技術(shù)特征：

1.一種提高大口徑菲涅耳波帶片衍射效率的方法，其特征在于，包括如下步驟

步驟一、根據(jù)菲涅耳波帶片上區(qū)域i的設(shè)計(jì)線寬L_i和光刻機(jī)加工的最小線寬l₀確定區(qū)域i對應(yīng)的臺階數(shù)2ⁿ：即2ⁿ≤L_i/l₀≤2ⁿ⁺¹；

步驟二、在石英玻璃基板上制備光刻膠掩模結(jié)構(gòu)；

步驟三、進(jìn)行第一次離子束刻蝕，在對應(yīng)臺階數(shù)為2的區(qū)域加工出2臺階結(jié)構(gòu)；

步驟四、清洗光刻膠，進(jìn)行第一次套刻加工；

步驟五、進(jìn)行第二次離子束刻蝕，在對應(yīng)臺階數(shù)為4的區(qū)域加工出4臺階結(jié)構(gòu)；

步驟六、清洗光刻膠，進(jìn)行第二次套刻加工；

步驟七、進(jìn)行第三次離子束刻蝕，在對應(yīng)臺階數(shù)為8的區(qū)域加工8臺階結(jié)構(gòu)；

步驟八、依次類推，直至所有區(qū)域加工完成為止；

步驟九、刻蝕完成后，去除光刻膠，獲得多臺階混合的多臺階菲涅耳波帶片。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟一中，所述石英玻璃基板為兩面拋光，則在該石英玻璃基板上制備光刻膠掩模結(jié)構(gòu)的方法具體為：在所述石英玻璃基板上旋涂一層光刻膠，然后進(jìn)行前烘處理，接著，使用激光直寫機(jī)在光刻膠表面曝光所設(shè)計(jì)的菲涅耳波帶片圖案，曝光完成后，進(jìn)行顯影操作，顯影完成后，再進(jìn)行后烘堅(jiān)膜處理；

所述光刻膠為適合離子束刻蝕的正性光刻膠。