè)用機(jī)器人返回至原點(diǎn)位置的工業(yè)用機(jī)器人的原點(diǎn)位置返回方法。并且，在本發(fā)明中涉及一種包括手和臂的工業(yè)用機(jī)器人。
[0004]第三發(fā)明涉及一種具有包括被連接成能夠相對轉(zhuǎn)動的多個臂部的臂的工業(yè)用機(jī)器人。
[0005]第四發(fā)明涉及一種具有包括被連接成能夠相對轉(zhuǎn)動的多個臂部的臂的工業(yè)用機(jī)器人以及該工業(yè)用機(jī)器人的控制方法。
【背景技術(shù)】
[0006]以往，已知一種在真空中搬送基板的真空機(jī)器人(例如參照專利文獻(xiàn)I)。專利文獻(xiàn)I中記載的真空機(jī)器人包括:手，其用于裝載基板；臂，其前端側(cè)與手連接；以及主體部，其與臂的基端側(cè)連接。臂包括:臂基座，其與主體部連接成能夠轉(zhuǎn)動；第一臂部，其基端側(cè)與臂基座連接成能夠轉(zhuǎn)動；以及第二臂部，其基端側(cè)與第一臂的前端側(cè)連接成能夠轉(zhuǎn)動。臂基座以及第一臂形成為中空狀。在臂基座的內(nèi)部配置有使臂驅(qū)動的臂驅(qū)動用馬達(dá)以及將臂驅(qū)動用馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)減速并傳遞至第一臂的第一減速機(jī)。在第一減速機(jī)的輸出軸固定有第一臂的基端側(cè)。在第一臂的前端側(cè)配置有將臂驅(qū)動用馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)減速并傳遞至第二臂的第二減速機(jī)。在第二減速機(jī)的輸出軸固定有第二臂的基端側(cè)。
[0007]在專利文獻(xiàn)I中記載的真空機(jī)器人中，主體部的一部分固定于真空容器的底面，臂以及手配置在真空中。另一方面，在形成為中空狀的臂基座以及第一臂的內(nèi)部空間中確保了氣密性，臂基座以及第一臂的內(nèi)部空間成為大氣壓。因此，在該真空機(jī)器人中，即便將臂配置在真空中，也無需使用真空潤滑脂等高價的潤滑劑作為第一減速機(jī)以及第二減速機(jī)的潤滑劑，只要使用在大氣壓中所使用的潤滑脂等潤滑劑即可。因此，能夠降低真空機(jī)器人的初期成本以及運(yùn)轉(zhuǎn)成本。并且，在該真空機(jī)器人中，即便將臂配置在真空中，由于臂基座以及第一臂的內(nèi)部空間成為大氣壓，因此也能夠冷卻配置在臂基座的內(nèi)部的臂驅(qū)動用馬達(dá)。
[0008]其次，以往已知一種使通過控制程序進(jìn)行一系列動作的工業(yè)用機(jī)器人從緊急停止位置返回至原點(diǎn)位置的原點(diǎn)位置返回方法(例如參照專利文獻(xiàn)2)。在專利文獻(xiàn)2中記載的原點(diǎn)位置返回方法中，根據(jù)記錄于機(jī)器人控制器的緊急停止時的工業(yè)用機(jī)器人的當(dāng)前位置的坐標(biāo)(當(dāng)前狀態(tài))以及基于由編碼器檢測的檢測結(jié)果獲取的緊急停止時的工業(yè)用機(jī)器人的實(shí)際當(dāng)前位置的坐標(biāo)，使工業(yè)用機(jī)器人進(jìn)行指定的動作，從而使工業(yè)用機(jī)器人返回至原點(diǎn)位置。
