側(cè)且在左右方向上轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2與腔室7-10的左右方向的中心大致一致的位置(參照?qǐng)D6(B)、圖7(B)、圖8(B)、圖9(B))之間直線地移動(dòng)時(shí)，控制部100利用圓柱坐標(biāo)系控制機(jī)器人I。
[0165]另一方面，在從上下方向觀察時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2在不沿著通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)中心Cl的假想線的位置直線地移動(dòng)時(shí)，控制部100利用直角坐標(biāo)系控制機(jī)器人I。在本方式中，在以構(gòu)成直角坐標(biāo)系的一個(gè)坐標(biāo)軸與左右方向平行、另一坐標(biāo)軸與前后方向平行的方式定義了直角坐標(biāo)系且在從上下方向觀察時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2在不沿著通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)中心Cl的假想線的位置直線地移動(dòng)時(shí)，控制部100利用基于轉(zhuǎn)動(dòng)中心Cl與轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2在左右方向的距離和轉(zhuǎn)動(dòng)中心Cl與轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2在前后方向的距離的直角坐標(biāo)系控制機(jī)器人I。
[0166]S卩，當(dāng)為了進(jìn)行基板2相對(duì)于腔室7-10的搬出或搬入，轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2在叉部21與前后方向平行且基板2配置在手13的前端側(cè)或后端側(cè)且在左右方向上轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2與腔室7-10的左右方向的中心大致一致的位置(參照?qǐng)D6(B)、圖7(B)、圖8(B)、圖9(B))與臂14伸展至叉部21進(jìn)入腔室7-10中為止的位置(參照?qǐng)D6 (C)、圖7 (C)、圖8 (C)、圖9 (C))之間直線地移動(dòng)時(shí)，控制部100利用直角坐標(biāo)系控制機(jī)器人I。
[0167]并且，在第一臂部23相對(duì)于主體部15不轉(zhuǎn)動(dòng)且第二臂部24相對(duì)于第一臂部23不轉(zhuǎn)動(dòng)的狀態(tài)下，在手13相對(duì)于第二臂部24轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，控制部100利用圓柱坐標(biāo)系控制機(jī)器人。并且，在第二臂部24相對(duì)于第一臂部23不轉(zhuǎn)動(dòng)且手13相對(duì)于第二臂部24不轉(zhuǎn)動(dòng)的狀態(tài)下，在第一臂部23相對(duì)于主體部15轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，控制部100也利用圓柱坐標(biāo)系控制機(jī)器人
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[0168]在本方式中，使用圓柱坐標(biāo)系的坐標(biāo)對(duì)利用圓柱坐標(biāo)系控制時(shí)的轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2的移動(dòng)位置等進(jìn)行指示。并且，使用直角坐標(biāo)系的坐標(biāo)對(duì)利用直角坐標(biāo)系控制時(shí)的轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2的移動(dòng)位置進(jìn)行指示。另外，無(wú)論在利用圓柱坐標(biāo)系控制機(jī)器人I時(shí)以及利用直角坐標(biāo)系控制機(jī)器人I時(shí)的哪種情況下，都能夠控制從上下方向觀察時(shí)的轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2的位置、手13的高度以及手13相對(duì)于第二臂部24的轉(zhuǎn)動(dòng)角度。
