造成加壓空氣的致動器等。
[0109]接下來，將給出關(guān)于除了如上所述的本教導(dǎo)的相關(guān)教導(dǎo)的說明。
[0110]設(shè)計(jì)壓電致動器的相關(guān)教導(dǎo)包括:
[0111]多個(gè)壓電元件，其構(gòu)成在第一方向上排列在基板上的第一壓電元件行和第二壓電元件行，第二壓電元件行在與第一方向正交的第二方向上相對于第一壓電元件行被并排布置；
[0112]接觸區(qū)段，其相對于第一壓電元件行在第二方向上被布置在第二壓電元件行的相反側(cè)的基板上，并且布線構(gòu)件被接合到該接觸區(qū)段;和
[0113]多條驅(qū)動布線，其每一條從多個(gè)壓電元件中的一個(gè)向著接觸區(qū)段在第二方向上延伸，
[0114]其中，多個(gè)壓電元件中的每一個(gè)具有壓電部、被布置在壓電部的厚度方向上的一側(cè)的第一電極和被布置在壓電部的厚度方向上的另一側(cè)的第二電極；
[0115]驅(qū)動布線中的每一條被連接到多個(gè)壓電元件中與其對應(yīng)的一個(gè)壓電元件的第一電極；
[0116]多個(gè)壓電元件的第二電極經(jīng)由布置在第二電極之間的電極導(dǎo)電部彼此導(dǎo)通，并且第二電極和電極導(dǎo)電部構(gòu)成用于多個(gè)壓電元件的共用電極；
[0117]壓電致動器進(jìn)一步包括壓電連接部，壓電連接部使多個(gè)壓電元件的壓電部彼此連結(jié)；
[0118]包括在多條驅(qū)動布線中的并且與包括在多個(gè)壓電元件中且構(gòu)成第二壓電元件行的壓電元件對應(yīng)的驅(qū)動布線，在經(jīng)過包括在多個(gè)壓電元件中并且構(gòu)成第一壓電元件行的壓電元件中的、在第一方向上相鄰的兩個(gè)相鄰壓電元件之間的同時(shí)，每一條都向著接觸區(qū)段延伸;并且
[0119]虛擬線被布置成每一條在構(gòu)成第二壓電元件行的壓電元件中、在第一方向上相鄰的兩個(gè)相鄰壓電元件之間，每一條虛擬線從驅(qū)動布線中的一條分離。
[0120]參照圖12，將給出關(guān)于上述公開發(fā)明的實(shí)施例的說明。壓電致動器103具有構(gòu)成分別對應(yīng)于四個(gè)壓力室行(27a至27d)的四個(gè)壓電元件行(40a至40d)的多個(gè)壓電元件39。以與上述實(shí)施例相似的方式，壓電層32被形成為跨過四個(gè)壓力室行27。即，提供有以下構(gòu)造:經(jīng)由布置在壓電層32中位于多個(gè)壓力室26中的相鄰壓力室26之間的部分處的壓電連接部111，構(gòu)成四個(gè)壓電元件行40的多個(gè)壓電元件39的壓電部37彼此連結(jié)。
[0121]分別與構(gòu)成四個(gè)壓電元件行40的多個(gè)壓電元件39對應(yīng)的驅(qū)動布線35，被從多個(gè)壓電元件39向右向著接觸區(qū)段43引出。因此，在相對于位于最左位置的壓電元件行40d位于右側(cè)的三個(gè)壓電元件行40a至40c中的每一個(gè)中，從另一或其它壓電元件行40引出的驅(qū)動布線35穿過在傳送方向上相鄰的兩個(gè)相鄰壓電元件39之間的空間。另一方面，在位于最左位置的壓電元件行40d中，沒有從另一或其它壓電元件行40引出的驅(qū)動布線35穿過在傳送方向上相鄰的兩個(gè)相鄰壓電元件39之間的空間。
[0122]在每個(gè)壓電元件39中的殘余應(yīng)力取決于導(dǎo)電膜諸如驅(qū)動布線35是否存在于壓電層32在兩個(gè)相鄰壓電元件39之間的部分上而變化。因此，在四個(gè)壓電元件行40中，壓電元件39的殘余應(yīng)力變化?？紤]到這種情況，在圖12所示的構(gòu)造中，虛擬線IlOd被布置為每一條在最左壓電元件40d中在傳送方向上相鄰的兩個(gè)壓電元件39之間。虛擬線I 1d不通過上電極33和驅(qū)動布線35導(dǎo)通。相反，不同于上述實(shí)施例中的導(dǎo)電布線52(參見圖2和3)，在不通過共用電極42導(dǎo)通的情況下，虛擬線I 1d是布置成隔離的電極。通過將虛擬線I 1d布置在壓電元件行40d中兩個(gè)相鄰壓電元件39之間，能夠抑制關(guān)于在其余的壓電元件行40a至40c中的壓電元件39的殘余應(yīng)力的變化。