[0009]并且，以往已知一種具有包括多個臂部的臂的多關(guān)節(jié)型工業(yè)用機(jī)器人(例如參照專利文獻(xiàn)3)。專利文獻(xiàn)3中記載的工業(yè)用機(jī)器人包括:臂，所述臂包括在主體部安裝成能夠轉(zhuǎn)動的第一臂部、在第一臂部安裝成能夠轉(zhuǎn)動的第二臂部以及在第二臂部安裝成能夠轉(zhuǎn)動的第三臂部；以及兩個手，所述兩個手在第三臂部安裝成能夠轉(zhuǎn)動。并且，該工業(yè)用機(jī)器人包括:第一驅(qū)動用馬達(dá)，其使第一臂部以及第二臂部轉(zhuǎn)動；第二驅(qū)動用馬達(dá)，其使第三臂部轉(zhuǎn)動；以及兩個手驅(qū)動用馬達(dá)，所述兩個手驅(qū)動用馬達(dá)使兩個手分別轉(zhuǎn)動。該工業(yè)用機(jī)器人例如配置在半導(dǎo)體制造系統(tǒng)的入口，從晶圓盒取出收納于晶圓盒內(nèi)的半導(dǎo)體晶圓，并將半導(dǎo)體晶圓收納于指定的處理裝置中。
[0010]另外，以往已知一種搬送半導(dǎo)體晶圓的半導(dǎo)體搬送機(jī)器人(例如參照專利文獻(xiàn)4)。專利文獻(xiàn)4中記載的搬送用機(jī)器人是水平多關(guān)節(jié)型的三軸機(jī)器人，其包括:升降軸，其設(shè)置在基臺；臂，其基端側(cè)與升降軸連接成能夠轉(zhuǎn)動；以及手，其與臂的前端側(cè)連接成能夠轉(zhuǎn)動。臂包括:第一臂部，其基端側(cè)與升降軸連接成能夠轉(zhuǎn)動；以及第二臂部，其基端側(cè)與第一臂部的前端側(cè)連接成能夠轉(zhuǎn)動，且在所述第二臂部的前端側(cè)將手連接成能夠轉(zhuǎn)動。并且，該搬送用機(jī)器人包括使第一臂部、第二臂部以及手分別轉(zhuǎn)動的三個馬達(dá)。
[0011]在專利文獻(xiàn)4中記載的搬送機(jī)器人中，根據(jù)以第一臂部相對于升降軸的轉(zhuǎn)動中心為原點(diǎn)的圓柱坐標(biāo)系控制手的位置。并且，在專利文獻(xiàn)I中公開了一種自動指示方法，其自動指示用于使臂以在從上下方向觀察時手在通過第一臂部的轉(zhuǎn)動中心的直線上移動的方式(即，以手向圓柱坐標(biāo)系的徑向移動的方式)伸縮的手的移動位置。另外，在專利文獻(xiàn)4中，記載了也可根據(jù)XY坐標(biāo)系控制手的位置的內(nèi)容。
[0012]并且，專利文獻(xiàn)4中記載的搬送機(jī)器人使用在用于制造半導(dǎo)體的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)中。在半導(dǎo)體制造系統(tǒng)中，以往在從上下方向觀察時呈以第一臂部的轉(zhuǎn)動中心為中心的放射狀配置有半導(dǎo)體晶圓的處理裝置，搬送機(jī)器人使手呈以第一臂部的轉(zhuǎn)動中心為中心的放射狀移動(即，使手在通過第一臂部的轉(zhuǎn)動中心的直線上移動)來搬送半導(dǎo)體晶圓。
[0013]現(xiàn)有專利文獻(xiàn)
[0014]專利文獻(xiàn)
[0015]專利文獻(xiàn)1:日本特開2011-101912號公報
[0016]專利文獻(xiàn)2:日本特開2009-90383號公報
[0017]專利文獻(xiàn)3:日本特開2011-230256號公報
[0018]專利文獻(xiàn)4:日本特開2010-284728號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0019]發(fā)明所要解決的課題
[0020]近年來，在真空中搬送的基板等搬送對象物越來越大型化。例如，若由專利文獻(xiàn)I中記載的真空機(jī)器人搬送的基板大型化，則由于施加至臂驅(qū)動用馬達(dá)的負(fù)載變大，因此臂驅(qū)動用馬達(dá)的發(fā)熱量變大。因此，在專利文獻(xiàn)I中記載的真空機(jī)器人中，若不有效地冷卻臂驅(qū)動用馬達(dá)，則可能會因熱的影響而損傷臂驅(qū)動用馬達(dá)。
