吸盤式機(jī)械手的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種吸盤式機(jī)械手，尤其是涉及一種取放易碎工件的吸盤式機(jī)械手。
【背景技術(shù)】
[0002]吸盤式機(jī)械手是機(jī)械加工和半導(dǎo)體晶圓片加工中常用的機(jī)械手之一，現(xiàn)有技術(shù)下的吸盤式機(jī)械手往往由于定位精度不夠而造成工件損壞，尤其是在進(jìn)行易碎材料的加工過程時，往往由于定位精度不夠，導(dǎo)致吸盤已經(jīng)與工件接觸時，驅(qū)動機(jī)構(gòu)仍然在驅(qū)動吸盤運動，造成對工件的壓力過大或沖擊過大，從而造成工件的損壞?，F(xiàn)有技術(shù)下為了避免工件的損壞，往往采用更高精度的傳感器對機(jī)械手進(jìn)行定位，但是，更高精度的傳感器也就意味著更高的價格，導(dǎo)致設(shè)備成本的提高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對上述問題，本發(fā)明提供一種吸盤式機(jī)械手，避免在工作過程中造成工件的破壞。
[0004]為達(dá)到上述目的，本發(fā)明包括拾取裝置和拾取臂；所述拾取裝置包括真空吸盤、與所述真空吸盤連通的真空管和下端與所述真空吸盤上表面連接的滑動軸，其中，所述真空吸盤下表面設(shè)置有柔性襯墊，所述滑動軸的上端設(shè)置有上限位塊，所述滑動軸的下端設(shè)置有下限位塊；所述拾取臂一端設(shè)置有套筒，所述滑動軸設(shè)置在所述套筒內(nèi)，所述上限位塊與所述下限位塊之間的距離大于所述套筒的長度，所述套筒設(shè)置在所述上限為塊與所述下限位塊之間；當(dāng)所述滑動軸與所述套筒受力方向相反時，所述滑動軸在所述套筒內(nèi)滑動。
[0005]進(jìn)一步地，還包括與所述拾取臂另一端連接的滑塊、與所述滑塊形成滑動副的滑軌、與所述滑塊配合形成滾珠絲杠副的絲杠、驅(qū)動所述絲杠轉(zhuǎn)動的驅(qū)動裝置以及與所述絲杠和所述滑軌底端連接的旋轉(zhuǎn)臺，其中，所述絲杠和滑軌均豎直設(shè)置。
[0006]進(jìn)一步地，所述拾取臂包括機(jī)械段和套筒段；所述機(jī)械段和套筒段鉸接，鉸接軸水平設(shè)置，所述鉸接軸的上側(cè)和下側(cè)設(shè)置有彈簧，所述彈簧兩端分別與機(jī)械段和套筒段連接。
[0007]進(jìn)一步地，所述滑動軸中心設(shè)置有通孔，所述真空管穿過所述通孔與所述吸盤連通。
[0008]進(jìn)一步地，所述套筒與所述滑動軸之間設(shè)置有滾珠軸承。
[0009]進(jìn)一步地，所述下限位塊設(shè)置有感應(yīng)套筒距離的位移傳感器。
[0010]本發(fā)明吸盤式機(jī)械手的拾取裝置與拾取臂之間能夠發(fā)生相對運動，在取放工件時能夠通過兩者之間的相對運動，避免了工件由于承受過大的壓力或沖擊力而破損；本發(fā)明吸盤式機(jī)械手由于拾取臂與拾取裝置之間能夠發(fā)生相對運動，因此，不需要高精度的定位裝置，能夠降低設(shè)備的成本。
【附圖說明】
[0011]圖1是本發(fā)明吸盤式機(jī)械手的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖2是本發(fā)明吸盤式機(jī)械手與升降裝置和旋轉(zhuǎn)臺連接的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖3為本發(fā)明吸盤式機(jī)械手完成操作后工件的傳遞過程。
