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藍(lán)寶石基板研磨裝置的制作方法

文檔序號(hào):12367733閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種藍(lán)寶石基板研磨裝置,其特征在于,包括:

機(jī)架,具有轉(zhuǎn)軸;

設(shè)置于所述機(jī)架上的研磨臺(tái),并由所述轉(zhuǎn)軸驅(qū)動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng),所述研磨臺(tái)具有研磨面,所述研磨面用于對(duì)位于所述研磨臺(tái)上的藍(lán)寶石基板研磨;

位于所述研磨面上的陶瓷盤(pán),帶動(dòng)所述藍(lán)寶石基板相對(duì)于所述研磨面移動(dòng),所述陶瓷盤(pán)對(duì)藍(lán)寶石基板中心位置施加的壓力大于對(duì)藍(lán)寶石基板邊緣位置施加的壓力。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石基板研磨裝置,其特征在于,所述陶瓷盤(pán)包括:

施壓面,用于對(duì)所述藍(lán)寶石基板的表面施加壓力;

設(shè)置于所述施壓面與所述藍(lán)寶石基板之間的墊片,所述墊片用以接觸藍(lán)寶石基板邊緣位置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的藍(lán)寶石基板研磨裝置,其特征在于,所述墊片的厚度范圍為藍(lán)寶石基板厚度的80%。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的藍(lán)寶石基板研磨裝置,其特征在于,所述墊片的形狀圓形結(jié)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的藍(lán)寶石基板研磨裝置,其特征在于,所述呈圓形結(jié)構(gòu)的墊片的直徑大小為藍(lán)寶石基板的直徑的三分之二。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的藍(lán)寶石基板研磨裝置,其特征在于,所述研磨臺(tái)具有均勻分布于所述研磨面上的凹槽。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石基板研磨裝置,其特征在于,所述藍(lán)寶石基板研磨裝置還包括:

加壓機(jī)構(gòu),用于對(duì)所述藍(lán)寶石基板相對(duì)于所述研磨面施加壓力。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石基板研磨裝置,其特征在于,所述研磨臺(tái)相對(duì)所述機(jī)架的轉(zhuǎn)速為0-60rpm。

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