本發(fā)明涉及一種用于去除基板以及薄膜之間的氣泡的脫泡用高壓釜裝置(autoclave)。

背景技術(shù)：

通常，液晶顯示裝置(lcd：liquidcrystaldisplay)、有機(jī)發(fā)光顯示裝置(oled：organiclightemittingdiodes)、等離子體顯示板(pdp：plasmadisplaypanel)、電泳顯示裝置(epd：electrophoreticdisplay)等顯示裝置以及太陽(yáng)電池等經(jīng)過(guò)多個(gè)工序而制成。這種制造工藝包括在基板(substrate)附著薄膜(film)的薄膜附著工序。例如，液晶顯示裝置可以經(jīng)過(guò)對(duì)基板附著偏光膜的薄膜附著工序而制成。

一旦完成這種薄膜附著工序，則實(shí)施去除存在于基板以及薄膜之間的氣泡的脫泡工序。在實(shí)施這種脫泡工序的過(guò)程中，使用到脫泡用高壓釜裝置。脫泡用高壓釜裝置使通過(guò)薄膜附著工序附著有薄膜的基板以高溫、高壓維持規(guī)定時(shí)間，從而去除基板以及薄膜之間的氣泡。

其中，顯示裝置以及太陽(yáng)能電池等逐漸趨于大型化，并且經(jīng)過(guò)對(duì)于大型基板以及大型薄膜的薄膜附著工序以及脫泡工序而制成。因此，對(duì)于小型基板以及小型薄膜來(lái)說(shuō)，在實(shí)施薄膜附著工序以后，僅篩選產(chǎn)生氣泡的小型基板以及小型薄膜后實(shí)施脫泡工序，但是對(duì)于大型基板以及大型薄膜來(lái)說(shuō)，在實(shí)施薄膜附著工序以后，對(duì)幾乎全部的大型基板以及大型薄膜實(shí)施脫泡工序。隨著這種脫泡工序的增多，脫泡工序的延遲導(dǎo)致整體制造工藝的延遲，這會(huì)導(dǎo)致顯示裝置以及太陽(yáng)電池等的生產(chǎn)率下降。因此，迫切需要能夠提高脫泡工序的處理率的脫泡用高壓釜裝置。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

所要解決的技術(shù)問(wèn)題

本發(fā)明是為了解決所述問(wèn)題而被提出的，用于提供一種脫泡用高壓釜裝置，其能夠提高用于去除基板以及薄膜之間的氣泡的脫泡工序的處理率。

技術(shù)方案

為了解決上述的技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明可以包括如下的結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置可以包括：第一裝載部，包括第一收納槽用以收納附著有薄膜的第一基板，對(duì)收納于所述第一收納槽內(nèi)的第一基板進(jìn)行支撐；第二裝載部，包括第二收納槽用以收納附著有薄膜的第二基板，對(duì)收納于所述第二收納槽內(nèi)的第二基板進(jìn)行支撐；中間本體，位于所述第一裝載部與所述第二裝載部之間；支持部，結(jié)合于所述中間本體上用以支撐所述第一裝載部；以及氣體供給部，分別向所述第一收納槽和所述第二收納槽供給工藝氣體，用以分別對(duì)所述第一基板和所述第二基板實(shí)施脫泡工序。所述中間本體可以利用第一內(nèi)部壓力以及第二內(nèi)部壓力來(lái)支撐所述支持部，以使所述支持部支撐所述第一裝載部，其中，所述第一內(nèi)部壓力是因向所述第一收納槽供給工藝氣體而在所述第一收納槽產(chǎn)生的壓力，所述第二內(nèi)部壓力是因向所述第二收納槽供給工藝氣體而在所述第二收納槽產(chǎn)生的壓力。

本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置可以包括：第一裝載部，具有第一收納槽用以收納附著有薄膜的第一基板；第二裝載部，位于所述第一裝載部的下側(cè)，具有第二收納槽用以收納附著有薄膜的第二基板；支持部，用以支撐所述第一裝載部；中間本體，位于所述第一裝載部與所述第二裝載部之間，用于支撐所述支持部，以使所述支持部支撐所述第一裝載部；以及氣體供給部，分別向所述第一收納槽和所述第二收納槽供給工藝氣體，用以分別對(duì)所述第一基板和所述第二基板實(shí)施脫泡工序。所述中間本體可以分別對(duì)所述第一收納槽以及所述第二收納槽供給工藝氣體，以使第一內(nèi)部壓力以及第二內(nèi)部壓力相互抵消，其中，所述第一內(nèi)部壓力是因向所述第一收納槽供給工藝氣體而在所述第一收納槽產(chǎn)生的壓力，所述第二內(nèi)部壓力是因向所述第二收納槽供給工藝氣體而在所述第二收納槽產(chǎn)生的壓力。

本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置可以包括：第一裝載部，具有第一收納槽用以收納附著有薄膜的第一基板；上部本體，位于所述第一裝載部的上側(cè)；第二裝載部，位于所述第一裝載部的下側(cè)，具有第二收納槽用以收納附著有薄膜的第二基板；下部本體，位于所述第二裝載部的下側(cè)；中間本體，位于所述第一裝載部與所述第二裝載部之間；以及支持部，結(jié)合于所述中間本體上用以支撐所述第一裝載部。所述中間本體支撐所述支持部，以使所述支持部支撐所述第一裝載部，并且厚度小于所述上部本體以及所述下部本體各自的厚度。

