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具有高密度光學(xué)互連模塊的波分復(fù)用的光學(xué)部件的制作方法

文檔序號:12730012閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種波分復(fù)用(WDM)裝置,包括:

波導(dǎo);

耦合透鏡,設(shè)置在反射鏡之上,該反射鏡形成在該波導(dǎo)的傳輸路徑中,其中該反射鏡反射從通過該傳輸路徑出來的傳入信號,以通過該透鏡,并且將來自該透鏡的信號進(jìn)一步反射至該傳輸路徑中;以及

光學(xué)芯片,設(shè)置為接近該透鏡的焦距,該透鏡包括光學(xué)濾波器,該光學(xué)濾波器配置為透射第一波長的光信號,且反射接收的波長在該第一波長之外的光信號。

2.如權(quán)利要求1所述的波分復(fù)用(WDM)裝置,其中該光學(xué)濾波器是包括交替電介質(zhì)層的布拉格濾波器。

3.如權(quán)利要求2所述的波分復(fù)用(WDM)裝置,其中該布拉格濾波器包括二氧化硅和二氧化鈦的交替層。

4.如權(quán)利要求2所述的波分復(fù)用(WDM)裝置,其中該布拉格濾波器具有該交替層的九個周期。

5.如權(quán)利要求1所述的波分復(fù)用(WDM)裝置,其中該反射鏡是該波導(dǎo)中的凹槽,其通過全內(nèi)反射來反射傳入信號和傳出信號。

6.如權(quán)利要求1所述的波分復(fù)用(WDM)裝置,其中該透鏡改變該傳入信號的方向,以朝著該光學(xué)濾波器對準(zhǔn)。

7.如權(quán)利要求1所述的波分復(fù)用(WDM)裝置,其中該透鏡是軸向非對稱透鏡,以最小化離散和最大化錯位容差。

8.如權(quán)利要求1所述的波分復(fù)用(WDM)裝置,其中該反射鏡具有45度之外的角度。

9.一種波分復(fù)用(WDM)系統(tǒng),包括:

多個WDM裝置,每個裝置包括:

波導(dǎo);

耦合透鏡,設(shè)置在反射鏡之上,該反射鏡形成在該波導(dǎo)的傳輸路徑中,其中該反射鏡反射從該傳輸路徑出來的傳入信號,以通過該透鏡,并且將來自該透鏡的光信號進(jìn)一步反射至該傳輸路徑中;以及

光學(xué)芯片,設(shè)置為接近該透鏡的焦距,包括光學(xué)濾波器,該光學(xué)濾波器配置為透射相應(yīng)波長的光信號,且反射接收的波長在該相應(yīng)波長之外的光信號。

10.如權(quán)利要求9所述的波分復(fù)用(WDM)系統(tǒng),其中每個光學(xué)濾波器是包括交替電介質(zhì)層的布拉格濾波器。

11.如權(quán)利要求10所述的波分復(fù)用(WDM)系統(tǒng),其中每個布拉格濾波器包括二氧化硅和二氧化鈦的交替層。

12.如權(quán)利要求10所述的波分復(fù)用(WDM)系統(tǒng),其中每個布拉格濾波器具有該交替層的九個周期。

13.如權(quán)利要求9所述的波分復(fù)用(WDM)系統(tǒng),其中每個反射鏡是該波導(dǎo)中的凹槽,其通過全內(nèi)反射來反射傳入信號和傳出信號。

14.如權(quán)利要求9所述的波分復(fù)用(WDM)系統(tǒng),其中每個透鏡改變傳入信號的方向,以朝著該光學(xué)濾波器對準(zhǔn)。

15.如權(quán)利要求9所述的波分復(fù)用(WDM)系統(tǒng),其中該透鏡是軸向非對稱透鏡,以最小化離散和最大化錯位容差。

16.如權(quán)利要求9所述的波分復(fù)用(WDM)系統(tǒng),其中該反射鏡具有45度之外的角度。

17.一種形成波分復(fù)用裝置的方法,包括:

在波導(dǎo)的傳輸路徑中形成反射鏡;

將透鏡附接到該反射鏡之上的該波導(dǎo);

在光學(xué)芯片陣列上形成濾波器,該濾波器包括多個交替電介質(zhì)層,其中該濾波器配置為透射接收的具有第一波長的信號,且反射接收的具有在該第一波長之外的波長的信號;以及

將該光學(xué)芯片陣列設(shè)置在該透鏡的焦距處。

18.如權(quán)利要求17所述的方法,其中形成該反射鏡包括將凹槽制作到該波導(dǎo)中,使其表面角配置為提供信號的全內(nèi)反射。

19.如權(quán)利要求17所述的方法,其中形成該濾波器包括將二氧化硅和二氧化鈦的交替層蒸鍍到該光學(xué)芯片陣列的有源區(qū)域上蒸鍍。

20.如權(quán)利要求17所述的方法,還包括在該波導(dǎo)上設(shè)置芯片載體,該芯片載體具有對應(yīng)于該透鏡的孔,其中設(shè)置該光學(xué)芯片陣列包括將該光學(xué)芯片陣列倒裝片接合到該透鏡之上的該芯片載體。

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