【具體實施方式】
[0014]下面結(jié)合說明書附圖對本發(fā)明做進(jìn)一步的描述。
[0015]實施例1
[0016]如圖1所示，本實施例的吸盤式機(jī)械手包括拾取裝置和拾取臂13 ;所述拾取裝置包括真空吸盤3、與所述真空吸盤3連通的真空管4和下端與所述真空吸盤3上表面連接的滑動軸1，其中，所述真空吸盤3下表面設(shè)置有柔性襯墊，所述滑動軸1的上端設(shè)置有上限位塊10，所述滑動軸1的下端設(shè)置有下限位塊9 ;所述拾取臂13 —端設(shè)置有套筒2，所述滑動軸1設(shè)置在所述套筒2內(nèi)，所述上限位塊10與所述下限位塊9之間的距離大于所述套筒2的長度，所述套筒2設(shè)置在所述上限為塊與所述下限位塊9之間；當(dāng)所述滑動軸1與所述套筒2受力方向相反時，所述滑動軸1在所述套筒2內(nèi)滑動。
[0017]本實施例的吸盤式機(jī)械手在取工件時，吸盤下降，觸及工件后，拾取臂13仍可有一定程度的繼續(xù)下降，但通過吸盤式機(jī)械手結(jié)構(gòu)中拾取裝置與拾取臂13之間的上下相對運動，拾取裝置不會繼續(xù)下降。此時打開吸盤真空吸住工件，吸盤式機(jī)械手上升并將工件送往目的地。放工件時，吸盤下降，工件觸及工件臺后，拾取臂13仍可有一定程度的繼續(xù)下降，但通過機(jī)械手結(jié)構(gòu)中拾取裝置與拾取臂13之間的上下相對運動，工件不會受到繼續(xù)向下的力。此時關(guān)閉吸盤真空并放氣，拾取臂13上升，使吸盤離開工件。由于拾取裝置與拾取臂13之間有上下相對運動，使得拾取臂13在取放工件時不需要很精確的定位，省去了高精度的傳感器，大大降低了成本；而拾取裝置與拾取臂13之間的上下相對運動釋放了拾取臂13繼續(xù)下降時作用在工件上的力量，起到緩沖作用，降低了易碎工件的破碎幾率。
[0018]實施例2
[0019]在實施例1的基礎(chǔ)上，所述拾取臂13包括機(jī)械段8和套筒段5 ;所述機(jī)械段8和套筒段5鉸接，鉸接軸6水平設(shè)置，所述鉸接軸6的上側(cè)和下側(cè)設(shè)置有彈簧7，所述彈簧7兩端分別與機(jī)械段8和套筒段5連接。所述套筒段5與機(jī)械段8通過轉(zhuǎn)軸及彈簧7連接，使套筒段5和機(jī)械段8能夠產(chǎn)生一定的角度，由于拾取裝置與套筒段5的角度同步變化，所以這中設(shè)置能夠使拾取裝置的角度發(fā)生變化，以適應(yīng)工件及工件臺平面的實際位置。由于使用彈簧7對兩端進(jìn)行拉緊，在拾取裝置受力時能夠使吸盤的角度自動的發(fā)生變化，從而適應(yīng)各種角度的工件拾取。
[0020]實施例3
[0021]如圖2-3所示，本實施例的吸盤式機(jī)械手除了包括上述實施例的結(jié)構(gòu)之外，還包括與所述拾取臂13另一端連接的滑塊15、與所述滑塊15形成滑動副的滑軌18、與所述滑塊15配合形成滾珠絲杠副的絲杠14、驅(qū)動所述絲杠14轉(zhuǎn)動的驅(qū)動裝置16以及與所述絲杠14和所述滑軌18底端連接的旋轉(zhuǎn)臺17，其中，所述絲杠14和滑軌18均豎直設(shè)置。所述下限位塊設(shè)置有感應(yīng)套筒距離的位移傳感器。
[0022]以半導(dǎo)體晶圓片12加工的激光退火工藝中本實施例吸盤式機(jī)械手的工作流程對本實施例的具體實施步驟進(jìn)行說明:
[0023]進(jìn)/出片臺19位于下面的進(jìn)/出片位置，裝有待加工半導(dǎo)體晶圓片12的進(jìn)片盒20下降，當(dāng)最下面的半導(dǎo)體晶圓片12觸及