[0169](第一發(fā)明的本方式的主要效果)
[0170]如以上說(shuō)明，在本方式中，形成為中空狀的第一臂部23的內(nèi)部空間45成為大氣壓，在該內(nèi)部空間45中配置有馬達(dá)46、47以及減速機(jī)48、49。并且，在本方式中，配置于內(nèi)部空間45的減速機(jī)48與減速機(jī)49以其軸中心一致的方式同軸地重疊。因此，在本方式中，能夠在減速機(jī)48、49的軸向即上下方向上將第一臂部23的厚度設(shè)定為較厚。即，在本方式中，能夠在上下方向上增大內(nèi)部空間45，且能夠增大內(nèi)部的壓力成為大氣壓的內(nèi)部空間45的容積，從而能夠增加內(nèi)部空間45內(nèi)的空氣的量。因此，在本方式中，能夠有效地冷卻配置于內(nèi)部空間45的馬達(dá)46、47。其結(jié)果是，在本方式中，能夠防止由于熱而造成馬達(dá)46、47損傷。
[0171]尤其在第一發(fā)明的本方式中，第二臂部24相對(duì)于第一臂部23的轉(zhuǎn)動(dòng)中心與第一臂部23相對(duì)于主體部15的轉(zhuǎn)動(dòng)中心之間的距離等于第二臂部24相對(duì)于第一臂部23的轉(zhuǎn)動(dòng)中心與手13相對(duì)于第二臂部24的轉(zhuǎn)動(dòng)中心之間的距離，且第一臂部23的長(zhǎng)度比較長(zhǎng)。因此，在本方式中，能夠進(jìn)一步增大內(nèi)部空間45的容積，從而進(jìn)一步增加內(nèi)部空間45內(nèi)的空氣的量，其結(jié)果是，能夠更加有效地冷卻配置于內(nèi)部空間45的馬達(dá)46、47。并且，在本方式中，由于在馬達(dá)46卷繞有冷卻用管64，因此能夠更加有效地冷卻馬達(dá)46。
[0172]并且，在第一發(fā)明的本方式中，由于將馬達(dá)46、47以及減速機(jī)48、49配置于內(nèi)部的壓力成為大氣壓的內(nèi)部空間45，因此即使手13和臂14配置在真空中，也無(wú)需使用真空潤(rùn)滑脂等高價(jià)的潤(rùn)滑劑作為馬達(dá)46、47或減速機(jī)48、49的潤(rùn)滑劑，只要使用在大氣壓中所使用的潤(rùn)滑脂等潤(rùn)滑劑即可。因此，在本方式中，能夠降低機(jī)器人I的初期成本以及運(yùn)轉(zhuǎn)成本。
[0173]在第一發(fā)明的本方式中，由減速機(jī)48、49構(gòu)成關(guān)節(jié)部26的一部分。因此，在本方式中，能夠提高關(guān)節(jié)部26的剛性。尤其在本方式中，減速機(jī)48、49是中空減速機(jī)，且以其軸中心與第二臂部24相對(duì)于第一臂部23的轉(zhuǎn)動(dòng)中心一致的方式同軸地配置。即，在本方式中，在第二臂部24相對(duì)于第一臂部23的轉(zhuǎn)動(dòng)中心上配置有兩臺(tái)減速機(jī)48、49。因此，在本方式中，能夠進(jìn)一步提高關(guān)節(jié)部26的剛性。因此，在本方式中，即便用機(jī)器人I搬送比較大的基板2，也能夠防止關(guān)節(jié)部26損傷。
[0174]另外，如第一發(fā)明的本方式，在以將搬出以及搬入基板2時(shí)的手13的朝向保持為恒定的狀態(tài)在腔室5-10之間搬送基板2時(shí)，若搬送比較大的基板2，則雖然對(duì)關(guān)節(jié)部26施加較大負(fù)載，但對(duì)關(guān)節(jié)部27不會(huì)施加較大負(fù)載。因此，在本方式中，即使由帶輪61等構(gòu)成關(guān)節(jié)部27，也不易使關(guān)節(jié)部27損傷。
[0175]在第一發(fā)明的本方式中，在搬出以及搬入基板2時(shí)，手13以及第一臂部23以第一臂部23相對(duì)于主體部15的轉(zhuǎn)動(dòng)角度與手13相對(duì)于第二臂部24的轉(zhuǎn)動(dòng)角度相等且第一臂部23相對(duì)于主體部15的轉(zhuǎn)動(dòng)方向與手13相對(duì)于第二臂部24的轉(zhuǎn)動(dòng)方向成為相反方向的方式轉(zhuǎn)動(dòng)。因此，在本方式中，如上所述能夠?qū)岢鲆约鞍崛牖?時(shí)的手13的朝向保持為恒定。即，在本方式中，能夠通過(guò)比較簡(jiǎn)單的控制將搬出以及搬入基板2時(shí)的手13的朝向保持為恒定。
[0176]在第一發(fā)明的本方式中，在從主體部15向水平方向的一側(cè)延伸的第一臂部23安裝有從主體部15向與第一臂部23延伸的方向相反的一側(cè)延伸的平衡器28。因此，在本方式中，能夠降低作用于配置在固定第一臂部23的中空旋轉(zhuǎn)軸32的外周面與保持部件34的內(nèi)周面之間的軸承的負(fù)載。
