本發(fā)明涉及一種曝光機(jī)的控制方法，尤其涉及一種曝光機(jī)的控制掃描光源的方法及控制曝光機(jī)的掃描光源的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品。

背景技術(shù)：

電路板的制造過程中需要曝光機(jī)來進(jìn)行線路的制作，例如典型的多層板制程中就于內(nèi)層制程、外層制程、防焊制程及選擇性鍍金的制程上需要曝光機(jī)的搭配。

曝光制程中除了光阻的涂布方式、材料選用外，曝光能量的控制也占有舉足輕重的角色，曝光能量的控制也影響著光阻聚合反應(yīng)的效果，例如對于某些材料來說，當(dāng)曝光能量較低時可提高線路制作上的分辨率，當(dāng)曝光能量較高時可提高聚合效果及抗化性。

因此，針對不同的曝光目標(biāo)，就會需要有對應(yīng)的曝光能量的控制，但曝光能量的可控制因素相當(dāng)多種，操作者往往難以容易地去調(diào)整出適當(dāng)?shù)钠毓鈼l件，使得較佳的曝光效果往往需耗費(fèi)相當(dāng)多的成本。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供程序化的曝光調(diào)整方式，以讓操作者得以有效率地去調(diào)整出較佳的曝光條件。

本發(fā)明的另一目的在于通過程序化的控制導(dǎo)引，使得光阻聚合的反應(yīng)效果得以提高。

為達(dá)上述目的及其他目的，本發(fā)明提出一種曝光機(jī)的控制掃描光源的方法，是運(yùn)作于具有多個發(fā)光組件組成的燈條的曝光機(jī)中，以對光阻進(jìn)行曝光，包含：設(shè)定單次掃描所需的曝光能量值；提供增益先決模式或時間先決模式 的設(shè)定；及依據(jù)所設(shè)定的模式驅(qū)動該燈條執(zhí)行曝光掃描。其中，該增益先決模式單次掃描下以所設(shè)定的各該發(fā)光組件的增益先決最大增益輸出值為基準(zhǔn)，并依據(jù)單次掃描所需的該曝光能量值產(chǎn)生單次掃描的增益先決掃描速度值，以該增益先決最大增益輸出值及該增益先決掃描速度值趨動該燈條執(zhí)行曝光掃描。其中，該時間先決模式是單次掃描下以所設(shè)定的最小曝光時間值為基準(zhǔn)，并依據(jù)單次掃描所需的該曝光能量值產(chǎn)生單次掃描的時間先決最大增益輸出值，以及依據(jù)該最小曝光時間值產(chǎn)生單次掃描的時間先決掃描速度值，并以該時間先決最大增益輸出值及該時間先決掃描速度值趨動該燈條執(zhí)行曝光掃描。

在本發(fā)明的實(shí)施例中，在提供該增益先決模式或該時間先決模式的設(shè)定步驟中，在該增益先決模式被選定后還包含：提供單次掃描時該燈條的該增益先決最大增益輸出值的設(shè)定；提供單次掃描時，該燈條的各波段的增益輸出比例值的設(shè)定；及根據(jù)所接收的經(jīng)設(shè)定的該增益先決最大增益輸出值、該燈條的各波段的增益輸出比例值及單次掃描所需的該曝光能量值，計(jì)算出該增益先決掃描速度值。

在本發(fā)明的實(shí)施例中，在提供該增益先決模式或該時間先決模式的設(shè)定步驟中，在該時間先決模式被選定后還包含：提供單次掃描時，該最小曝光時間值的設(shè)定；提供單次掃描時，該燈條的各波段的增益輸出比例值的設(shè)定；及根據(jù)所接收的經(jīng)設(shè)定的該最小曝光時間值計(jì)算出單次掃描的時間先決掃描速度值，以及根據(jù)該最小曝光時間值、該燈條的各波段的增益輸出比例值及單次掃描所需的該曝光能量值計(jì)算出時間先決最大增益輸出值。

在本發(fā)明的實(shí)施例中，在設(shè)定單次掃描所需的該能量值步驟中，包含：提供該光阻所需的曝光總能量值的設(shè)定；提供該光阻被曝光時，該燈條所需執(zhí)行的掃描次數(shù)的設(shè)定；提供該燈條單次掃描過程中所占的曝光能量比例值的設(shè)定；及依據(jù)該曝光總能量值、該掃描次數(shù)及該比例值，產(chǎn)生單次掃描所需的曝光能量值。

在本發(fā)明的實(shí)施例中，是以發(fā)光二極管作為各該發(fā)光組件以組成該燈條。

為達(dá)上述目的及其他目的，本發(fā)明還提出一種曝光機(jī)的掃描光源的計(jì)算 機(jī)程序產(chǎn)品，在曝光機(jī)的計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)加載后是執(zhí)行如前述所述的控制掃描光源的方法，以取得具有多個發(fā)光組件的燈條的驅(qū)動方式而執(zhí)行曝光掃描。

