一個(gè)中的噴嘴24的位置和在兩個(gè)右側(cè)噴嘴行的另一個(gè)中的噴嘴24的位置在傳送方向上被分別偏移或移位了每個(gè)噴嘴行中噴嘴的布置節(jié)距P的一半(P/2) ο左側(cè)的兩個(gè)噴嘴行是噴射黃墨水的噴嘴行。對(duì)于用于黃墨水的兩個(gè)左側(cè)噴嘴行，與兩個(gè)右側(cè)噴嘴行相似，在兩個(gè)左側(cè)噴嘴行中的一個(gè)中的噴嘴24的位置和在兩個(gè)左側(cè)噴嘴行的另一個(gè)中的噴嘴24的位置在傳送方向上被分別偏移了 P/2。
[0041 ]〈通道形成基板〉
[0042]第一通道基板21和第二通道基板22中的每一個(gè)都是由硅單晶形成的基板。在第一通道基板21中，形成有與多個(gè)噴嘴24分別連通的多個(gè)壓力室26。壓力室26每個(gè)在平面視圖中具有在掃描方向上為長(zhǎng)的矩形。根據(jù)噴嘴24的排列將壓力室26在傳送方向上排列，以形成在掃描方向并排布置的四個(gè)壓力室行27(27&、2713、27(3、27(1)。右側(cè)的兩個(gè)壓力室行27&、27b是用于黑墨水的壓力室行27，并且左側(cè)的兩個(gè)壓力室行27c、27d是用于黃墨水的壓力室行27。另外，在第一通道基板21的上表面中形成有覆蓋多個(gè)壓力室26的振動(dòng)層30。振動(dòng)層30是由氧化或硝化硅基板的表面形成的層。
[0043]第二通道基板22被接合到第一通道基板21的下表面。另外，上述噴嘴板20被接合到第二通道基板22的下表面。兩個(gè)歧管25被分別形成在第二通道基板22的以下部分中:在該部分處兩個(gè)歧管25中的一個(gè)在上下方向上與右側(cè)的兩個(gè)壓力室行27a和27b重疊，并且兩個(gè)歧管25中的另一個(gè)在上下方向上與左側(cè)的兩個(gè)壓力室行27c和27d重疊。每個(gè)歧管25都在作為壓力室26的布置方向的傳送方向上延伸。每個(gè)歧管25和與之對(duì)應(yīng)的屬于兩個(gè)壓力室行27的壓力室26與連通孔48連通。另外，兩個(gè)歧管25經(jīng)由未示出的管等被分別連接到存儲(chǔ)黑墨水和黃墨水并且附接到盒保持器7的兩個(gè)墨盒17(參見(jiàn)圖1)。
[0044]從墨盒17供應(yīng)的墨水被供應(yīng)到歧管25，并且每種墨水被進(jìn)一步從歧管25中的一個(gè)供應(yīng)到與之對(duì)應(yīng)的壓力室26。另外，第二通道基板22也形成有連通孔49，經(jīng)由連通孔49，形成在第一通道基板21中的壓力室26與形成在噴嘴板20中的噴嘴26分別連通。當(dāng)通過(guò)壓電致動(dòng)器23將用于墨水排放的排放能量施加到壓力室26內(nèi)側(cè)的墨水(下面將詳細(xì)描述)時(shí)，從與壓力室26分別連通的噴嘴24噴射墨水的小滴。
[0045]〈壓電致動(dòng)器〉
[0046]壓電致動(dòng)器23將排放能量施加到壓力室26中的墨水，用于使得墨水從相應(yīng)的噴嘴24排放。壓電致動(dòng)器23設(shè)置有布置在第一通道基板21的振動(dòng)膜30的上表面上的多個(gè)壓電元件39。多個(gè)壓電元件39在傳送方向上被分別布置成對(duì)應(yīng)于多個(gè)壓力室26，并且構(gòu)成在掃描方向上并排布置的四行壓電元件(四個(gè)壓電元件行)40(40a至40d)。每個(gè)壓電元件39具有壓電部37、下電極31和上電極33。注意，覆蓋壓電致動(dòng)器23的壓電元件39的保護(hù)構(gòu)件28被接合到第一通道基板21的上表面。