[0021]因此，第一發(fā)明的課題為提供一種工業(yè)用機(jī)器人，其將配置在真空中的臂的至少一部分的內(nèi)部設(shè)為大氣壓，且能夠有效地冷卻配置在臂內(nèi)部的大氣中的手或臂的驅(qū)動用馬達(dá)。
[0022]如上所述，在專利文獻(xiàn)2中記載的原點(diǎn)位置返回方法中，能夠使掌握自身當(dāng)前位置的坐標(biāo)(當(dāng)前狀態(tài))的工業(yè)用機(jī)器人從緊急停止位置返回至原點(diǎn)位置。但是，在專利文獻(xiàn)2中記載的原點(diǎn)位置返回方法中，無法使由于某種原因而在當(dāng)前位置的坐標(biāo)為未知的狀態(tài)下緊急停止的工業(yè)用機(jī)器人返回至原點(diǎn)位置。
[0023]因此，第二發(fā)明的課題為提供一種工業(yè)用機(jī)器人的原點(diǎn)位置返回方法，其能夠用簡單的方法使在當(dāng)前位置的坐標(biāo)為未知的狀態(tài)下停止的工業(yè)用機(jī)器人返回至原點(diǎn)位置。并且，本發(fā)明的課題為提供一種工業(yè)用機(jī)器人，其即便在當(dāng)前位置的坐標(biāo)為未知的狀態(tài)下停止，也能夠用簡單的方法返回至原點(diǎn)位置。
[0024]接著，在半導(dǎo)體制造系統(tǒng)等使用工業(yè)用機(jī)器人的系統(tǒng)中，有可能發(fā)生因某種原因而必須使工業(yè)用機(jī)器人緊急停止來確保安全的狀況。此時，一般做法為立即切斷工業(yè)用機(jī)器人的電源，使工業(yè)用機(jī)器人停止。
[0025]但是，如專利文獻(xiàn)3中記載的工業(yè)用機(jī)器人，在設(shè)置有使第一臂部以及第二臂部轉(zhuǎn)動的第一驅(qū)動用馬達(dá)、使第三臂部轉(zhuǎn)動的第二驅(qū)動用馬達(dá)以及使兩個手分別轉(zhuǎn)動的兩個手驅(qū)動用馬達(dá)的工業(yè)用機(jī)器人中，若在第一臂部、第二臂部、第三臂部以及手正在動作時，切斷對第一驅(qū)動用馬達(dá)、第二驅(qū)動用馬達(dá)以及手驅(qū)動用馬達(dá)供電的電源而使工業(yè)用機(jī)器人緊急停止，則有可能由于正在動作的第一臂部以及第二臂部的慣性、第三臂部的慣性以及手的慣性而導(dǎo)致第一臂部、第二臂部、第三臂部以及手分別自由轉(zhuǎn)動，直至第一臂部、第二臂部、第三臂部以及手停止為止。若第一臂部、第二臂部、第三臂部以及手分別自由轉(zhuǎn)動，直至第一臂部、第二臂部、第三臂部以及手停止為止，則有可能導(dǎo)致第一臂部、第二臂部、第三臂部或手例如與收納有半導(dǎo)體晶圓的晶圓盒或處理半導(dǎo)體晶圓的處理裝置相碰撞，引起意外事故。
[0026]因此，第三發(fā)明的課題為提供一種工業(yè)用機(jī)器人以及工業(yè)用機(jī)器人的控制方法，該工業(yè)用機(jī)器人具有包括被連接成能夠相對轉(zhuǎn)動的多個臂部的臂，所述工業(yè)用機(jī)器人的控制方法即使在所述工業(yè)用機(jī)器人包括用于使多個臂部轉(zhuǎn)動的多個馬達(dá)時，也能夠使工業(yè)用機(jī)器人以臂的姿勢呈指定狀態(tài)的方式緊急停止。