有益效果

本發(fā)明可以獲得如下效果。

本發(fā)明可以一次性對(duì)多個(gè)基板實(shí)施脫泡工序，從而能夠提高脫泡工序的處理率，因而能夠有助于提高顯示裝置以及太陽(yáng)電池等的生產(chǎn)率。

本發(fā)明可以減小中間本體的厚度，從而減小占據(jù)作業(yè)空間的高度，在有限的作業(yè)空間內(nèi)能夠?qū)盈B設(shè)置的臺(tái)數(shù)更多，因而能夠進(jìn)一步提高脫泡工序的處理率。

本發(fā)明利用第一收納槽的內(nèi)部壓力以及第二收納槽的內(nèi)部壓力來(lái)使中間本體支撐支持部，從而可以在對(duì)多個(gè)基板實(shí)施脫泡工序的過(guò)程中，防止第一收納槽以及第二收納槽各自的體積變化，因而能夠提高完成脫泡工序的多個(gè)基板的品質(zhì)。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置的立體示意圖。

圖2是沿圖1的i-i線示出本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置的剖視示意圖。

圖3是本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置中的第一裝載部的立體示意圖。

圖4是沿圖1的i-i線放大示出本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置的局部的剖視示意圖。

圖5是本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置中的第二裝載部的立體示意圖。

圖6是本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置中的支持部以及中間本體的立體示意圖。

圖7是為了說(shuō)明本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置中的氣體供給部而沿圖1中的i-i線示出的局部剖視概念圖。

附圖標(biāo)記

1：脫泡用高壓釜裝置2：第一裝載部

3：第二裝載部4：支持部

5：中間本體6：氣體供給部

21：第一收納槽22：第一結(jié)合部件

31：第二收納槽32：第二結(jié)合部件

51：第二連通孔61：第一供給部件

62：第二供給部件63：連接部件

20：上部本體30：第一密封部件

40：第一升降部50：下部本體

60：第二密封部件70：第二升降部

80：支撐部100：固定部

200：氣體供給模塊

具體實(shí)施方式

下面，參照附圖，詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置的實(shí)施例。

參照?qǐng)D1至圖3，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1使用在用于制造液晶顯示裝置(lcd)、有機(jī)發(fā)光顯示裝置(oled)、等離子體顯示面板(pdp)、電泳顯示裝置(epd)等顯示裝置以及太陽(yáng)電池等的制造工藝中。本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1在所述制造工藝中實(shí)施脫泡工序，用以去除在相互附著的基板以及薄膜之間的氣泡。例如，在用于制造液晶顯示裝置的制造工藝中，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1能夠去除在相互附著的基板以及偏光膜之間的氣泡。

為此，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1可以包括第一裝載部2、第二裝載部3、支持部4以及中間本體5。

所述第一裝載部2用于支撐附著有薄膜的第一基板。所述第一基板用于制造顯示裝置以及太陽(yáng)電池等。例如，所述第一基板可以是玻璃基板。所述第一基板也可以由多個(gè)基板粘合而成。所述薄膜附著于所述第一基板上。例如，所述薄膜可以是偏光膜、光學(xué)膜等。所述第一基板以通過(guò)薄膜附著工序附著所述薄膜的狀態(tài)裝載于所述第一裝載部2上，從而可以被所述第一裝載部2所支撐。所述第一裝載部2整體上可以呈長(zhǎng)方體形狀，但是并非限定于此，只要是能夠支撐所述第一基板的形狀，還可以形成為其它形狀。

所述第一裝載部2包括第一收納槽21。所述第一收納槽21用于收納附著有所述薄膜的第一基板。所述第一裝載部2可以支撐收納于所述第一收納槽21內(nèi)的第一基板。此時(shí)，所述第一基板可以是附著有所述薄膜的狀態(tài)。所述第一收納槽21可以形成為從所述第一裝載部2的上表面凹陷規(guī)定深度。所述第一收納槽21整體上可以呈矩形板狀，但是并非限定于此，只要是能夠收納所述第一基板的形狀，還可以形成為其它形狀。所述第一收納槽21的面積可以大于附著有所述薄膜的第一基板。所述第一收納槽21的厚度可以大于附著有所述薄膜的第一基板。

所述第一裝載部2可以設(shè)置成位于上部本體20的下側(cè)。所述上部本體20可以設(shè)置于所述第一裝載部2的上側(cè)，以遮蓋所述第一收納槽21。所述上部本體20整體上可以呈長(zhǎng)方體形狀，但是并非限定于此，只要是能夠遮蓋所述第一收納槽21的形狀，還可以形成為其它形狀。

所述第一裝載部2可以可移動(dòng)地結(jié)合于所述上部本體20。所述第一裝載部2可以移動(dòng)，以使所述第一收納槽21位于所述上部本體20的外側(cè)。此時(shí)，所述第一收納槽21沒(méi)有被所述上部本體20所遮蓋。在此狀態(tài)下，可以實(shí)施卸載工序，以使完成所述脫泡工序的第一基板從所述第一收納槽21以及所述第一裝載部2隔開。另外，可以實(shí)施裝載工序，以使待實(shí)施所述脫泡工序的第一基板收納于所述第一收納槽21內(nèi)，從而裝載于所述第一裝載部2上。一旦待實(shí)施所述脫泡工序的第一基板裝載于所述第一裝載部2上，則所述第一裝載部2可以移動(dòng)，以使所述第一收納槽21被所述上部本體20所遮蓋。所述第一裝載部2可以被第一驅(qū)動(dòng)部(未圖示)所移動(dòng)。所述第一驅(qū)動(dòng)部通過(guò)利用液壓缸或氣壓缸的氣缸方式、利用電動(dòng)機(jī)和滾珠絲杠(ballscrew)等的滾珠絲杠方式、利用電動(dòng)機(jī)和齒條(rackgear)以及小齒輪(piniongear)等的齒輪方式、利用電動(dòng)機(jī)和滑輪以及帶等的傳送帶方式、利用線圈和永久磁鐵等的線性電動(dòng)機(jī)(linearmotor)方式、利用凸輪(cam)等的凸輪方式等來(lái)移動(dòng)所述第一裝載部2。