[0047]將詳細(xì)說(shuō)明壓電元件39的構(gòu)造。共用電極42被連續(xù)形成在振動(dòng)膜30的上表面上，以便跨過(guò)多個(gè)壓力室26。多個(gè)壓電元件39中的每一個(gè)的下電極31是公共電極42的面對(duì)壓力室26中的一個(gè)的部分。另外，多個(gè)壓電兀件39的下電極31經(jīng)由共用電極42的布置在多個(gè)壓力室26之間的部分(電極導(dǎo)電部41)彼此連通。盡管用于形成共用電極42(多個(gè)下電極31和電極導(dǎo)電部41)的材料不被特別限制，但共用電極42例如由鉑(Pt)形成。另外，共用電極42的厚度例如是Ο.Ιμ??。
[0048]壓電層32被形成在振動(dòng)膜30的上表面上以便覆蓋共用電極42。壓電層32是在平面視圖中具有矩形的膜并且在振動(dòng)膜30的上表面上被形成為橫跨四個(gè)壓力室行27。注意，壓電層32的面向每個(gè)壓力室26的部分構(gòu)成壓電元件39中的一個(gè)的壓電部37。即，壓電層32也可被認(rèn)為是由多個(gè)壓電元件39的彼此接合或連結(jié)的壓電部37形成的膜。壓電層32由例如主要成分為鈦酸鉛和鋯酸鉛的混晶的鋯鈦酸鉛(PZT)的壓電材料制成?？商娲?，壓電層32可由不含任何鉛的無(wú)鉛壓電材料制成。壓電層32的厚度例如是Ιμπι。
[0049]與壓力室26分別對(duì)應(yīng)的多個(gè)上電極33被分別形成在壓電層32的上表面上。上電極33是分別為相應(yīng)的壓力室26分開設(shè)置的單獨(dú)的電極。盡管上電極33的形狀不被特別限制，但作為示例，圖3描繪了上電極33每個(gè)具有在平面視圖中小于壓力室26中的一個(gè)的矩形。另夕卜，盡管用于形成上電極33的材料不被特別地限制，但上電極由例如銥(Ir)形成。而且，上電極33的厚度例如是Ο.?μπι。
[0050]注意，每個(gè)壓電元件39的壓電部37，即壓電層32的被上電極33和下電極31夾于中間的部分，在壓電層32的厚度方向中的向下的方向上，S卩在從上電極33向著下電極31的方向上被極化。
[0051]如圖2和圖4所示，在振動(dòng)膜30和壓電層32的上表面上，由絕緣材料形成的保護(hù)膜38被形成以覆蓋多個(gè)壓電元件39。主要為了提供壓電元件39的防潮而設(shè)置保護(hù)膜38。盡管用于形成保護(hù)膜38的材料不被特別限制，但保護(hù)膜38由例如氮化硅、二氧化硅、氧化鋁等形成。注意，保護(hù)膜38可被構(gòu)造成覆蓋每個(gè)壓電元件39的僅僅一部分。例如，可允許的是形成開口，經(jīng)由該開口在保護(hù)膜38中暴露上電極33，使得上電極33不被保護(hù)膜38覆蓋。
[0052]與多個(gè)壓電元件39分別對(duì)應(yīng)的多條驅(qū)動(dòng)布線35被形成在保護(hù)膜38的上表面中。相應(yīng)的驅(qū)動(dòng)布線35的一個(gè)端部被形成為分別騎在上電極33上。通孔38a被分別形成在保護(hù)膜38中的與驅(qū)動(dòng)布線35的一個(gè)端部重疊的部分處。驅(qū)動(dòng)布線35和上電極33通過(guò)導(dǎo)電部46導(dǎo)通，導(dǎo)電部46由導(dǎo)電材料形成、被分別布置在通孔38a內(nèi)側(cè)，并且被設(shè)置成穿透保護(hù)膜38。被連接到壓電元件39中的一個(gè)的上電極33的每條驅(qū)動(dòng)布線35在保護(hù)膜38的上表面上向右延伸。