[0027]如上所述，在使用專利文獻(xiàn)4中記載的搬送機(jī)器人的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)中，以往在從上下方向觀察時呈以第一臂部的轉(zhuǎn)動中心為中心的放射狀配置有半導(dǎo)體晶圓的處理裝置。但是，若呈放射狀配置有半導(dǎo)體晶圓的處理裝置，則由于半導(dǎo)體制造系統(tǒng)的設(shè)置面積容易變大，因此存在希望變更處理裝置的布局來減小半導(dǎo)體制造系統(tǒng)的設(shè)置面積的需求。另一方面，若變更處理裝置的布局，則有可能產(chǎn)生以下情形:必須使手在從上下方向觀察時在不沿著通過第一臂部的轉(zhuǎn)動中心的直線的位置直線地移動而搬送半導(dǎo)體晶圓。
[0028]專利文獻(xiàn)4中記載的搬送機(jī)器人由于包括使第一臂部、第二臂部以及手分別轉(zhuǎn)動的三個馬達(dá)，因此能夠使手在從上下方向觀察時在不沿著通過第一臂部的轉(zhuǎn)動中心的直線的位置直線地移動。但是，在使手在從上下方向觀察時在不沿著通過第一臂部的轉(zhuǎn)動中心的直線的位置直線地移動的情況下，有可能導(dǎo)致手的移動位置的指示變得復(fù)雜。
[0029]因此，第四發(fā)明的課題為提供一種工業(yè)用機(jī)器人，其包括:臂，所述臂包括被連接成能夠相對轉(zhuǎn)動的多個臂部；多個馬達(dá)，所述多個馬達(dá)用于使多個臂部轉(zhuǎn)動；以及主體部，臂的基端側(cè)與所述主體部連接成能夠轉(zhuǎn)動，該工業(yè)用機(jī)器人即使在從臂的轉(zhuǎn)動的軸向觀察時臂的前端側(cè)在不沿著通過臂相對于主體部的轉(zhuǎn)動中心的假想線的位置直線地移動的情況下，也能夠容易地指示臂的前端側(cè)的移動位置。
[0030]并且，第四發(fā)明的課題為提供一種工業(yè)用機(jī)器人的控制方法，該工業(yè)用機(jī)器人包括:臂，所述臂包括被連接成能夠相對轉(zhuǎn)動的多個臂部；多個馬達(dá)，所述多個馬達(dá)用于使多個臂部轉(zhuǎn)動；以及主體部，臂的基端側(cè)與所述主體部連接成能夠轉(zhuǎn)動，該工業(yè)用機(jī)器人的控制方法即使在從臂的轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)動的軸向觀察時臂的前端側(cè)在不沿著通過臂相對于主體部的轉(zhuǎn)動中心的假想線的位置直線地移動的情況下，也能夠容易地指示臂的前端側(cè)的移動位置。
[0031]用于解決課題的方法
[0032]為了解決所述課題，已在權(quán)利要求1至6中敘述了第一發(fā)明，第一發(fā)明的工業(yè)用機(jī)器人的特征在于，其包括:主體部；臂，所述臂包括第一臂部以及第二臂部，所述第一臂部的基端側(cè)與主體部連接成能夠轉(zhuǎn)動，所述第二臂部的基端側(cè)與第一臂部的前端側(cè)連接成能夠轉(zhuǎn)動；手，所述手與第二臂部的前端側(cè)連接成能夠轉(zhuǎn)動；第一馬達(dá)，所述第一馬達(dá)用于使第二臂部相對于第一臂部轉(zhuǎn)動；第二馬達(dá)，所述第二馬達(dá)用于使手相對于第二臂部轉(zhuǎn)動；第一減速機(jī)，所述第一減速機(jī)將第一馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)減速并傳遞至第二臂部；以及第二減速機(jī)，所述第二減速機(jī)將第二馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)減速并傳遞至手，手和臂配置在真空中，第一減速機(jī)和第二減速機(jī)是在其徑向的中心形成有貫通孔的中空減速機(jī)，第一減速機(jī)與第二減速機(jī)以第二臂部相對于第一臂部的轉(zhuǎn)動中心或手相對于第二臂部的轉(zhuǎn)動中心與第一減速機(jī)的軸中心以及第二減速機(jī)的軸中心一致的方式同軸地重疊配置，且構(gòu)成連接第一臂部與第二臂部的第一關(guān)節(jié)部或連接第二臂部與手的第二關(guān)節(jié)部中的至少一部分，在形成為中空狀的第一臂部或第二臂部的內(nèi)部空間配置有第一馬達(dá)、第二馬達(dá)、第一減速機(jī)以及第二減速機(jī)，內(nèi)部空間成為大氣壓。
