技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明揭露一種曝光機的掃描光源的控制方法及其計算機程序產(chǎn)品，運作于具有多個發(fā)光組件組成的燈條的曝光機中以對光阻進(jìn)行曝光，包含：設(shè)定單次掃描所需的曝光能量值；提供增益先決模式或時間先決模式的設(shè)定；及依據(jù)所設(shè)定的模式驅(qū)動該燈條執(zhí)行曝光掃描。因此，操作者可依循本案的控制掃描光源的方法來有規(guī)劃地逐步完成各種所需的掃描光源的調(diào)控，進(jìn)而可有效率地達(dá)成光阻聚合的最佳效果。

技術(shù)研發(fā)人員：張鴻明
受保護(hù)的技術(shù)使用者：川寶科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.04.01
技術(shù)公布日：2017.10.24