施方式】
[0052]為了提高顯示裝置的生產效率，同時便于顯示裝置的薄型化發(fā)展。本實用新型實施例提供了一種顯示面板及顯示裝置。在本實用新型實施例的技術方案中，通過采用將聲波傳感器制備在顯示面板上，從而使得在形成顯示面板上的結構時即可形成聲波傳感器，簡化了顯示裝置的制備工藝，同時，降低了面板的厚度，便于顯示裝置的薄型化發(fā)展。為了方便對本實用新型技術方案的理解，下面結合附圖及具體實施例對本實用新型的技術方案進行詳細的說明。
[0053]如圖2及圖3所示，圖2及圖3示出了本實用新型實施例提供的不同的顯示面板的結構示意圖。
[0054]本實用新型實施例提供了一種顯示面板，該顯示面板包括襯底基板30以及設置在所述襯底基板30上的聲波傳感器20。
[0055]在上述實施例中，通過將聲波傳感器20的結構直接形成在襯底基板30上，使得在制備顯示面板其他結構的同時即可形成聲波傳感器20，從而簡化了制備顯示面板的工藝，提高了顯示裝置的制備效率，同時，聲波傳感器20直接形成在襯底基板30上，降低了形成的顯示裝置的厚度，便于顯示裝置的薄型化發(fā)展。
[0056]其中的，聲波傳感器20包括:設置在所述襯底基板30上的第一電極層21 ;設置在所述第一電極層21上的硅背板22 ;設置在所述硅背板22上的支撐層23 ;設置在所述支撐層23上的第一膜層24 ;設置在所述第一膜層24上的第二電極層26 ;設置在所述第二電極層26上的第二膜層25 ;且所述第一膜層24及所述第二膜層25為麥拉膜層，所述第一電極層21、硅背板22、支撐層23及所述第一膜層24上設置有連通的聲孔27。
[0057]為了方便對本實用新型實施例的理解，下面結合具體的實施例，對其結構進行詳細的說明。
[0058]實施例1
[0059]本實用新型實施例提供的顯示面板具有薄膜晶體管10，該薄膜晶體管10為頂柵結構。其結構包括:有源層13，設置在有源層13上的柵極絕緣層12，設置在柵極絕緣層12上形成柵極層11，形成在柵極層11上的隔層，形成在隔層上的源極15和漏極14。
[0060]如圖2所示，本實施例提供的顯示面板中的薄膜晶體管10包括柵極層11、柵極絕緣層12、多晶硅有源層、源漏電極層，薄膜晶體管10位于襯底基板上的遮擋金屬層上，且通過絕緣層與遮擋金屬層電隔離；其中，
[0061]聲波傳感器的第一電極層21與遮擋金屬層同層設置；
[0062]聲波傳感器的硅背板22與薄膜晶體管中的多晶硅有源層同層設置；
[0063]聲波傳感器的支撐層23與薄膜晶體管的柵極絕緣層12同層設置；
[0064]聲波傳感器的第二電極層26與薄膜晶體管的柵極層11同層設置。
[0065]從而使得在形成薄膜晶體管10的同時，即可形成聲波傳感器20，從而減少了聲波傳感器20在制備時的工藝，簡化了生產顯示面板的結構以及生產步驟，同時，如圖2所示，薄膜晶體管10及聲波傳感器20并排設置在襯底基板30上，降低了顯示面板的厚度，便于顯示裝置的薄型化發(fā)展。
[0066]在具體制作時，支撐層23的材料為二氧化硅或氮化硅。
[0067]此外，聲波傳感器20中的第一膜層24和第二膜層25均包括設置在第一氧化硅層上的第一氮化硅層，設置在第一氮化硅層上的第二多晶硅層，以及設置在第二多晶硅層上的第二氮化硅層。