[0123]另外，穿過兩個(gè)相鄰壓電元件39的驅(qū)動布線35的數(shù)目在位于右側(cè)的三個(gè)壓電元件行40a至40c中是不同的。鑒于此，在圖12所示的構(gòu)造中，以與壓電元件行40d相似的方式，也將虛擬線I 1b和11 Ic分別布置為每一條在壓電元件行40b和壓電元件行40c中在傳送方向上相鄰的兩個(gè)壓電元件39之間。但是，注意，在壓電元件行40c中的虛擬線IlOc的寬度小于在壓電元件行40d中的虛擬線IlOd的寬度。另外，在壓電元件行40b中的虛擬線IlOb的寬度進(jìn)一步小于在壓電元件行40c中的虛擬線I 1c的寬度。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種布置在基板上的壓電致動器，所述壓電致動器包括: 多個(gè)壓電元件，所述多個(gè)壓電元件在所述基板上在第一方向上排列，以形成在與所述第一方向正交的第二方向上并排布置的第一壓電元件行和第二壓電元件行，所述多個(gè)壓電元件中的每一個(gè)包括:壓電部、被布置在所述壓電部的厚度方向上的一側(cè)的第一電極，和被布置在所述壓電部的所述厚度方向上的另一側(cè)的第二電極； 共用電極，所述共用電極對于所述多個(gè)壓電元件是共用的，所述共用電極包括所述多個(gè)第二電極和電極導(dǎo)電部，所述電極導(dǎo)電部被布置在所述多個(gè)第二電極之間以將所述多個(gè)第二電極彼此電連接； 接觸區(qū)段，在所述第二方向上，相對于所述第一壓電元件行，所述接觸區(qū)段在所述第二壓電元件行的相反側(cè)的位置處被布置在所述基板上； 多條驅(qū)動布線，所述多條驅(qū)動布線中的每一條從所述多個(gè)壓電元件中的一個(gè)向著所述接觸區(qū)段在所述第二方向上延伸，所述驅(qū)動布線中的每一條被連接到所述多個(gè)壓電元件中的一個(gè)的所述第一電極，在經(jīng)過所述第一壓電元件行的在所述第一方向上相鄰的兩個(gè)相鄰壓電元件之間的同時(shí)，與所述第二壓電元件行的所述壓電元件對應(yīng)的所述驅(qū)動布線每一條都向著所述接觸區(qū)段延伸;和 導(dǎo)電布線，所述導(dǎo)電布線每一條都被布置在所述第二壓電元件行的在所述第一方向上相鄰的兩個(gè)相鄰壓電元件之間，所述導(dǎo)電布線中的每一條在所述導(dǎo)電布線的在所述第二方向上分開的兩個(gè)位置處與所述共用電極的所述電極導(dǎo)電部導(dǎo)通。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電致動器，其中，所述多個(gè)壓電元件進(jìn)一步構(gòu)成第三壓電元件行，在所述第二方向上，相對于所述第二壓電元件行，所述第三壓電元件行被布置在所述第一壓電元件行的相反側(cè)； 所述導(dǎo)電布線包括第一導(dǎo)電布線和第二導(dǎo)電布線，所述第一導(dǎo)電布線中的每一條被布置在所述第二壓電元件行的在所述第一方向上相鄰的所述兩個(gè)相鄰壓電元件之間，并且所述第二導(dǎo)電布線中的每一條被布置在所述第三壓電元件行的在所述第一方向上相鄰的兩個(gè)相鄰壓電元件之間；并且 在所述第二導(dǎo)電布線中的電阻低于在所述第一導(dǎo)電布線中的電阻。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓電致動器，其中，每一條都被布置在所述第三壓電元件行的所述兩個(gè)相鄰壓電元件之間的所述第二導(dǎo)電布線的數(shù)目，大于每一條都被布置在所述第二壓電元件行的所述兩個(gè)相鄰壓電元件之間的所述第一導(dǎo)電布線的數(shù)目。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓電致動器，其中，在所述第一壓電元件行、所述第二壓電元件行和所述第三壓電元件行中，在所述第一壓電元件行、所述第二壓電元件行和所述第三壓電元件行的兩個(gè)相鄰壓電元件之間布置的所述驅(qū)動布線的數(shù)目和所述導(dǎo)電布線的數(shù)目的總和是相同的。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓電致動器，其中，所述導(dǎo)電布線的寬度和所述驅(qū)動布線的寬度是相同的。6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓電致動器，其中，每一條都被布置在所述第三壓電元件行的所述兩個(gè)相鄰壓電元件之間的所述第二導(dǎo)電布線的寬度，大于每一條都被布置在所述第二壓電元件行的所述兩個(gè)相鄰壓電元件之間的所述第一導(dǎo)電布線的寬度。7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓電致動器，其中，所述導(dǎo)電布線分別包括布置在所述第二壓電元件行和所述第三壓電元件行之間并且連接所述第一導(dǎo)電布線與所述第二導(dǎo)電布線的連接部。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電致動器，其中，所述接觸區(qū)段包括分別連接到所述多條驅(qū)動布線的多個(gè)第一接觸部和連接到所述共用電極的第二接觸部； 所述第一接觸部和所述第二接觸部在所述第一方向上被并排布置;并且 每一條都被布置在所述第二壓電元件行的所述兩個(gè)相鄰壓電元件之間的所述多條導(dǎo)電布線，被構(gòu)造成使得在所述多條導(dǎo)電布線中，距所述第二接觸部的距離大的導(dǎo)電布線的寬度比距所述第二接觸部的距離短的另一導(dǎo)電布線的寬度大。