[0177](第二發(fā)明的本方式的主要效果)
[0178]如以上說(shuō)明，在本方式中，在假定當(dāng)前位置設(shè)定工序中，對(duì)在當(dāng)前位置的坐標(biāo)為未知的狀態(tài)下緊急停止的機(jī)器人I的轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2的假定當(dāng)前位置的坐標(biāo)進(jìn)行設(shè)定，且機(jī)器人I能夠掌握轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2的假定當(dāng)前位置的坐標(biāo)。因此，在本方式中，在動(dòng)作工序中能夠根據(jù)所設(shè)定的轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2的假定當(dāng)前位置的坐標(biāo)一面使第一臂部23、第二臂部24以及手13連動(dòng)，一面使機(jī)器人I進(jìn)行適當(dāng)?shù)膭?dòng)作。即，在動(dòng)作工序中，能夠使機(jī)器人I進(jìn)行直線內(nèi)插動(dòng)作，以使手13在相對(duì)于腔室5-10搬入以及搬出基板2時(shí)的手13的移動(dòng)方向上移動(dòng)，從而能夠防止在動(dòng)作工序中手13以及基板2與腔室5-10互相干涉。并且，在本方式中，由于在動(dòng)作工序中使機(jī)器人I動(dòng)作至在機(jī)器人I的返回動(dòng)作時(shí)手13或基板2與腔室5-10不干涉的位置，因此在返回動(dòng)作工序中，能夠使機(jī)器人I安全地返回至原點(diǎn)位置。
[0179]如此，在第二發(fā)明的本方式中，與利用操作員的手動(dòng)操作這種復(fù)雜的方法使在當(dāng)前位置的坐標(biāo)為未知的狀態(tài)下停止的機(jī)器人I返回至原點(diǎn)位置時(shí)相比，能夠簡(jiǎn)單且安全地使機(jī)器人I返回至原點(diǎn)位置。尤其在本方式中，由于馬達(dá)31使第一臂部23轉(zhuǎn)動(dòng)，馬達(dá)46使第二臂部24轉(zhuǎn)動(dòng)，馬達(dá)47使手13轉(zhuǎn)動(dòng)，因此在利用操作員的手動(dòng)操作使在當(dāng)前位置的坐標(biāo)為未知的狀態(tài)下停止的機(jī)器人I返回至原點(diǎn)位置時(shí)，其操作變得非常復(fù)雜，但在本方式中，能夠容易地使機(jī)器人I返回至原點(diǎn)位置。另外，即使不設(shè)定轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2的假定當(dāng)前位置的坐標(biāo)，也能夠使用指示操作終端19 一面使第一臂部23、第二臂部24以及手13分別轉(zhuǎn)動(dòng)少許，一面使機(jī)器人I返回至原點(diǎn)位置，但此時(shí)的操作也變得復(fù)雜。
[0180]在第二發(fā)明的本方式中，在假定當(dāng)前位置設(shè)定工序中，將操作員以目測(cè)確認(rèn)而決定的轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2的假定當(dāng)前位置的坐標(biāo)輸入至指示操作終端19，從而設(shè)定轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2的假定當(dāng)前位置的坐標(biāo)。因此，在本方式中，能夠容易地設(shè)定轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2的假定當(dāng)前位置的坐標(biāo)。
[0181]在第二發(fā)明的本方式中，在假定當(dāng)前位置設(shè)定工序中，無(wú)論利用圓柱坐標(biāo)系的坐標(biāo)和直角坐標(biāo)系的坐標(biāo)中的哪個(gè)坐標(biāo)都能夠設(shè)定轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2的假定當(dāng)前位置的坐標(biāo)，通過(guò)任一坐標(biāo)設(shè)定轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2的假定當(dāng)前位置的坐標(biāo)。因此，在本方式中，能夠利用在動(dòng)作工序中易于使機(jī)器人I動(dòng)作的坐標(biāo)系的坐標(biāo)設(shè)定轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2的假定當(dāng)前位置的坐標(biāo)。