1.碳纖維制造裝置，其特征在于，包括：
筒狀爐體，其由一端封閉的圓柱形波導(dǎo)管形成，其中，在上述圓柱形波導(dǎo)管的上述一端形成有纖維導(dǎo)出口，并且，在上述圓柱形波導(dǎo)管的另一端形成有纖維導(dǎo)入口，
微波振蕩器，其向上述筒狀爐體內(nèi)導(dǎo)入微波，和
連接波導(dǎo)管，其一端連接上述微波振蕩器側(cè)，另一端連接上述筒狀爐體的一端。
2.權(quán)利要求1所述的碳纖維制造裝置，其中，上述圓筒狀爐體內(nèi)的電磁場分布為TM模。
3.權(quán)利要求2所述的碳纖維制造裝置，其中，連接于上述圓柱形波導(dǎo)管的上述連接波導(dǎo)管內(nèi)的電磁場分布為TE模，且具有與纖維移動方向平行的電場成分。
4.碳纖維制造方法，其特征在于，通過具有與纖維移動方向平行的電場成分的微波加熱來進行碳化。
5.碳纖維制造方法，其使用權(quán)利要求1所述的碳纖維制造裝置，其特征在于，包括：
纖維供給工序，從上述纖維導(dǎo)入口將碳含量為66～72質(zhì)量％的中間碳化纖維連續(xù)供給到上述圓筒狀爐體內(nèi)，
微波照射工序，在非活性氣氛下向在上述圓筒狀爐體內(nèi)移動的上述中間碳化纖維照射微波而得到碳纖維，和
碳纖維取出工序，從上述纖維導(dǎo)出口連續(xù)取出上述碳纖維。
6.碳纖維制造裝置，其特征在于，包括：
至少一端封閉的筒狀爐體，
向上述筒狀爐體內(nèi)導(dǎo)入微波的微波振蕩器，和
配設(shè)在與上述筒狀爐體的軸心平行的軸心上、且纖維從其一端導(dǎo)入且從另一端導(dǎo)出的微波透過性的絕熱套。
7.權(quán)利要求6所述的碳纖維制造裝置，其中，上述絕熱套的微波透過率在常溫下為90％以上。
8.權(quán)利要求6所述的碳纖維制造裝置，其中，上述筒狀爐體和上述微波振蕩器經(jīng)由連接波導(dǎo)管連接，所述連接波導(dǎo)管的一端連接于上述微波振蕩器側(cè)，另一端連接于上述筒狀爐體。
9.權(quán)利要求6所述的碳纖維制造裝置，其中，上述筒狀爐體為圓柱形波導(dǎo)管。
10.權(quán)利要求6所述的碳纖維制造裝置，其中，在上述絕熱套的上述另一端側(cè)進一步配設(shè)加熱器。
11.碳纖維制造方法，使用權(quán)利要求6所述的碳纖維制造裝置，其特征在于，包括：
纖維供給工序，向上述絕熱套內(nèi)連續(xù)供給碳含量為66～72質(zhì)量％的中間碳化纖維，
微波照射工序，在非活性氣氛下向在上述絕熱套內(nèi)移動的上述中間碳化纖維照射微波而得到碳纖維，和
碳纖維取出工序，從上述絕熱套內(nèi)連續(xù)取出上述碳纖維。
12.碳纖維制造裝置，其特征在于，包括：
(1)第1碳化裝置，其包括：
方管狀爐體，其由一端封閉的方形波導(dǎo)管形成，其中，在上述方形波導(dǎo)管的上述一端形成纖維導(dǎo)出口，并且在上述方形波導(dǎo)管的另一端形成纖維導(dǎo)入口，
微波振蕩器，向上述方管狀爐體內(nèi)導(dǎo)入微波，和
連接波導(dǎo)管，其一端連接上述微波振蕩器側(cè)，另一端連接上述方管狀爐體的一端；以及
(2)由權(quán)利要求1所述的碳纖維制造裝置構(gòu)成的第2碳化裝置。
13.碳纖維制造裝置，其特征在于，包括：
(1)第1碳化裝置，其包括：
方管狀爐體，其由一端封閉的方形波導(dǎo)管形成，其中，在上述方形波導(dǎo)管的上述一端形成纖維導(dǎo)出口，并且在上述方形波導(dǎo)管的另一端形成纖維導(dǎo)入口，
微波振蕩器，向上述方管狀爐體內(nèi)導(dǎo)入微波，和
連接波導(dǎo)管，其一端連接上述微波振蕩器側(cè)，另一端連接上述方管狀爐體的一端；以及
(2)由權(quán)利要求6所述的碳纖維制造裝置構(gòu)成的第2碳化裝置。
14.上述權(quán)利要求12或13所述的碳纖維制造裝置，其中，上述方管狀爐體是配設(shè)有將上述方管狀爐體的內(nèi)部沿其軸心劃分為微波導(dǎo)入部和纖維移動部的隔板的方管狀爐體，并且，
上述隔板具有由規(guī)定間隔形成的狹縫。
15.權(quán)利要求12或13所述的碳纖維制造裝置，其中，第1碳化裝置的爐體內(nèi)的電磁場分布為TE模，第2碳化裝置的爐體內(nèi)的電磁場分布為TM模。
16.權(quán)利要求12或13所述的碳纖維制造裝置，其中，上述連接波導(dǎo)管內(nèi)的電磁場分布為TE模，與纖維移動方向平行地具有電場成分。
17.碳纖維制造方法，其使用權(quán)利要求12所述的碳纖維制造裝置，其特征在于，包括：
(1)纖維供給工序，從第1碳化爐的上述纖維導(dǎo)入口向上述方管狀爐體內(nèi)連續(xù)供給耐火化纖維，
微波照射工序，在非活性氣氛下向在上述方管狀爐體內(nèi)移動的上述耐火化纖維照射微波而得到碳含量為66～72質(zhì)量％的中間碳化纖維，和
中間碳化纖維取出工序，從第1碳化爐的上述纖維導(dǎo)出口連續(xù)取出上述中間碳化纖維；以及
(2)纖維供給工序，從第2碳化爐的上述纖維導(dǎo)入口向上述圓筒狀爐體內(nèi)連續(xù)供給上述中間碳化纖維，
微波照射工序，在非活性氣氛下向在上述圓筒狀爐體內(nèi)移動的上述中間碳化纖維照射微波而得到碳纖維，和
碳纖維取出工序，從第2碳化爐的上述纖維導(dǎo)出口連續(xù)取出上述碳纖維。
18.碳纖維制造方法，其是使用權(quán)利要求13所述的碳纖維制造裝置的碳纖維制造方法，其特征在于，包括：
(1)纖維供給工序，從第1碳化爐的上述纖維導(dǎo)入口向上述方管狀爐體內(nèi)連續(xù)供給耐火化纖維，
微波照射工序，在非活性氣氛下向在上述方管狀爐體內(nèi)移動的上述耐火化纖維照射微波而得到碳含量為66～72質(zhì)量％的中間碳化纖維，和
中間碳化纖維取出工序，從第1碳化爐的上述纖維導(dǎo)出口連續(xù)取出上述中間碳化纖維；以及
(2)纖維供給工序，向上述絕熱套內(nèi)連續(xù)供給上述中間碳化纖維，微波照射工序，在非活性氣氛下向在上述絕熱套內(nèi)移動的上述中間碳化纖維照射微波，得到碳纖維，和
碳纖維取出工序，從上述絕熱套內(nèi)連續(xù)取出上述碳纖維。