因此，基于已規(guī)劃好的發(fā)光組件的排列、控制回路及可程控增益的特點(diǎn)，操作者可依循本案的控制掃描光源的方法來有規(guī)劃地逐步完成各種所需的掃描光源的調(diào)控，進(jìn)而可有效率地達(dá)成光阻聚合的最佳效果。

附圖說明

圖1為本發(fā)明一實(shí)施例中的曝光機(jī)的相關(guān)配置示意圖；

圖2為本發(fā)明一實(shí)施例中的控制掃描光源的方法的流程圖；

圖3為本發(fā)明另一實(shí)施例中的控制掃描光源的方法的流程圖；

圖4為本發(fā)明再一實(shí)施例中的控制掃描光源的方法的流程圖。

【符號說明】

100燈條

110發(fā)光組件

200計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)

300承載臺

s100～s300步驟

s110～s140步驟

s210～s233步驟

具體實(shí)施方式

為充分了解本發(fā)明的目的、特征及功效，現(xiàn)通過下述具體的實(shí)施例，并配合附圖，對本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)說明，說明如下：

首先請參閱圖1，其示為本發(fā)明實(shí)施例中的曝光機(jī)的相關(guān)配置示意圖。搭載有多個發(fā)光組件110的燈條100為曝光機(jī)中運(yùn)作來對光阻進(jìn)行曝光照射的光源，待曝光物(圖中未示)放置或固定于曝光機(jī)的承載臺300上，燈條100 受控于計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)200，發(fā)光組件110舉例來說可采用發(fā)光二極管。該計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)200可為計(jì)算機(jī)、與曝光機(jī)的整機(jī)控制系統(tǒng)結(jié)合在一起的一種中央控制系統(tǒng)、或者是遠(yuǎn)程的中央控制系統(tǒng)，其皆為透過計(jì)算機(jī)硬件所架設(shè)出的控制網(wǎng)絡(luò)。其中，該計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)200是通過程序的運(yùn)作來執(zhí)行所規(guī)劃的方法步驟，所述的方法步驟即為完成本發(fā)明實(shí)施例中的各種掃描光源的調(diào)控的對應(yīng)動作與內(nèi)容，因此可通過用于曝光機(jī)的掃描光源調(diào)控的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品來執(zhí)行本發(fā)明所述的方法，取得具有多個發(fā)光組件的燈條的驅(qū)動方式而執(zhí)行曝光掃描。

請參閱圖2，其示為本發(fā)明實(shí)施例中的控制掃描光源的方法的流程圖。此實(shí)施例中，在步驟s100是為設(shè)定單次掃描所需的曝光能量值，也就是，該計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)200在執(zhí)行曝光機(jī)的控制掃描光源的方法時是先提供單次掃描所需的曝光能量值的相關(guān)設(shè)定供操作者決定，再由該計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)200將操作者的決定進(jìn)行掃描光源的單次掃描的曝光能量值的設(shè)定，以根據(jù)所設(shè)定的相關(guān)參數(shù)對應(yīng)地調(diào)控具有該等發(fā)光組件110的燈條100。

在步驟s200提供增益先決模式或時間先決模式的設(shè)定，以供操作者根據(jù)所需的曝光方式來選擇，該步驟是導(dǎo)引操作者快速進(jìn)入曝光相關(guān)參數(shù)的進(jìn)階調(diào)整，且通過所述參數(shù)被依序且明確地呈現(xiàn)給操作者供其設(shè)定，即為有規(guī)劃地逐步完成各種所需的掃描光源的調(diào)控，進(jìn)而可有效率地達(dá)成光阻聚合的最佳效果。

在步驟s300則是依據(jù)所設(shè)定的模式驅(qū)動該燈條執(zhí)行曝光掃描。

其中在該增益先決模式中，該增益先決模式是以單次掃描下以所設(shè)定的各該發(fā)光組件的增益先決最大增益輸出值為基準(zhǔn)，并依據(jù)單次掃描所需的該曝光能量值產(chǎn)生單次掃描的增益先決掃描速度值，以該增益先決最大增益輸出值及該增益先決掃描速度值趨動該燈條執(zhí)行曝光掃描。

其中在該時間先決模式中，該時間先決模式是以單次掃描下以所設(shè)定的最小曝光時間值為基準(zhǔn)，并依據(jù)單次掃描所需的該曝光能量值產(chǎn)生單次掃描的時間先決最大增益輸出值，以及依據(jù)該最小曝光時間值產(chǎn)生單次掃描的時間先決掃描速度值，并以該時間先決最大增益輸出值及該時間先決掃描速度值趨動該燈條執(zhí)行曝光掃描。