參照?qǐng)D1至圖4，所述第一裝載部2可以結(jié)合有第一密封部件30。

所述第一密封部件30用于密封所述第一收納槽21。所述第一密封部件30在結(jié)合于所述第一裝載部2的狀態(tài)下，與所述上部本體20接觸，從而可以密封所述第一收納槽21。在此狀態(tài)下，可以對(duì)附著有所述薄膜的第一基板實(shí)施脫泡工序。所述第一密封部件30可以接觸在所述上部本體20的下面。所述第一裝載部2可以包括用于結(jié)合所述第一密封部件30的第一結(jié)合部件22。所述第一結(jié)合部件22配置成位于所述第一收納槽21的外側(cè)。即，所述第一收納槽21位于所述第一結(jié)合部件22的內(nèi)側(cè)。所述第一密封部件30可以插入結(jié)合于所述第一結(jié)合部件22內(nèi)，從而圍繞所述第一收納槽21。所述第一密封部件30可以呈中空的方環(huán)形狀，但是并非限定于此，只要是能夠使所述第一收納槽21密封的形狀，還可以形成為其它形狀。

所述第一密封部件30可以可移動(dòng)地結(jié)合于所述第一結(jié)合部件22上。此時(shí)，所述第一密封部件30可以隨著氣體供給至內(nèi)部而朝向所述上部本體20側(cè)移動(dòng)。因此，所述第一密封部件30提高對(duì)于所述上部本體20的緊貼力，從而可以提高對(duì)于所述第一收納槽21的密封力。所述第一密封部件30也可以隨著氣體供給至內(nèi)部而發(fā)生膨脹，從而移動(dòng)至緊貼于所述上部本體20。所述第一密封部件30可以由既具有密封力又可以伸縮的材料形成。例如，所述第一密封部件30可以由橡膠、氟橡膠(viton)等形成。

參照?qǐng)D1至圖4，所述第一裝載部2可以通過(guò)第一升降部40升降。所述第一升降部40可以結(jié)合于所述中間本體5上。所述第一升降部40可以使所述第一裝載部2上升，以使所述第一密封部件30接觸所述上部本體20。此時(shí)，所述第一裝載部2可以從所述支持部4隔開。所述第一密封部件30在與所述上部本體20接觸的狀態(tài)下，隨著氣體供給至內(nèi)部，可以朝向所述上部本體20側(cè)移動(dòng)。因此，所述第一裝載部2隨著被所述第一密封部件30所推動(dòng)下降，從而被所述支持部4所支撐。因此，所述第一密封部件30被所述第一裝載部2以及所述上部本體20所支撐，從而可以密封所述第一收納槽21。這樣，在所述第一收納槽21被所述第一密封部件30所密封的狀態(tài)下，可以對(duì)收納于所述第一收納槽21內(nèi)的第一基板實(shí)施脫泡工序。

所述第一升降部40可以通過(guò)利用液壓缸或氣壓缸的氣缸方式來(lái)使所述第一裝載部2升降。所述第一升降部40也可以通過(guò)利用電動(dòng)機(jī)和滾珠絲杠等的滾珠絲杠方式、利用電動(dòng)機(jī)和齒條以及小齒輪等的齒輪方式、利用電動(dòng)機(jī)和滑輪以及帶等的傳送帶方式、利用線圈和永久磁鐵等的線性電動(dòng)機(jī)方式、利用凸輪等的凸輪方式等來(lái)使所述第一裝載部2升降。

本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1可以包括多個(gè)所述第一升降部40。所述多個(gè)第一升降部40可以配置成位于相互隔開的位置上。因此，所述多個(gè)第一升降部40與所述第一裝載部2的彼此不同部分接觸，從而可以使所述第一裝載部2升降。因此，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1可以使所述第一裝載部2無(wú)傾斜地進(jìn)行升降。

雖然沒(méi)有圖示，但是在所述第一裝載部2上可以設(shè)置第一加熱裝置。所述第一加熱裝置可以設(shè)置成位于所述第一裝載部2的內(nèi)側(cè)。所述第一加熱裝置加熱收納于所述第一收納槽21內(nèi)的第一基板，從而可以提高對(duì)存在于所述第一基板以及薄膜之間的氣泡的去除率。所述第一加熱裝置可以是桿式加熱器、片式加熱器等。

參照?qǐng)D1至圖5，所述第二裝載部3用于支撐附著有薄膜的第二基板。所述第二基板用于制造顯示裝置以及太陽(yáng)電池等。例如，所述第二基板可以是玻璃基板。所述第二基板可以由多個(gè)基板粘合而成。所述第二基板以及所述第一基板可以是相同種類的基板。所述薄膜附著于所述第二基板上。例如，所述薄膜可以是偏光膜、光學(xué)膜等。附著于所述第二基板上的薄膜以及附著于所述第一基板上的薄膜可以是相同種類的薄膜。所述第二基板以通過(guò)薄膜附著工序附著所述薄膜的狀態(tài)裝載于所述第二裝載部3上，從而可以被所述第二裝載部3所支撐。在所述第二基板裝載于所述第二裝載部3上的狀態(tài)下，可以實(shí)施脫泡工序，用以去除存在于所述第二基板以及所述薄膜之間的氣泡。