SP，如上所述，在機(jī)器人I在相對(duì)于以通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)中心Cl的與左右方向平行的假想線通過(guò)其前后方向的中心位置的方式配置的腔室5、6搬出或搬入基板2時(shí)緊急停止的情況下，能夠利用圓柱坐標(biāo)系的坐標(biāo)設(shè)定轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2的假定當(dāng)前位置的坐標(biāo)，在機(jī)器人I在相對(duì)于左右方向上偏離轉(zhuǎn)動(dòng)中心Cl的腔室7-10搬出或搬入基板2時(shí)緊急停止的情況下，能夠利用直角坐標(biāo)系的坐標(biāo)設(shè)定轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2的假定當(dāng)前位置的坐標(biāo)。
[0182]在第二發(fā)明的本方式中，在動(dòng)作工序中，通過(guò)使用指示操作終端19的操作按鈕76的點(diǎn)動(dòng)操作使機(jī)器人I動(dòng)作。因此，在本方式中，即使在如假定當(dāng)前位置設(shè)定工序中設(shè)定的轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2的假定當(dāng)前位置的坐標(biāo)與停止的機(jī)器人I的轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2的實(shí)際當(dāng)前位置的坐標(biāo)的偏差量較大、且在動(dòng)作工序中以這種狀態(tài)繼續(xù)進(jìn)行機(jī)器人I的動(dòng)作時(shí)手13或基板2與腔室5-10互相干涉的情況下，也能夠通過(guò)一面進(jìn)行點(diǎn)動(dòng)操作，一面重新設(shè)定假定當(dāng)前位置的坐標(biāo)，防止在動(dòng)作工序中手13或基板2與腔室5-10發(fā)生干涉。
[0183](第三發(fā)明的本方式的主要效果)
[0184]如以上說(shuō)明，在本方式中，在機(jī)器人I緊急停止時(shí)，切斷電源81。因此，在本方式中，在機(jī)器人I緊急停止時(shí)，能夠使馬達(dá)31、40、46、47在比較短的時(shí)間內(nèi)停止，其結(jié)果是能夠在比較短的時(shí)間內(nèi)確保安全。
[0185]在第三發(fā)明的本方式中，在機(jī)器人I緊急停止時(shí)，中央處理器79使用從充放電部80供給的電力一面控制馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器71-73，一面使馬達(dá)31、46、47停止。S卩，在本方式中，在機(jī)器人I緊急停止時(shí)，使用從充放電部80供給的電力一面控制馬達(dá)31、46、47，一面使馬達(dá)31、46、47停止。因此，在本方式中，即使在分別設(shè)置有使第一臂部23轉(zhuǎn)動(dòng)的馬達(dá)46、使第二臂部24轉(zhuǎn)動(dòng)的馬達(dá)47以及使手13轉(zhuǎn)動(dòng)的馬達(dá)31時(shí)，中央處理器79也能夠如上所述那樣一面以保持緊急停止時(shí)的手13的朝向且手13向緊急停止時(shí)的手13的移動(dòng)方向直線地移動(dòng)的方式控制馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器71-73，一面使馬達(dá)31、46、47停止。因此，在本方式中，在緊急停止時(shí)，能夠防止手13與腔室5-10接觸以及臂14與腔室5-10接觸，其結(jié)果是能夠防止意外事故發(fā)生。
[0186]在第三發(fā)明的本方式中，在機(jī)器人I緊急停止時(shí)，中央處理器79在使制動(dòng)器41工作后，使制動(dòng)力比制動(dòng)器41的制動(dòng)力大的制動(dòng)器42工作，從而使馬達(dá)40停止。因此，在本方式中，能夠通過(guò)制動(dòng)器41、42使馬達(dá)40在比較短的時(shí)間內(nèi)停止。因此，在本方式中，即使在使無(wú)法控制馬達(dá)40的機(jī)器人I緊急停止時(shí)，也能夠防止主體部15落下。