[0053]在本實(shí)施例中，如圖2和3所示，每一條都被連接到壓電元件39中的一個(gè)的上電極33的所有多條驅(qū)動(dòng)布線35從與之對(duì)應(yīng)的上電極33被分別向右延伸。由此，包括在多條驅(qū)動(dòng)布線35并且從左側(cè)的三個(gè)壓電元件行40中的一個(gè)中的上電極33引出的每條驅(qū)動(dòng)布線35，在穿過(guò)屬于位于其右側(cè)的另一個(gè)壓電元件行40的兩個(gè)壓電元件39之間的空間的同時(shí)向右延伸。例如，如圖2所示，三條驅(qū)動(dòng)布線35b至35d被布置在兩個(gè)壓電元件39之間，這兩個(gè)壓電元件39在傳送方向上相鄰并且屬于四個(gè)壓電元件行40a至40d中的位于最右的壓電元件行40a，三條驅(qū)動(dòng)布線35b至35d分別對(duì)應(yīng)于位于壓電元件行40a的左側(cè)的三個(gè)壓電元件行40b至40d。注意，盡管用于形成驅(qū)動(dòng)布線35的材料不被特別地限制，但能夠使用具有低電阻率的金(Au)或鋁基金屬(例如，Al-Cu合金)。金的電阻率為2.2 X 10—8 Ωπι，鋁的電阻率為2.7 X10—8 Ωπι，并且銅的電阻率為1.7Χ 10—8Ωπι。另一方面，形成共用電極42的鉑的電阻率為1.0X 10—7Ωπι。然而，注意，鋁是比金容易引起迀移的材料。因此，在驅(qū)動(dòng)布線35由鋁形成的情況下，優(yōu)選的是驅(qū)動(dòng)布線35由絕緣層覆蓋用于防止迀移。另外，驅(qū)動(dòng)布線35的厚度是例如Ιμπι。
[0054]如圖2所示，接合有作為布線構(gòu)件的⑶F50的接觸區(qū)段43在第一通道基板21的振動(dòng)膜30的右端部處被設(shè)置在振動(dòng)膜30的上表面上。在傳送方向上并排布置的多個(gè)驅(qū)動(dòng)接觸部44和兩個(gè)接地部45被布置在接觸區(qū)段43中。其中每條都被連接到多個(gè)壓電元件39中的一個(gè)的上電極33的驅(qū)動(dòng)布線35，被分別連接到布置在接觸區(qū)段43中的驅(qū)動(dòng)接觸部44。另外，包括多個(gè)下電極31的共用電極42經(jīng)由線36連接到兩個(gè)接地部45。
[0055]如圖2至4所示，COF50被接合到接觸區(qū)段43，并且布置在接觸區(qū)段43中的多個(gè)驅(qū)動(dòng)接觸部44和形成在COF 50中的多條信號(hào)線(在附圖中省略了)被彼此電連接。另外，布置在接觸區(qū)段43中的兩個(gè)接地部45被連接到形成在COF 50中的地線(在附圖中省略了)。另夕卜，盡管在在附圖中省略了，COF 50還與打印機(jī)I的控制器6(參見(jiàn)圖1)連接。
[0056]如圖2所示，驅(qū)動(dòng)器IC 51被安裝在⑶F 50上?；趶目刂破?傳輸?shù)目刂菩盘?hào)，驅(qū)動(dòng)器IC 51產(chǎn)生用于驅(qū)動(dòng)相應(yīng)的壓電元件39的驅(qū)動(dòng)信號(hào)并且輸出驅(qū)動(dòng)信號(hào)。從驅(qū)動(dòng)器IC 51輸出的驅(qū)動(dòng)信號(hào)經(jīng)由COF 50的信號(hào)線輸入到驅(qū)動(dòng)接觸部44，并且經(jīng)由驅(qū)動(dòng)布線35被進(jìn)一步分別供應(yīng)到上電極33。當(dāng)驅(qū)動(dòng)信號(hào)被供應(yīng)到某一上電極33時(shí)，該某一上電極33的電勢(shì)在預(yù)定的驅(qū)動(dòng)電勢(shì)和地電勢(shì)變化。另外，由于接地部45到COF 50的地線的連接，連接到接地部45的下電極31總是被維持在地電勢(shì)。