[0033]在第一發(fā)明的工業(yè)用機(jī)器人中，形成為中空狀的第一臂部或第二臂部的內(nèi)部空間成為大氣壓，在該內(nèi)部空間配置有第一馬達(dá)、第二馬達(dá)、第一減速機(jī)以及第二減速機(jī)。并且，在第一發(fā)明中，配置在內(nèi)部空間的第一減速機(jī)與第二減速機(jī)以其軸中心一致的方式同軸地重疊。因此，在第一發(fā)明中，能夠在第一減速機(jī)的軸向以及第二減速機(jī)的軸向增大內(nèi)部空間。即，在第一發(fā)明中，能夠增大成為大氣壓的內(nèi)部空間的容積，從而增加內(nèi)部空間內(nèi)的空氣的量。因此，在第一發(fā)明中，能夠有效地冷卻配置在成為大氣壓的內(nèi)部空間的第一馬達(dá)和第二馬達(dá)。并且，在第一發(fā)明中，由于在第二臂部相對于第一臂部的轉(zhuǎn)動中心上或手相對于第二臂部的轉(zhuǎn)動中心上配置有兩臺減速機(jī)，因此能夠提高第一關(guān)節(jié)部或第二關(guān)節(jié)部的剛性。
[0034]在第一發(fā)明中，優(yōu)選第一臂部以及手在從收納有裝載于手的搬送對象物的收納部搬出搬送對象物時以及向收納部搬入搬送對象物時，以第一臂部相對于主體部的轉(zhuǎn)動角度與手相對于第二臂部的轉(zhuǎn)動角度相同且第一臂部相對于主體部的轉(zhuǎn)動方向與手相對于第二臂部的轉(zhuǎn)動方向成為相反方向的方式轉(zhuǎn)動。若如此構(gòu)成，則能夠?qū)⑹衷诎岢鲆约鞍崛氚崴蛯ο笪飼r的朝向保持為恒定。即，能夠以比較簡單的控制將手在搬出以及搬入搬送對象物時的朝向保持為恒定。
[0035]在第一發(fā)明中，例如第一臂部以從主體部向水平方向的一側(cè)延伸的方式安裝于主體部，在第一臂部安裝有從主體部向水平方向的另一側(cè)延伸的平衡器。此時，能夠降低作用于將第一臂部支承為能夠轉(zhuǎn)動的軸承的負(fù)載。
[0036]并且，為了解決所述課題，第一發(fā)明的工業(yè)用機(jī)器人的特征在于，其包括:主體部；臂，所述臂包括第一臂部、第二臂部以及第三臂部，所述第一臂部的基端側(cè)與主體部連接成能夠轉(zhuǎn)動，所述第二臂部的基端側(cè)與第一臂部的前端側(cè)連接成能夠轉(zhuǎn)動，所述第三臂部的基端側(cè)與第二臂部的前端側(cè)連接成能夠轉(zhuǎn)動；手，所述手與第三臂部的前端側(cè)連接成能夠轉(zhuǎn)動；第一馬達(dá)，所述第一馬達(dá)用于使第二臂部相對于第一臂部轉(zhuǎn)動；第二馬達(dá)，所述第二馬達(dá)用于使第三臂部相對于第二臂部轉(zhuǎn)動；第三馬達(dá)，所述第三馬達(dá)用于使手相對于第三臂部轉(zhuǎn)動；第一減速機(jī)，所述第一減速機(jī)將第一馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)減速并傳遞至第二臂部；第二減速機(jī)，所述第二減速機(jī)將第二馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)減速并傳遞至第三臂部；以及第三減速機(jī)，所述第三減速機(jī)將第三馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