因此，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1可以一次性對(duì)多個(gè)基板實(shí)施脫泡工序。因此，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1可以增加在單位時(shí)間內(nèi)能夠?qū)嵤┟撆莨ば虻幕宓臄?shù)量。即，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1可以提高所述脫泡工序的處理率。因此，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1可以防止所述脫泡工序被延遲，因而能夠有助于提高顯示裝置以及太陽(yáng)電池等的生產(chǎn)率。所述第二裝載部3整體上可以呈長(zhǎng)方體形狀，但是并非限定于此，只要是能夠支撐所述第二基板的形狀，還可以形成為其它形狀。

所述第二裝載部3可以設(shè)置成位于所述第一裝載部2的下側(cè)。因此，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1在多個(gè)基板沿著上下方向(z軸方向)層疊配置的狀態(tài)下，對(duì)多個(gè)基板實(shí)施脫泡工序，因而無(wú)需增加設(shè)置面積，就可以實(shí)施對(duì)于多個(gè)基板的脫泡工序。因此，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1在有限的作業(yè)空間內(nèi)提高了空間利用率，能夠設(shè)置的臺(tái)數(shù)更多，因而可以進(jìn)一步提高所述脫泡工序的處理率，進(jìn)而能夠有助于進(jìn)一步提高顯示裝置以及太陽(yáng)電池等的生產(chǎn)率。

所述第二裝載部3包括第二收納槽31。所述第二收納槽31用于收納附著有所述薄膜的第二基板。所述第二裝載部3可以支撐收納于所述第二收納槽31內(nèi)的第二基板。此時(shí)，所述第二基板可以是附著有所述薄膜的狀態(tài)。所述第二收納槽31可以形成為從所述第二裝載部3的上表面凹陷規(guī)定深度。所述第二收納槽31整體上可以呈矩形板狀，但是并非限定于此，只要是能夠收納所述第二基板的形狀，還可以形成為其它形狀。所述第二收納槽31的面積可以大于附著有所述薄膜的第二基板。所述第二收納槽31的厚度可以大于附著有所述薄膜的第二基板。

所述第二裝載部3可以結(jié)合于所述中間本體5上。所述中間本體5可以設(shè)置成位于所述第二裝載部3以及所述第一裝載部2之間。所述第二裝載部3可以設(shè)置成位于所述中間本體5的下側(cè)。因此，所述第二收納槽31可以被所述中間本體5所遮蓋。

所述第二裝載部3可以可移動(dòng)地結(jié)合于所述中間本體5上。所述第二裝載部3可以移動(dòng)，以使所述第二收納槽31位于所述中間本體5的外側(cè)。此時(shí)，所述第二收納槽31不會(huì)被所述中間本體5所遮蓋。在此狀態(tài)下，可以實(shí)施卸載工序，以使完成所述脫泡工序的第二基板從所述第二收納槽31以及所述第二裝載部3隔開。另外，可以實(shí)施裝載工序，以使待實(shí)施所述脫泡工序的第二基板收納于所述第二收納槽31內(nèi)，從而裝載于所述第二裝載部3上。一旦待實(shí)施所述脫泡工序的第二基板裝載于所述第二裝載部3上，則所述第二裝載部3可以移動(dòng)，以使所述第二收納槽31被所述中間本體5所遮蓋。所述第二裝載部3可以通過(guò)第二驅(qū)動(dòng)部(未圖示)所移動(dòng)。所述第二驅(qū)動(dòng)部通過(guò)利用液壓缸或氣壓缸的氣缸方式、利用電動(dòng)機(jī)和滾珠絲杠等的滾珠絲杠方式、利用電動(dòng)機(jī)和齒條以及小齒輪等的齒輪方式、利用電動(dòng)機(jī)和滑輪以及帶等的傳送帶方式、利用線圈和永久磁鐵等的線性電動(dòng)機(jī)方式、利用凸輪等的凸輪方式等來(lái)使所述第二裝載部3移動(dòng)。

參照?qǐng)D1至圖5，所述第二裝載部3可以設(shè)置成位于下部本體50的上側(cè)。所述下部本體50可以被實(shí)施所述脫泡工序的作業(yè)空間的地面所支撐。所述下部本體50被所述地面所支撐，從而可以具備用于支撐所述第一裝載部2、所述第二裝載部3、所述支持部4以及所述中間本體5的支撐力。所述下部本體50、所述第一裝載部2、所述第二裝載部3、所述支持部4以及所述中間本體5可以沿著所述上下方向(z軸方向)層疊并且配置成相互隔開。

所述下部本體50、所述中間本體5以及所述上部本體20可以通過(guò)固定部100(示于圖2中)所相互固定結(jié)合。所述固定部100分別結(jié)合于所述下部本體50、所述中間本體5、以及所述上部本體20，從而可以固定所述下部本體50、所述中間本體5、以及所述上部本體20。所述固定部100通過(guò)螺栓連接等，可以分別結(jié)合于所述下部本體50、所述中間本體5、以及所述上部本體20上。為了所述裝載工序以及所述卸載工序，所述固定部100可以配置成位于與所述第二裝載部3以及所述第一裝載部2移動(dòng)方向垂直的方向側(cè)。本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1可以包括多個(gè)所述固定部100。此時(shí)，所述下部本體50、所述中間本體5、以及所述上部本體20可以配置成位于所述多個(gè)固定部100之間。