接著，請參閱圖3，其示為本發(fā)明另一實(shí)施例中的控制掃描光源的方法的流程圖。本實(shí)施例中是進(jìn)一步描述增益先決模式與時間先決模式中的循序設(shè)定方式。在該增益先決模式被選定(步驟s210)后還包含：

步驟s221、提供單次掃描時該燈條的該增益先決最大增益輸出值的設(shè)定。其調(diào)整各發(fā)光組件的發(fā)光強(qiáng)弱，可供使用者以增益為優(yōu)先考慮的前提下來調(diào)整。

步驟s222、提供單次掃描時，該燈條的各波段的增益輸出比例值的設(shè)定。其通過各發(fā)光組件的產(chǎn)生不同波段的設(shè)定及發(fā)光強(qiáng)度來設(shè)定。步驟s221及步驟s222間并不具有順序先后的特定，操作者也可先進(jìn)行步驟s222后再進(jìn)行步驟s221。

步驟s223、計(jì)算出增益先決掃描速度值。其根據(jù)所接收的經(jīng)設(shè)定的該增益先決最大增益輸出值、該燈條的各波段的增益輸出比例值及單次掃描所需的該曝光能量值，即可計(jì)算出符合單次掃描所需的該曝光能量值下的掃描的快慢(速度越快，照設(shè)至光阻上的時間越短，但可在短時間內(nèi)提供較大的光源強(qiáng)度來滿足所需的該曝光能量值，因而此模式的控制變因即在于此)，即該增益先決掃描速度值。

在該時間先決模式被選定后還包含：

步驟s231、提供單次掃描時，該最小曝光時間值的設(shè)定。其調(diào)整各發(fā)光組件的最底線的發(fā)光強(qiáng)度，可供用戶以掃描時間為優(yōu)先考慮的前提下來調(diào)整。

步驟s232、提供單次掃描時，該燈條的各波段的增益輸出比例值的設(shè)定。其通過各發(fā)光組件的產(chǎn)生不同波段的設(shè)定及發(fā)光強(qiáng)度來設(shè)定。步驟s231及步驟s232間并不具有順序先后的特定，操作者亦可先進(jìn)行步驟s232后再進(jìn)行步驟s231。

步驟s233、計(jì)算出時間先決掃描速度值及時間先決最大增益輸出值。其根據(jù)所接收的經(jīng)設(shè)定的該最小曝光時間值計(jì)算出單次掃描的時間先決掃描速度值，以及根據(jù)該最小曝光時間值、該燈條的各波段的增益輸出比例值及單次掃描所需的該曝光能量值計(jì)算出時間先決最大增益輸出值(此模式是 以時間優(yōu)先考慮下來決定增益輸出值)。

接著請參閱圖4，其示為本發(fā)明再一實(shí)施例中的控制掃描光源的方法的流程圖。在設(shè)定單次掃描所需的該能量值步驟(s100)中是令計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)200執(zhí)行以下述步驟，在所述步驟中在操作者設(shè)定后，該計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)200即對應(yīng)進(jìn)行內(nèi)部參數(shù)的設(shè)定以調(diào)控該燈條：

步驟s101、提供該光阻所需的曝光總能量值的設(shè)定。

步驟s102、設(shè)定掃描次數(shù)。即，提供該光阻被曝光時，該燈條所需執(zhí)行的掃描次數(shù)的設(shè)定。

步驟s103、設(shè)定單次掃描的曝光能量比值。即，提供該燈條單次掃描過程中所占的曝光能量比例值的設(shè)定。步驟s101、步驟s102及步驟s103間并不具有順序先后的特定，操作者可根據(jù)任意順序完成步驟s101、步驟s102及步驟s103的設(shè)定。

步驟s104、產(chǎn)生單次掃描所需的曝光能量值。即，依據(jù)該曝光總能量值、該掃描次數(shù)及該比例值，產(chǎn)生單次掃描所需的曝光能量值。

綜合上述，透過本發(fā)明揭露的控制掃描光源的方法，操作者可依循本案的方法來有規(guī)劃地逐步完成各種所需的掃描光源的調(diào)控，進(jìn)而可有效率地達(dá)成光阻聚合的最佳效果。

本發(fā)明在上文中已通過較佳實(shí)施例揭露，然而熟習(xí)本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)理解的是，該實(shí)施例僅用于描繪本發(fā)明，而不應(yīng)解讀為限制本發(fā)明的范圍。應(yīng)注意的是，凡是與該實(shí)施例等效的變化與置換，均應(yīng)設(shè)為涵蓋于本發(fā)明的范疇內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以權(quán)利要求書所界定的范圍為準(zhǔn)。