)減速并傳遞至手，手和臂配置在真空中，第一減速機(jī)、第二減速機(jī)以及第三減速機(jī)是在其徑向的中心形成有貫通孔的中空減速機(jī)，第一減速機(jī)、第二減速機(jī)以及第三減速機(jī)中的至少兩個減速機(jī)以其軸中心與第二臂部相對于第一臂部的轉(zhuǎn)動中心、第三臂部相對于第二臂部的轉(zhuǎn)動中心或手相對于第三臂部的轉(zhuǎn)動中心一致的方式同軸地重疊配置，且構(gòu)成連接第一臂部與第二臂部的第一關(guān)節(jié)部、連接第二臂部與第三臂部的第二關(guān)節(jié)部或連接第三臂部與手的第三關(guān)節(jié)部中的至少一部分，在形成為中空狀的第一臂部、第二臂部或第三臂部的內(nèi)部空間配置有以同軸地重疊的方式配置的至少兩個減速機(jī)、以及與該至少兩個減速機(jī)連接的第一馬達(dá)、第二馬達(dá)以及第三馬達(dá)中的至少兩個馬達(dá)，內(nèi)部空間成為大氣壓。
[0037]在第一發(fā)明的工業(yè)用機(jī)器人中，形成為中空狀的第一臂部、第二臂部或第三臂部的內(nèi)部空間成為大氣壓，在該內(nèi)部空間配置有第一減速機(jī)、第二減速機(jī)以及第三減速機(jī)中的至少兩個減速機(jī)、以及與該至少兩個減速機(jī)連接的第一馬達(dá)、第二馬達(dá)以及第三馬達(dá)中的至少兩個馬達(dá)。并且，在第一發(fā)明中，配置在內(nèi)部空間的至少兩個減速機(jī)以其軸中心一致的方式同軸地重疊。因此，在第一發(fā)明中，能夠在減速機(jī)的軸向增大內(nèi)部空間。即，在本發(fā)明中，能夠增大成為大氣壓的內(nèi)部空間的容積，從而增加內(nèi)部空間內(nèi)的空氣的量。因此，在第一發(fā)明中，能夠有效地冷卻配置在成為大氣壓的內(nèi)部空間的至少兩個馬達(dá)。并且，在第一發(fā)明中，由于在第二臂部相對于第一臂部的轉(zhuǎn)動中心上、第三臂部相對于第二臂部的轉(zhuǎn)動中心上或手相對于第三臂部的轉(zhuǎn)動中心上配置有至少兩臺減速機(jī)，因此能夠提高第一關(guān)節(jié)部、第二關(guān)節(jié)部或第三關(guān)節(jié)部的剛性。
[0038]并且，為了解決所述課題，第一發(fā)明的工業(yè)用機(jī)器人的特征在于，其包括:主體部；臂，所述臂包括第一臂部、第二臂部以及第三臂部，所述第一臂部的基端側(cè)與主體部連接成能夠轉(zhuǎn)動，所述第二臂部的基端側(cè)與第一臂部的前端側(cè)連接成能夠轉(zhuǎn)動，所述第三臂部的基端側(cè)與第二臂部的前端側(cè)連接成能夠轉(zhuǎn)動；手，所述手與第三臂部的前端側(cè)連接成能夠轉(zhuǎn)動；第一馬達(dá)，所述第一馬達(dá)用于使臂伸縮；第二馬達(dá)，所述第二馬達(dá)用于使手相對于第三臂部轉(zhuǎn)動；第一減速機(jī)，所述第一減速機(jī)將第一馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)減速并傳遞至臂；以及第二減速機(jī)，所述第二減速機(jī)將第二馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)減速并傳遞至手，手和臂配置在真空中，第一減速機(jī)和第二減速機(jī)是在其徑向的中心形成有貫通孔的中空減速機(jī)，第一減速機(jī)以及第二減速機(jī)以其軸中心與第二臂部相對于第一臂部的轉(zhuǎn)動中心、第三臂部相對于第二臂部的轉(zhuǎn)動中心或手相對于第三臂部的轉(zhuǎn)動中心一致的方式同軸地重疊配置，且構(gòu)成連接第一臂部與第二臂部的第一關(guān)節(jié)部、連接第二臂部與第三臂部的第二關(guān)節(jié)部或連接第三臂部與手的第三關(guān)節(jié)部中的至少一部分，在形成為中空狀的第一臂部、第二臂部或第三臂部的內(nèi)部空間配置有第一馬達(dá)、第二馬達(dá)、第一減速機(jī)以及第二減速機(jī)，內(nèi)部空間成為大氣壓。