參照?qǐng)D1至圖5，所述第二裝載部3可以結(jié)合有第二密封部件60。

所述第二密封部件60用于密封所述第二收納槽31。所述第二密封部件60在結(jié)合于所述第二裝載部3的狀態(tài)下，與所述中間本體5接觸，從而能夠密封所述第二收納槽31。在此狀態(tài)下，可以對(duì)附著有所述薄膜的第二基板實(shí)施脫泡工序。所述第二密封部件60可以與所述中間本體5的下面接觸。所述第二裝載部3可以包括用于結(jié)合所述第二密封部件60的第二結(jié)合部件32。所述第二結(jié)合部件32配置成位于所述第二收納槽31的外側(cè)。即，所述第二收納槽31位于所述第二結(jié)合部件32的內(nèi)側(cè)。所述第二密封部件60可以插入結(jié)合于所述第二結(jié)合部件32內(nèi)，從而圍繞所述第二收納槽31。所述第二密封部件60可以呈中空的方環(huán)形狀，但是并非限定于此，只要是能夠密封所述第二收納槽31的形狀，還可以形成為其它形狀。

所述第二密封部件60可以可移動(dòng)地結(jié)合于所述第二結(jié)合部件32上。此時(shí)，所述第二密封部件60可以隨著氣體供給至內(nèi)部而朝向所述中間本體5側(cè)移動(dòng)。因此，所述第二密封部件60提高對(duì)于所述中間本體5的緊貼力，從而可以提高對(duì)于所述第二收納槽31的密封力。所述第二密封部件60也可以隨著氣體供給至內(nèi)部膨脹而移動(dòng)，從而緊貼于所述中間本體5。所述第二密封部件60可以由既有密封力又可伸縮的材料形成。例如，所述第二密封部件60可以由橡膠、氟橡膠(viton)等形成。

參照?qǐng)D1至圖5，所述第二裝載部3通過(guò)第二升降部70所升降。所述第二升降部70可以結(jié)合于所述下部本體50上。所述第二升降部70可以使所述第二裝載部3上升，以使所述第二密封部件60接觸所述中間本體5。所述第二密封部件60在與所述中間本體5接觸的狀態(tài)下，隨著氣體供給至內(nèi)部，可以朝向所述中間本體5側(cè)移動(dòng)。因此，所述第二密封部件60能夠密封所述第二收納槽31。在這種所述第二收納槽31被所述第二密封部件60所密封的狀態(tài)下，可以對(duì)收納于所述第二收納槽31內(nèi)的第二基板，實(shí)施脫泡工序。

所述第二升降部70可以通過(guò)利用液壓缸或氣壓缸的氣缸方式來(lái)使所述第二裝載部3升降。所述第二升降部70通過(guò)利用電動(dòng)機(jī)和滾珠絲杠等的滾珠絲杠方式、利用電動(dòng)機(jī)和齒條以及小齒輪等的齒輪方式、利用電動(dòng)機(jī)和滑輪以及帶等的傳送帶方式、利用線圈和永久磁鐵等的線性電動(dòng)機(jī)方式、利用凸輪等的凸輪方式等來(lái)使所述第二裝載部3升降。

本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1可以包括多個(gè)所述第二升降部70。所述多個(gè)第二升降部70可以配置成位于相互隔開的位置上。因此，所述多個(gè)第二升降部70與所述第二裝載部3的不同部分接觸，從而可以使所述第二裝載部3升降。因此，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1可以使所述第二裝載部3無(wú)傾斜地進(jìn)行升降。

雖然未圖示，但是在所述第二裝載部3上可以設(shè)置有第二加熱裝置。所述第二加熱裝置可以設(shè)置成位于所述第二裝載部3的內(nèi)側(cè)。所述第二加熱裝置加熱收納于所述第二收納槽31內(nèi)的第二基板，從而可以提高對(duì)于存在于所述第二基板以及薄膜之間的氣泡的去除率。所述第二加熱裝置可以是桿式加熱器、片式加熱器等。

參照?qǐng)D1至圖5，所述第二裝載部3可以被支撐部80(示于圖4中)所支撐。所述支撐部80可以結(jié)合于所述下部本體50上。所述第二密封部件60在與所述中間本體5接觸的狀態(tài)下，隨著氣體供給至內(nèi)部而朝向所述中間本體5側(cè)移動(dòng)時(shí)，所述第二裝載部3被所述第二密封部件60所推動(dòng)下降，從而可以被所述支撐部80所支撐。因此，所述第二密封部件60被所述第二裝載部3以及所述中間本體5所支撐，從而可以密封所述第二收納槽31。在這種所述第二收納槽31被所述第二密封部件60所密封的狀態(tài)下，可以對(duì)收納于所述第二收納槽31內(nèi)的第二基板實(shí)施脫泡工序。

所述支撐部80可以包括凸輪部件81(示于圖4中)以及移動(dòng)部件82(示于圖4中)。

所述凸輪部件81用于支撐所述第二裝載部3。所述凸輪部件81可以隨著所述移動(dòng)部件82的移動(dòng)而旋轉(zhuǎn)。因此，形成于所述凸輪部件81上的凸輪面811的朝向會(huì)改變。所述凸輪面811可以呈平面狀。所述凸輪部件81中，除所述凸輪面811以外的其余部分可以呈曲面狀。