[0187]在此，為了使馬達(dá)40在更短的時(shí)間內(nèi)停止，優(yōu)選在緊急停止時(shí)，使制動(dòng)力較大的制動(dòng)器42立即工作。另一方面，在本方式中，為了防止馬達(dá)40在緊急停止時(shí)使制動(dòng)器41、42工作的情況下過(guò)急地停止，中央處理器79以馬達(dá)40進(jìn)一步向緊急停止時(shí)的馬達(dá)40的旋轉(zhuǎn)方向旋轉(zhuǎn)的方式控制馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器74，并從充放電部80對(duì)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器74供電。在緊急停止時(shí)，若使制動(dòng)力較大的制動(dòng)器42立即工作，則馬達(dá)40易于過(guò)急地停止，因此為了使馬達(dá)40向緊急停止時(shí)的馬達(dá)40的旋轉(zhuǎn)方向旋轉(zhuǎn)，有可能導(dǎo)致從充放電部80供給至馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器74的電力變大，充電至充放電部80的電力因馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器74而在短時(shí)間內(nèi)被消耗。并且，在緊急停止時(shí)，若充電至充放電部80的電力因馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器74而在短時(shí)間內(nèi)被消耗，則中央處理器79無(wú)法使用從充放電部80供給的電力控制馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器71-73，第一臂部23、第二臂部24以及手13就會(huì)分別自由轉(zhuǎn)動(dòng)，從而有可能引起意外事故。
[0188]與此相對(duì)，在第三發(fā)明的本方式中，在機(jī)器人I緊急停止時(shí)，由于中央處理器79在使制動(dòng)器41工作而降低馬達(dá)40的轉(zhuǎn)速后，使制動(dòng)力大于制動(dòng)器41的制動(dòng)力的制動(dòng)器42工作，從而使馬達(dá)40停止，因此馬達(dá)40不易突然停止，其結(jié)果是能夠降低緊急停止時(shí)因馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器74而消耗的充放電部80的電力。因此，在本方式中，即使中央處理器79以防止馬達(dá)40在機(jī)器人I緊急停止時(shí)過(guò)急地停止的方式控制馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器74的情況下，中央處理器79也能夠在緊急停止時(shí)使用從充放電部80供給的電力控制馬達(dá)31、46、47，一面保持緊急停止時(shí)的手13的朝向且使手13向緊急停止時(shí)的手13的移動(dòng)方向直線地移動(dòng)，一面使馬達(dá)31、46、47停止。
[0189](第四發(fā)明的本方式的主要效果)
[0190]如以上說(shuō)明，在本方式中，在從上下方向觀察時(shí)手13的轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2在通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)中心Cl的假想線上直線地移動(dòng)時(shí)，利用圓柱坐標(biāo)系控制機(jī)器人1，在從上下方向觀察時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2在不沿著通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)中心Cl的假想線的位置直線地移動(dòng)時(shí)，利用直角坐標(biāo)系控制機(jī)器人I。因此，在本方式中，如上所述，能夠使用圓柱坐標(biāo)系的坐標(biāo)對(duì)利用圓柱坐標(biāo)系控制時(shí)的轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2的移動(dòng)位置進(jìn)行指示，且使用直角坐標(biāo)系的坐標(biāo)對(duì)利用直角坐標(biāo)系控制時(shí)的轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2的移動(dòng)位置進(jìn)行指示。