[0039]在第一發(fā)明的工業(yè)用機(jī)器人中，形成為中空狀的第一臂部、第二臂部或第三臂部的內(nèi)部空間成為大氣壓，在該內(nèi)部空間配置有第一馬達(dá)、第二馬達(dá)、第一減速機(jī)以及第二減速機(jī)。并且，在第一發(fā)明中，配置在內(nèi)部空間的第一減速機(jī)與第二減速機(jī)以其軸中心一致的方式同軸地重疊。因此，在第一發(fā)明中，能夠在第一減速機(jī)的軸向以及第二減速機(jī)的軸向增大內(nèi)部空間。即，在第一發(fā)明中，能夠增大成為大氣壓的內(nèi)部空間的容積，從而增加內(nèi)部空間內(nèi)的空氣的量。因此，在第一發(fā)明中，能夠有效地冷卻配置在成為大氣壓的內(nèi)部空間的第一馬達(dá)和第二馬達(dá)。并且，在第一發(fā)明中，由于在第二臂部相對于第一臂部的轉(zhuǎn)動中心上、第三臂部相對于第二臂部的轉(zhuǎn)動中心上或手相對于第三臂部的轉(zhuǎn)動中心上配置有兩臺減速機(jī)，因此能夠提高第一關(guān)節(jié)部、第二關(guān)節(jié)部或第三關(guān)節(jié)部的剛性。
[0040]此外，為了解決所述課題，第一發(fā)明的工業(yè)用機(jī)器人的特征在于，其包括:主體部；臂，所述臂包括第一臂部、第二臂部、第三臂部以及第四臂部，所述第一臂部的基端側(cè)與主體部連接成能夠轉(zhuǎn)動，所述第二臂部的基端側(cè)與第一臂部的前端側(cè)連接成能夠轉(zhuǎn)動，所述第三臂部的基端側(cè)與第二臂部的前端側(cè)連接成能夠轉(zhuǎn)動，所述第四臂部的基端側(cè)與第三臂部的前端側(cè)連接成能夠轉(zhuǎn)動；手，所述手與第四臂部的前端側(cè)連接成能夠轉(zhuǎn)動；第一馬達(dá)，所述第一馬達(dá)用于使第二臂部相對于第一臂部轉(zhuǎn)動；第二馬達(dá)，所述第二馬達(dá)用于使第三臂部相對于第二臂部轉(zhuǎn)動；第三馬達(dá)，所述第三馬達(dá)用于使第四臂部相對于第三臂部轉(zhuǎn)動；第四馬達(dá)，所述第四馬達(dá)用于使手相對于第四臂部轉(zhuǎn)動；第一減速機(jī)，所述第一減速機(jī)將第一馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)減速并傳遞至第二臂部；第二減速機(jī)，所述第二減速機(jī)將第二馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)減速并傳遞至第三臂部；第三減速機(jī)，所述第三減速機(jī)將第三馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)減速并傳遞至第四臂部；以及第四減速機(jī)，所述第四減速機(jī)將第四馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)減速并傳遞至手，手和臂配置在真空中，第一減速機(jī)、第二減速機(jī)、第三減速機(jī)以及第四減速機(jī)是在其徑向的中心形成有貫通孔的中空減速機(jī)，第一減速機(jī)