所述移動(dòng)部件82用于旋轉(zhuǎn)所述凸輪部件81。所述移動(dòng)部件82可以可移動(dòng)地結(jié)合于所述下部本體50上。所述移動(dòng)部件82可以通過(guò)操作部(未圖示)所移動(dòng)。一旦所述操作部使所述移動(dòng)部件82移動(dòng)，則結(jié)合于所述移動(dòng)部件82上的凸輪部件81旋轉(zhuǎn)并且所述凸輪面811的朝向會(huì)改變。所述操作部可以結(jié)合于所述下部本體50上。所述操作部通過(guò)利用液壓缸或氣壓缸的氣缸方式、利用電動(dòng)機(jī)和滾珠絲杠等的滾珠絲杠方式、利用電動(dòng)機(jī)和齒條以及小齒輪等的齒輪方式、利用電動(dòng)機(jī)和滑輪以及帶等的傳送帶方式、利用線圈和永久磁鐵等的線性電動(dòng)機(jī)方式等來(lái)使所述移動(dòng)部件82移動(dòng)。

本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1可以包括多個(gè)所述凸輪部件81。此時(shí)，所述多個(gè)凸輪部件81結(jié)合于所述移動(dòng)部件82上并且位于相互隔開的位置上。隨著所述移動(dòng)部件82的移動(dòng)，形成于所述各個(gè)凸輪部件81上的多個(gè)凸輪面811的朝向會(huì)改變。所述多個(gè)凸輪部件81與所述第二裝載部3的彼此不同部分接觸，從而可以支撐所述第二裝載部3。因此，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1在實(shí)施所述脫泡工序的過(guò)程中，防止所述第二裝載部3發(fā)生局部下垂，從而能夠提高完成所述脫泡工序的第二基板的品質(zhì)。

參照?qǐng)D1至圖6，所述支持部4用于支撐所述第一裝載部2。所述支持部4可以結(jié)合于所述中間本體5上。所述支持部4被所述中間本體5所支撐，從而可以具備用于支撐所述第一裝載部2的支撐力。所述支持部4可以結(jié)合于所述中間本體5上，并且位于所述第一裝載部2以及所述中間本體5之間。此時(shí)，所述支持部4可以位于所述第一裝載部2的下側(cè)。

所述支持部4固定結(jié)合于所述中間本體5上，從而可以支撐所述第一裝載部2。因此，與利用通過(guò)所述凸輪部件81、所述移動(dòng)部件82以及所述操作部運(yùn)行的支撐部80來(lái)支撐所述第一裝載部2的結(jié)構(gòu)相比，由于本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1利用固定結(jié)合于所述中間本體5上的支持部4來(lái)支撐所述第一裝載部2，因此可以具有如下優(yōu)點(diǎn)。

第一，與利用所述支撐部80來(lái)支撐所述第一裝載部2的結(jié)構(gòu)相比，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1具有可以憑借更為簡(jiǎn)化的結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)于所述第一裝載部2的支撐力的優(yōu)點(diǎn)。

第二，與利用所述支撐部80來(lái)支撐所述第一裝載部2的結(jié)構(gòu)相比，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1可以減小以所述上下方向(z軸方向)為準(zhǔn)的高度。因此，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1能夠減小以所述上下方向(z軸方向)為準(zhǔn)占據(jù)所述作業(yè)空間的高度，因此，在有限的作業(yè)空間內(nèi)，可以層疊設(shè)置的臺(tái)數(shù)更多。因此，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1可以進(jìn)一步提高所述作業(yè)空間的空間利用率，從而能夠進(jìn)一步提高所述脫泡工序的處理率，進(jìn)而具有能夠進(jìn)一步提高顯示裝置以及太陽(yáng)電池等的生產(chǎn)率的優(yōu)點(diǎn)。

第三，與利用所述支撐部80來(lái)支撐所述第一裝載部2的結(jié)構(gòu)相比，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1具有可以節(jié)省用于實(shí)現(xiàn)對(duì)于所述第一裝載部2的支撐力的制造成本的優(yōu)點(diǎn)。另外，與利用所述支撐部80來(lái)支撐所述第一裝載部2的結(jié)構(gòu)相比，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1由于沒(méi)有所述操作部，因此不發(fā)生用于運(yùn)行所述操作部的耗電。因此，與利用所述支撐部80來(lái)支撐所述第一裝載部2的結(jié)構(gòu)相比，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1具有可以節(jié)省用于實(shí)施所述脫泡工序的工序成本的優(yōu)點(diǎn)。

當(dāng)所述第一密封部件30與所述上部本體20接觸的狀態(tài)下，所述支持部4隨著氣體供給至內(nèi)部而朝向所述上部本體20側(cè)移動(dòng)時(shí)，則與被所述第一密封部件30所推動(dòng)下降的第一裝載部2接觸，從而可以支撐所述第一裝載部2。此時(shí)，所述支持部4可以支撐所述第一裝載部2，以使所述第一密封部件30牢固地密封所述第一收納槽21。所述支持部4可以結(jié)合于所述中間本體5上，并從所述中間本體5的上面朝著上側(cè)方向突出。所述支持部4整體上呈矩形板狀，但是并非限定于此，只要是能夠支撐所述第一裝載部2的形狀，還可以形成為其它形狀。所述支持部4以及所述中間本體5也可以形成為一體。

本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1可以包括多個(gè)所述支持部4。所述多個(gè)支持部4可以結(jié)合于所述中間本體5，并且配置在相互隔開的位置上。因此，所述多個(gè)支持部4與所述第一裝載部2的彼此不同部分接觸，從而能夠支撐所述第一裝載部2。因此，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1在實(shí)施所述脫泡工序的過(guò)程中，防止所述第一裝載部2發(fā)生局部下垂，因此能夠提高完成所述脫泡工序的第一基板的品質(zhì)。所述第一升降部40可以結(jié)合于所述中間本體5，并且位于所述多個(gè)支持部4之間。