即，在本方式中，在從上下方向觀察時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2在不沿著通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)中心Cl的假想線的位置直線地移動(dòng)時(shí)，不使用圓柱坐標(biāo)系的坐標(biāo)，而能夠使用直角坐標(biāo)系的坐標(biāo)指示轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2的移動(dòng)位置。因此，在本方式中，即使在從上下方向觀察時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2在不沿著通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)中心Cl的假想線的位置直線地移動(dòng)時(shí)，也能夠容易地指示轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2的移動(dòng)位置。
[0191]尤其在第四發(fā)明的本方式中，在以構(gòu)成直角坐標(biāo)系的一個(gè)坐標(biāo)軸與左右方向平行、另一坐標(biāo)軸與前后方向平行的方式定義直角坐標(biāo)系、且從上下方向觀察時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2在不沿著通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)中心Cl的假想線的位置直線地移動(dòng)時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2在通過(guò)腔室7-10的左右方向的中心的與前后方向平行的假想線上直線地移動(dòng)。因此，在本方式中，能夠使用直角坐標(biāo)系的坐標(biāo)更容易地進(jìn)行在從上下方向觀察時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2在不沿著通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)中心Cl的假想線的位置直線地移動(dòng)時(shí)的轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2的移動(dòng)位置的指示。
[0192]并且，在第四發(fā)明的本方式中，由于在從上下方向觀察時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2在通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)中心Cl的假想線上直線地移動(dòng)時(shí)，利用圓柱坐標(biāo)系控制機(jī)器人1，在從上下方向觀察時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2在不沿著通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)中心Cl的假想線的位置直線地移動(dòng)時(shí)，利用直角坐標(biāo)系控制機(jī)器人1，因此容易控制機(jī)器人I。
[0193](工業(yè)用機(jī)器人的變形例I)
[0194]圖10是用于從側(cè)面說(shuō)明第一發(fā)明的另一實(shí)施方式所涉及的工業(yè)用機(jī)器人I的概略結(jié)構(gòu)的圖。
[0195]在上述第一發(fā)明的方式中，在第一臂部23的內(nèi)部空間45中配置有馬達(dá)46、47以及減速機(jī)48、49。具體地說(shuō)，在第一臂部23的前端側(cè)的內(nèi)部空間45中配置有馬達(dá)46、47以及減速機(jī)48、49，減速機(jī)48、49構(gòu)成關(guān)節(jié)部26的一部分。除此之外，例如也可在內(nèi)部的壓力成為大氣壓的第二臂部24的內(nèi)部空間配置有馬達(dá)46、47以及減速機(jī)48、49。例如，也可在第二臂部24的基端側(cè)的內(nèi)部空間配置有馬達(dá)46、47以及減速機(jī)48、49。此時(shí)，減速機(jī)48、49以其軸中心與第二臂部24相對(duì)于第一臂部23的轉(zhuǎn)動(dòng)中心一致的方式同軸地重疊配置，且構(gòu)成關(guān)節(jié)部26的一部分。另外，此時(shí)，第一臂部23的內(nèi)部空間45也可成為真空。
