技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種脫泡用高壓釜裝置。本發(fā)明的脫泡用高壓釜裝置包括：第一裝載部，具有第一收納槽用以收納附著有薄膜的第一基板；第二裝載部，具有第二收納槽用以收納附著有薄膜的第二基板；中間本體，設(shè)置成位于所述第一裝載部與所述第二裝載部之間；以及支持部，結(jié)合于所述中間本體上用以支撐所述第一裝載部。

技術(shù)研發(fā)人員：李槿秀
受保護的技術(shù)使用者：利來韓國有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.02
技術(shù)公布日：2017.10.20