參照?qǐng)D1至圖6，所述中間本體5用于支撐所述支持部4。所述中間本體5可以支撐所述支持部4，以使所述支持部4支撐所述第一裝載部2。所述中間本體5設(shè)置成位于所述第一裝載部2以及所述第二裝載部3之間。所述中間本體5結(jié)合于所述固定部100上，從而可以設(shè)置成位于所述第一裝載部2以及所述第二裝載部3之間。此時(shí)，所述中間本體5可以設(shè)置成位于所述第二裝載部3的上側(cè)，從而可以遮蓋所述第二收納槽31。所述中間本體5整體上呈長(zhǎng)方體形狀，但是并非限定于此，只要是可以遮蓋所述第二收納槽31的形狀，還可以形成為其它形狀。

所述中間本體5的厚度t1(示于圖4中)可以形成為分別小于所述上部本體20以及所述下部本體50。此時(shí)，厚度以所述上下方向(z軸方向)為準(zhǔn)。即，以所述上下方向(z軸方向)為準(zhǔn)，所述中間本體5的厚度t1小于所述上部本體20的厚度t2(示于圖4中)。以所述上下方向(z軸方向)為準(zhǔn)，所述中間本體5的厚度t1小于所述下部本體50的厚度t3(示于圖4中)。因此，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1可以獲得如下作用效果。

第一，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1中，以分別小于所述上部本體20以及所述下部本體50的厚度t1形成所述中間本體5，因此能夠減小以所述上下方向(z軸方向)為準(zhǔn)的高度。因此，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1可以減小以所述上下方向(z軸方向)為準(zhǔn)占據(jù)所述作業(yè)空間的高度，因而在有限的作業(yè)空間內(nèi)層疊設(shè)置的臺(tái)數(shù)更多。因此，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1進(jìn)一步提高了所述作業(yè)空間的空間利用率，因而能夠進(jìn)一步提高所述脫泡工序的處理率，進(jìn)而能夠有助于進(jìn)一步提高顯示裝置以及太陽(yáng)電池等的生產(chǎn)率。

第二，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1中，以分別小于所述上部本體20以及所述下部本體50的厚度t1形成所述中間本體5，從而可以減輕所述中間本體5的自重。由于能夠減輕總重量，因此，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1能夠提高搬運(yùn)作業(yè)以及組裝作業(yè)的容易性。另外，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1可以防止所述中間本體5由于發(fā)生基于自重的局部下垂導(dǎo)致所述第二收納槽31的體積變動(dòng)，因而能夠提高完成所述脫泡工序的第二基板的品質(zhì)。

當(dāng)定義所述上部本體20以及所述下部本體50各自的厚度t2、t3為n時(shí)，可以以1/6n以上、1/2n以下的厚度t1形成所述中間本體5。當(dāng)所述中間本體5的厚度t1大于1/2n時(shí)，不僅通過(guò)減小以所述上下方向(z軸方向)為準(zhǔn)的高度以及減輕所述中間本體5自重引起的作用效果下降，而且在所述中間本體5上會(huì)發(fā)生更多的局部下垂。當(dāng)所述中間本體5的厚度t1小于1/6n時(shí)，所述中間本體5難以用使所述支撐部4支撐所述第一裝載部2的足夠的支撐力來(lái)支撐所述支持部4。本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1中，以大于等于1/6n、小于等于1/2n的厚度t1形成所述中間本體5，從而能夠提高通過(guò)減小以所述上下方向(z軸方向)為準(zhǔn)的高度以及減輕所述中間本體5自重引起的作用效果，并且能夠以充分的支撐力來(lái)支撐所述支持部4。

參照?qǐng)D1至圖7，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1可以包括氣體供給部6(示于圖7中)。

所述氣體供給部6可以分別對(duì)所述第一收納槽21以及所述第二收納槽31供給工藝氣體，從而分別對(duì)所述第一基板以及所述第二基板實(shí)施脫泡工序。所述第一基板以及所述第二基板分別附著有薄膜。工藝氣體可以是空氣。所述氣體供給部6可以對(duì)所述第一收納槽21供給工藝氣體，以使所述第一收納槽21達(dá)到第一內(nèi)部壓力。此時(shí)，在所述第一收納槽21中可以實(shí)施利用所述第一內(nèi)部壓力以及由所述第一加熱裝置提供的熱量來(lái)去除存在于所述第一基板以及薄膜之間的氣泡的脫泡工序。所述氣體供給部6可以對(duì)所述第二收納槽31供給工藝氣體，以使所述第二收納槽31達(dá)到第二內(nèi)部壓力。此時(shí)，在所述第二收納槽31中可以實(shí)施利用所述第二內(nèi)部壓力以及由所述第二加熱裝置提供的熱量來(lái)去除存在于所述第二基板以及薄膜之間的氣泡的脫泡工序。

其中，所述中間本體5可以利用所述第一內(nèi)部壓力以及所述第二內(nèi)部壓力來(lái)支撐所述支持部4，以使所述支持部4支撐所述第一裝載部2。因此，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1即使以分別小于所述上部本體20以及所述下部本體50的厚度t1形成所述中間本體5，也不會(huì)使所述中間本體5局部彎曲，并且能夠以足夠的支撐力來(lái)支撐所述支持部4。因此，在分別對(duì)所述第一基板以及所述第二基板實(shí)施脫泡工序的過(guò)程中，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1防止所述第一收納槽21以及所述第二收納槽31各自的體積變更，從而能夠提高完成所述脫泡工序的第一基板以及第二基板的品質(zhì)。當(dāng)所述第一裝載部2位于所述中間本體5的上側(cè)并且所述第二裝載部4位于所述中間本體5的下側(cè)時(shí)，所述中間本體5被所述第二內(nèi)部壓力所支撐，從而能夠支撐被所述第一內(nèi)部壓力所加壓的支持部4。