[0196]并且，如圖10所示，也可在第二臂部24的前端側(cè)的內(nèi)部空間配置有馬達(dá)46、47以及減速機(jī)48、49。此時(shí)，減速機(jī)48與減速機(jī)49以其軸中心與手13相對(duì)于第二臂部24的轉(zhuǎn)動(dòng)中心一致的方式同軸地重疊配置，且構(gòu)成關(guān)節(jié)部27的一部分。由于此時(shí)也能夠在減速機(jī)48,49的軸向即上下方向上增大第二臂部24的內(nèi)部空間，因此能夠增大內(nèi)部的壓力成為大氣壓的第二臂部24的內(nèi)部空間的容積，從而增加第二臂部24的內(nèi)部空間內(nèi)的空氣的量。因此，能夠有效地冷卻配置于第二臂部24的內(nèi)部空間的馬達(dá)46、47。并且，此時(shí)，由于在手13相對(duì)于第二臂部24的轉(zhuǎn)動(dòng)中心上配置有兩臺(tái)減速機(jī)48、49，因此能夠提高關(guān)節(jié)部27的剛性。
[0197](工業(yè)用機(jī)器人的變形例2)
[0198]圖11是第一發(fā)明的另一實(shí)施方式所涉及的工業(yè)用機(jī)器人I的俯視圖。
[0199]在上述第一發(fā)明的方式中，臂14由一個(gè)第一臂部23和一個(gè)第二臂部24構(gòu)成。除此之外，例如如圖11所示，臂14也可由一個(gè)第一臂部23和兩個(gè)第二臂部24構(gòu)成。此時(shí)，第一臂部23形成為大致V狀或直線狀，其中心部成為與主體部15連接成能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的基端部。并且，如圖11所示，在第一臂部23的兩個(gè)前端側(cè)分別將第二臂部24連接成能夠轉(zhuǎn)動(dòng)，在第一臂部23的兩個(gè)前端側(cè)分別形成有關(guān)節(jié)部26。
[0200]此時(shí)也與上述的方式相同，由減速機(jī)48、49構(gòu)成關(guān)節(jié)部26的一部分，分別在第一臂部23的兩個(gè)前端側(cè)，在第一臂部23的內(nèi)部空間45配置有馬達(dá)46、47以及減速機(jī)48、49。并且，內(nèi)部空間45成為大氣壓。另外，此時(shí)，在手13的基部20只安裝有向水平方向的一側(cè)突出的兩根叉部21。并且，在圖11中，對(duì)與上述方式的結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)或與上述方式的結(jié)構(gòu)相對(duì)應(yīng)的結(jié)構(gòu)，標(biāo)注相同符號(hào)。
[0201](工業(yè)用機(jī)器人的變形例3)
[0202]圖12是第一發(fā)明的另一實(shí)施方式所涉及的工業(yè)用機(jī)器人I的俯視圖。
[0203]在上述第一發(fā)明的方式中，機(jī)器人I包括一根臂14。除此之外，例如如圖12所示，機(jī)器人I也可包括基端側(cè)與主體部15連接成能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的兩根臂14。此時(shí)也與上述方式相同，由減速機(jī)48、49構(gòu)成關(guān)節(jié)部26的一部分，在第一臂部23的前端側(cè)，在第一臂部23的內(nèi)部空間45配置有馬達(dá)46、47以及減速機(jī)48、49。并且，內(nèi)部空間45成為大氣壓。另外，此時(shí)，在手13的基部20只安裝有向水平方向的一側(cè)突出的兩根叉部21。并且，在圖12中，對(duì)與上述方式的結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)或與上述方式的結(jié)構(gòu)相對(duì)應(yīng)的結(jié)構(gòu)，標(biāo)注相同符號(hào)。
[0204](工業(yè)用機(jī)器人的變形例4)
[0205]圖13是用于從側(cè)面說(shuō)明第一發(fā)明的另一實(shí)施方式所涉及的工業(yè)用機(jī)器人I的概略結(jié)構(gòu)的圖。
[0206]在上述第一發(fā)明的方式中，臂14由第一臂部23和第二臂部24這兩個(gè)臂部構(gòu)成。除此之外，例如如圖13所示，臂14也可由第一臂部23、第二臂部24以及第三臂部75這三個(gè)臂部構(gòu)成。此時(shí)，與上述方式相同，第一臂部23的基端側(cè)與主體部15連接成能夠轉(zhuǎn)動(dòng)，第二臂部24的基端側(cè)與第一臂部23的前端側(cè)連接成能夠轉(zhuǎn)動(dòng)。并且，第三臂部75的基端側(cè)與第二臂部24的前端側(cè)連接成能夠轉(zhuǎn)動(dòng)，手13與第三臂部75的前端側(cè)連