[0057]將說(shuō)明當(dāng)從驅(qū)動(dòng)器IC51供應(yīng)驅(qū)動(dòng)信號(hào)時(shí)每個(gè)壓電元件39的操作。在未供應(yīng)驅(qū)動(dòng)信號(hào)的狀態(tài)下，壓電元件39的上電極33的電勢(shì)是地電勢(shì)并且等于下電極31的電勢(shì)。從這種狀態(tài)，當(dāng)驅(qū)動(dòng)信號(hào)被供應(yīng)到某一壓電元件39的上電極33并且驅(qū)動(dòng)電勢(shì)被施加到上電極33時(shí)，由于上電極33和下電極31之間的電勢(shì)差，與壓電部37的厚度方向平行的電場(chǎng)作用在壓電部37上。因此，由于壓電部37的極化方向與電場(chǎng)的方向相同，壓電部37在作為其極化方向的厚度方向上拉長(zhǎng)或擴(kuò)展，而在壓電部37的平面方向上收縮。根據(jù)壓電部37的收縮變形，振動(dòng)膜30對(duì)應(yīng)于壓電部37的部分彎曲，以便向著包括多個(gè)壓力室26中并且對(duì)應(yīng)于壓電部37的某一壓力室26膨脹或凸出。因此，某一壓力室26的體積被減小并且在某一壓力室26內(nèi)側(cè)產(chǎn)生壓力波動(dòng)，從而從包括在多個(gè)噴嘴24中并且與某一壓力室26連通的某一噴嘴24排放墨水的小滴。
[0058]在實(shí)施例中，多個(gè)壓力元件39構(gòu)成在掃描方向上并排布置的四個(gè)壓電元件行40a至40d。另外，包括壓電元件39的下電極31的共用電極42被連接到位于第一通道基板21的右端部處的接觸區(qū)段43的接地部45。在該構(gòu)造中，在四個(gè)壓電元件行40a至40d中，壓電元件39的下電極31和接觸區(qū)段43的接地部45之間的距離是不同的。在位于遠(yuǎn)離接觸區(qū)段43的位置處的壓電元件行40d中，在相應(yīng)的壓電元件39的下電極31和接觸區(qū)段43的接地部45之間的距離在四個(gè)壓電元件行40a至40d中是最大的，并且因此在壓電元件行40d中的電阻是最大的。因此，當(dāng)壓電元件39被驅(qū)動(dòng)時(shí)，在電流從下電極31流向接地部45時(shí)發(fā)生的電壓降變大。具體地，當(dāng)使墨水同時(shí)從大量噴嘴24排放時(shí)，大量的壓電元件39被同時(shí)驅(qū)動(dòng)。因此，在共用電極42處的電壓降變得相當(dāng)大，這繼而減小了施加到每個(gè)壓電元件39的電壓。
[0059]鑒于該情況，可以增加共用電極42的厚度以便減小共用電極42中的電阻，從而抑制上述電壓降變小。然而，增加共用電極42(具體地，下電極31)的厚度由于厚度增加阻礙了壓電部37的變形。另外，盡管幾乎不影響壓電層32的排列的鉑(Pt)適合作為用于共用電極42的材料，但鉑是昂貴的材料。因此，同樣從成本的觀點(diǎn)，難以增加共用電極42的厚度。注意，術(shù)語(yǔ)“壓電層32的排列”意思是壓電層32中極化的方向被排列的狀態(tài)。
[0060]由于上述原因，在四個(gè)壓電元件行40a至40d中產(chǎn)生在下電極31和接地部45之間的電壓降的程度內(nèi)的差異的情況下，取決于距接地部45的距離，在其中電壓降在四個(gè)壓電元件行40(40a至40d)中較大的壓電元件行40中，大體上施加到壓電元件39的電壓被降低。即，施加到壓電元件39的電壓在四個(gè)壓電