[0068]在形成聲孔27時，襯底基板、第一電極層21、硅背板22、支撐層23、第一膜層24和第二膜層25均在同一位置設置通孔，且位于襯底基板、第一電極層21、硅背板22、支撐層23、第一膜層24和第二膜層25的通孔連通形成聲孔。具體的，如圖2所示，聲孔27設置在硅背板22、第一電極層21、支撐層23及第一膜層24上，且其具體的結構可以采用直通孔的結構，也可以采用喇叭口的結構，較佳的，該聲孔27采用喇叭口形結構，即其包括形成在硅背板22上的第一通孔271，形成在支撐層23上的第二通孔272，以及第一膜層24上形成的第三通孔273，且第三通孔273為喇叭口狀，第三通孔273、第二通孔272及第一通孔271貫通，其中的第一電極采用間隔設置的金屬條，且支撐層23填充在兩個金屬條之間并與硅背板22接觸，第二通孔272及第一通孔271位于兩個金屬條之間的位置。
[0069]為了提高整個顯示面板上的結構的安全性，較佳的，還包括覆蓋在薄膜晶體管10以及聲波傳感器20的鈍化層16。從而保護薄膜晶體管10及聲波傳感器20。當然，本實施例提供的顯示面板還包括設置在鈍化層16上并與源極15連接的透明電極層40。
[0070]此外，顯示面板為液晶顯示面板，液晶顯示面板還包括位于第二膜層上方的第一阻擋層、第一鈍化層、第二阻擋層、第一透明導電層、第二鈍化層、第二透明電極層。
[0071]通過上述描述可以看出，本實施例提供的顯示面板采用薄膜晶體管10及聲波傳感器20并排排列的設置結構，從而簡化了顯示面板的生產工藝，在制備薄膜晶體管10時即可制作聲波傳感器20，并且，本實施例提供的顯示面板由于薄膜晶體管10與聲波傳感器20并排排列，因此，降低了顯示面板的厚度，便于顯示裝置的薄型化發(fā)展。
[0072]實施例2
[0073]如圖3所示，本實施例提供的顯示面板具有薄膜晶體管10，該薄膜晶體管10為底柵結構，其結構具體包括，柵極層11、設置在柵極層11上的柵極絕緣層12，設置在柵極絕緣層12上的有源層13，設置在有源層13上的源極15和漏極14。具體的，薄膜晶體管包括柵極層11、柵極絕緣層12、非晶硅有源層、源漏電極層，其中，所述聲波傳感器的第一電極層21與所述薄膜晶體管的柵極層11同層設置；
[0074]所述聲波傳感器的硅背板22與所述薄膜晶體管中的非晶硅有源層同層設置；所述聲波傳感器的第二電極層26與所述薄膜晶體管的源漏電極層同層設置。
[0075]此外，支撐層23包括在形成薄膜晶體管10的有源層13同層設置的硅化物層以及位于硅化物層上方的氧化硅層；即在制備有源層13時，位于第一電極上方的硅化物層作為支撐層23的一部分，并且在支撐層23上設置一層氧化硅層；該硅化物及氧化硅層一起作為支撐層23 ;
[0076]第二電極層與薄膜晶體管10的源極15和漏極14同層設置。
[0077]其中的，第一膜層和第二膜層均包括第一氮化硅層，設置在所述第一氮化硅層上的非晶硅層，以及設置在所述非晶硅層上的第二氮化硅層。
[0078]通過上述結構可以看出，在制備薄膜晶體管10時，同步制備聲波傳感器20，從而減少了制備顯示面板的工藝，提高了顯示面板的制作效率，同時，由于薄膜晶體管10與聲波傳感器20并排排列，從而降低了顯示面板的厚度，進而便于顯示裝置的薄型化發(fā)展。
[0079]在形成聲孔27時，襯底基板、第一電極層21、硅背板22、支撐層23、第一膜層24和第二膜層25均在同一位置設置通孔，且位于襯底基板、第一電極層21、硅背板22、支撐層23、第一膜層24和第二膜層25的通孔連通形成聲孔。具體的，聲孔27設置在硅背板22、第一電極層、支撐層23及第一膜層24上，且其具體的