所述氣體供給部6可以分別對(duì)所述第一收納槽21以及所述第二收納槽31供給工藝氣體，以使所述第一內(nèi)部壓力以及所述第二內(nèi)部壓力相互抵消。因此，在分別對(duì)所述第一基板以及所述第二基板實(shí)施脫泡工序的過(guò)程中，即使所述第一收納槽21以及所述第二收納槽31分別變更為高壓，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1也可以防止在所述中間本體5上發(fā)生彎曲、下垂等。此時(shí)，所述氣體供給部6可以分別對(duì)所述第一收納槽21以及所述第二收納槽31供給工藝氣體，以使所述第一內(nèi)部壓力以及所述第二內(nèi)部壓力相同。

所述氣體供給部6可以與氣體供給模塊200(示于圖7中)相連接。所述氣體供給部6可以從所述氣體供給模塊200接收工藝氣體后，分別對(duì)所述第一收納槽21以及所述第二收納槽31供給工藝氣體。所述氣體供給部6可以設(shè)置成分別與所述第一收納槽21以及所述第二收納槽31相連接。

所述氣體供給部6可以包括第一供給部件61(示于圖7中)以及第二供給部件62(示于圖7中)。

所述第一供給部件61與所述第一收納槽21相連接。所述第一供給部件61結(jié)合于所述上部本體20上，并與所述第一收納槽21連通，從而可以與所述第一收納槽21相連接。此時(shí)，在所述上部本體20上可以形成用于使所述第一供給部件61以及所述第一收納槽21相互連通的第一連通孔。所述第一供給部件61經(jīng)所述第一連通孔對(duì)所述第一收納槽21噴射由所述氣體供給模塊200供給的工藝氣體，從而能夠?qū)λ龅谝皇占{槽21供給工藝氣體。所述第一供給部件61可以設(shè)置成位于所述第一裝載部2的上側(cè)。

所述第二供給部件62與所述第二收納槽31相連接。所述第二供給部件62結(jié)合于所述中間本體5上并與所述第二收納槽31連通，從而可以與所述第二收納槽31相連接。此時(shí)，在所述中間本體5上可以形成用于使所述第二供給部件62以及所述第二收納槽31相互連通的第二連通孔51(示于圖7中)。所述第二供給部件62經(jīng)所述第二連通孔51對(duì)所述第二收納槽31噴射由所述氣體供給模塊200供給的工藝氣體，從而能夠?qū)λ龅诙占{槽31供給工藝氣體。所述第二供給部件62可以設(shè)置成位于所述第一裝載部2以及所述第二裝載部3之間。此時(shí)，所述第二供給部件62可以設(shè)置成位于所述第二裝載部3的上側(cè)。

所述氣體供給部6可以包括連接部件63(示于圖7中)。

在所述連接部件63上可以結(jié)合有所述第一供給部件61以及所述第二供給部件62并且分別與其連通。所述連接部件63的一側(cè)分別與所述第一供給部件61以及所述第二供給部件62結(jié)合并且與其連通，從而能夠分別與所述第一供給部件61以及所述第二供給部件62相連接。所述連接部件63的另一側(cè)結(jié)合于所述氣體供給模塊200上，從而能夠與所述氣體供給模塊200相連接。因此，所述連接部件63可以分別對(duì)所述第一供給部件61以及所述第二供給部件62傳輸由所述氣體供給模塊200供給的工藝氣體。因此，由所述氣體供給模塊200供給的工藝氣體經(jīng)所述連接部件63以相同流量分別分配給所述第一供給部件61以及所述第二供給部件62，因而可以以相同流量分別供給至所述第一收納槽21以及所述第二收納槽31。因此，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1可以獲得如下作用效果。

第一，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1利用所述連接部件63，可以使所述第一收納槽21的第一內(nèi)部壓力以及所述第二收納槽31的第二內(nèi)部壓力維持相同壓力。因此，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1能夠提高完成所述脫泡工序的第一基板以及完成所述脫泡工序的第二基板的品質(zhì)均勻性。因此，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1降低完成所述脫泡工序的多個(gè)基板之間的品質(zhì)偏差，從而能夠提高所述脫泡工序的可靠性。

第二，與所述第一供給部件61以及所述第二供給部件62個(gè)別地與所述氣體供給模塊200相連接的情形相比，本發(fā)明涉及的脫泡用高壓釜裝置1能夠提升用于將所述第一內(nèi)部壓力以及所述第二內(nèi)部壓力調(diào)節(jié)成相同的易控性。這是因?yàn)椋龅谝还┙o部件61以及所述第二供給部件62分別通過(guò)所述連接部件63接收工藝氣體，因而所述第一供給部件61以及所述第二供給部件62接收相同流量的工藝氣體。

當(dāng)所述連接部件63分別與所述第一供給部件61以及所述第二供給部件62相連接時(shí)，所述第一收納槽21以及所述第二收納槽31可以形成為具有相同的體積。此時(shí)，所述第一收納槽21以及所述第二收納槽31的厚度可以形成為以所述上下方向(z軸方向)為準(zhǔn)相同。

本發(fā)明所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該明白，以上說(shuō)明的本發(fā)明并非限定于前述的實(shí)施例以及附圖，在不脫離本發(fā)明的技術(shù)思想的范圍內(nèi)可以進(jìn)行各種替換、變形以及變更。