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電致動器，其中，所述導(dǎo)電布線由電阻率低于所述驅(qū)動布線的電阻率的導(dǎo)電材料形成。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電致動器，其中，所述導(dǎo)電布線由電阻率低于所述共用電極的電阻率的導(dǎo)電材料形成。11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電致動器，其中，所述導(dǎo)電布線的厚度大于所述共用電極的厚度。12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電致動器，其中，所述導(dǎo)電布線在所述第二方向上的長度長于所述第一電極在所述第二方向上的長度。13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電致動器，其中，所述導(dǎo)電布線的厚度與所述驅(qū)動布線的厚度相同。14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電致動器，其中，所述導(dǎo)電布線由與形成所述驅(qū)動布線的導(dǎo)電材料相同的導(dǎo)電材料形成。15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電致動器，進(jìn)一步包括被構(gòu)造成覆蓋所述多個(gè)壓電元件的絕緣膜，并且使所述驅(qū)動布線和所述導(dǎo)電布線形成在所述絕緣膜上； 其中，在所述絕緣膜中，在所述驅(qū)動布線中的每一條與所述多個(gè)壓電元件中的一個(gè)的所述第一電極重疊的位置處，形成第一導(dǎo)電部以穿透所述絕緣膜，經(jīng)由所述第一導(dǎo)電部，所述驅(qū)動布線中的每一條與所述多個(gè)壓電元件中的一個(gè)的所述第一電極導(dǎo)通;并且 在所述絕緣膜中，在下述位置處，形成兩個(gè)第二導(dǎo)電部以穿透所述絕緣膜，并且經(jīng)由所述兩個(gè)第二導(dǎo)電部，所述導(dǎo)電布線中的每一條與所述共用電極的所述電極導(dǎo)電部導(dǎo)通，其中在該位置處，所述兩個(gè)第二導(dǎo)電部與所述導(dǎo)電布線中的每一條在所述第二方向上的兩個(gè)端部重疊。16.一種液體排放裝置，包括: 根據(jù)權(quán)利要求1至15中的任一項(xiàng)所述的壓電致動器； 基板，所述基板包括多個(gè)壓力室和振動膜，所述多個(gè)壓力室分別對應(yīng)于所述多個(gè)壓電元件并且被布置在所述第一方向上，所述振動膜覆蓋所述多個(gè)壓力室;和 噴嘴板，所述噴嘴板被接合到所述基板并且形成有與所述多個(gè)壓力室分別連通的多個(gè)噴嘴。17.—種用于制作根據(jù)權(quán)利要求1至15中的任一項(xiàng)所述的壓電致動器的方法，所述方法包括: 形成所述多個(gè)壓電元件中的每一個(gè)的所述壓電部； 形成所述多個(gè)壓電元件中的每一個(gè)的所述第一電極，所述第一電極布置在所述壓電部的所述厚度方向上的一側(cè)； 形成所述多個(gè)壓電元件中的每一個(gè)的所述第二電極，所述第二電極布置在所述多個(gè)壓電部的所述厚度方向上的另一側(cè);并且 形成分別對應(yīng)于所述多個(gè)壓電元件的所述驅(qū)動布線， 其中，在形成所述導(dǎo)電布線期間，所述導(dǎo)電布線以與形成所述驅(qū)動布線的膜形成工藝相同的膜形成過程形成，所述導(dǎo)電布線每一條都被布置在于所述第一方向上相鄰的所述兩個(gè)相鄰壓電元件之間的區(qū)域中。
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種壓電致動器、液體排放裝置和制作壓電致動器的方法。壓電致動器包括：多個(gè)壓電元件，其形成第一和第二壓電元件行，并且包括第一、第二電極和壓電部；共用電極，其包括第二電極和電極導(dǎo)電部；接觸區(qū)段；多條驅(qū)動布線；和導(dǎo)電布線。驅(qū)動布線對應(yīng)于第二壓電元件行的壓電元件的部分在經(jīng)過第一壓電元件行的在第一方向上相鄰的兩個(gè)相鄰壓電元件之間的同時(shí)，向著接觸區(qū)段延伸。導(dǎo)電布線被布置在第二壓電元件行的兩個(gè)相鄰壓電元件之間，每條導(dǎo)電布線在其在第二方向上分開的兩個(gè)位置處與共用電極的電極導(dǎo)電部導(dǎo)通。
【IPC分類】B41J2/045
【公開號】CN105730011
【申請?zhí)枴緾N201510968969
【發(fā)明人】垣內(nèi)徹, 林秀樹, 平井啟太, 廣田淳
【申請人】兄弟工業(yè)株式會社
【公開日】2016年7月6日
【申請日】2015年12月22日
【公告號】EP3037268A1, US20160185116